技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種測(cè)量薄膜材料電光系數(shù)的裝置及方法，屬于電子信息材料測(cè)試領(lǐng)域。本發(fā)明通過(guò)薄膜分析儀、計(jì)算機(jī)、可控電壓源和測(cè)試箱搭建測(cè)試平臺(tái)，基于干涉原理測(cè)得薄膜材料的干涉光強(qiáng)隨入射波長(zhǎng)改變的實(shí)際吸收光譜曲線，然后采用計(jì)算機(jī)軟件進(jìn)行分析得到薄膜材料在目標(biāo)電壓下的折射率n，通過(guò)調(diào)整目標(biāo)電壓變化，獲得薄膜材料折射率隨直流電壓變化的曲線，通過(guò)數(shù)據(jù)擬合即可得到薄膜材料的電光系數(shù)。本發(fā)明通過(guò)非接觸式測(cè)量能夠在不破壞薄膜表面的情況下測(cè)得薄膜材料電光系數(shù)，測(cè)量精度高，在電光系數(shù)的測(cè)量領(lǐng)域中有較好的應(yīng)用前景。

技術(shù)研發(fā)人員：萬(wàn)鄭賄;張亞磊;李金成;王乾豐;劉爽;張尚劍;劉永;鐘智勇
受保護(hù)的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710211806
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.01
技術(shù)公布日：2017.06.13