技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)一種用于熒光儀器校準(zhǔn)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)樣片，包括基板及熒光薄膜，該熒光薄膜設(shè)置于基板上且包括具有不同熒光強(qiáng)度的多個(gè)熒光強(qiáng)度區(qū)域，每個(gè)熒光強(qiáng)度區(qū)域具有特定的熒光染料填充占空比。本發(fā)明還公開(kāi)一種用于熒光儀器校準(zhǔn)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)樣片的制備方法。本發(fā)明的用于熒光儀器校準(zhǔn)測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)樣片及其制作方法，通過(guò)利用微納加工技術(shù)，精確控制調(diào)整熒光薄膜表面上每個(gè)像素對(duì)應(yīng)區(qū)域內(nèi)的熒光染料填充占空比，在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣片上獲得多個(gè)厚度相同的熒光強(qiáng)度區(qū)域，且每個(gè)熒光強(qiáng)度區(qū)域具有精準(zhǔn)可控的特定的熒光染料填充占空比，使獲得復(fù)雜圖案的小尺度圖形成為可能。

技術(shù)研發(fā)人員：鐘源;李勁勁;張玲;王晶;鐘青;王雪深;傅博強(qiáng);王蘭若
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.16
技術(shù)公布日：2017.10.20