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一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼的制作方法

文檔序號(hào):11479084閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,包括本體外殼(4)和測(cè)試機(jī)(8),其特征在于:所述本體外殼(4)的內(nèi)頂部固定連接于探針臺(tái)(3)的上端,所述探針臺(tái)(3)上安裝有探針卡(2),所述本體外殼(4)內(nèi)底部固定連接于支柱(7)的底端,所述支柱(7)固定連接于測(cè)試臺(tái)(6)的下表面,所述測(cè)試臺(tái)(6)的上表面通過負(fù)壓吸附固定有轉(zhuǎn)接板(5),所述轉(zhuǎn)接板(5)上電性連接有待測(cè)晶圓(9),所述探針臺(tái)(3)通過屏蔽信號(hào)線(10)電性連接于測(cè)試機(jī)(8),所述測(cè)試機(jī)(8)電性連接有顯示模塊(1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,其特征在于:所述測(cè)試機(jī)(8)內(nèi)設(shè)有穩(wěn)壓電路,所述穩(wěn)壓電路內(nèi)包括LDO穩(wěn)壓器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,其特征在于:所述測(cè)試臺(tái)(6)的表面設(shè)有環(huán)形負(fù)壓吸附槽(601),所述負(fù)壓吸附槽(601)相互連通,所述支柱(7)內(nèi)部設(shè)有負(fù)壓通道(701),所述負(fù)壓通道(701)的頂部固定連接于負(fù)壓吸附槽(601),所述負(fù)壓通道(701)的底部通過管道連接于負(fù)壓泵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,其特征在于:所述轉(zhuǎn)接板(5)的底部固定連接有一層橡膠墊。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,其特征在于:所述,所述轉(zhuǎn)接板(5)上包括與待測(cè)晶圓(9)上MOS管(901)電性連接的印刷電路,所述印刷電路包括串聯(lián)和并聯(lián)電路,所述印刷電路設(shè)有測(cè)試電路接線端(501)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼,其特征在于:所述本體外殼(4)為絕緣材料制成,且本體外殼(4)的內(nèi)部設(shè)有接地金屬屏蔽網(wǎng)。

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