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一種MEMS加速度傳感器信號(hào)調(diào)理電路的制作方法

文檔序號(hào):11302830閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種MEMS加速度傳感器信號(hào)調(diào)理電路,其特征在于:包括MEMS芯片、儀表放大器、增益電阻和電壓基準(zhǔn)電路,MEMS芯片的信號(hào)輸出端接到儀表放大器的正向輸入端或負(fù)向輸入端,電壓基準(zhǔn)電路的輸出端接到儀表放大器的負(fù)向輸入端或正向輸入端,增益電阻接入儀表放大器的增益電阻設(shè)置引腳,儀表放大器的基準(zhǔn)電壓引腳接地。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種MEMS加速度傳感器信號(hào)調(diào)理電路,其特征在于:所述電壓基準(zhǔn)電路包括第一電阻、第二電阻和電壓跟隨器,第一電阻和第二電阻串接于電源與地之間,第一電阻與第二電阻之間的節(jié)點(diǎn)連接至電壓跟隨器的正向輸入端,電壓跟隨器的輸出端連接至電壓跟隨器的負(fù)向輸入端。

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