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一種MEMS加速度傳感器信號調(diào)理電路的制作方法

文檔序號:11302830閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種MEMS加速度傳感器信號調(diào)理電路,其包括MEMS芯片、儀表放大器、增益電阻和電壓基準(zhǔn)電路,MEMS芯片的信號輸出端接到儀表放大器的正向輸入端或負(fù)向輸入端,電壓基準(zhǔn)電路的輸出端接到儀表放大器的負(fù)向輸入端或正向輸入端,增益電阻接入儀表放大器的增益電阻設(shè)置引腳,儀表放大器的基準(zhǔn)電壓引腳接地。本實(shí)用新型的MEMS加速度傳感器信號調(diào)理電路,電路元器件較少,體積較小,成本較低,可靠性較強(qiáng);且可以通過電路靈活調(diào)節(jié)加速度傳感器的工作方向,無需改變MEMS芯片的安裝方向,提高了MEMS芯片安裝的靈活性,可縮小傳感器體積;還可同步放大零點(diǎn)和靈敏度的效果。

技術(shù)研發(fā)人員:蘇世俊;戴志華;蔡春梅
受保護(hù)的技術(shù)使用者:廈門乃爾電子有限公司
文檔號碼:201720107754
技術(shù)研發(fā)日:2017.02.04
技術(shù)公布日:2017.09.05

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