本發(fā)明公開一種能譜儀，特別是一種eds能譜儀，屬于電子分析儀器。

背景技術(shù)：

1、eds能譜儀（即energy?dispersive?spectroscopy）是一種分析工具，通常與掃描電子顯微鏡（sem）結(jié)合使用，用于材料的元素分析，常規(guī)的能譜儀可做元素成分的定性、定量分析及點(diǎn)、線、面分布分析等。eds能譜儀通過測(cè)量樣品發(fā)出的特征x射線的能量來確定樣品中存在的元素及其相對(duì)豐度，主要特點(diǎn)包括：能夠識(shí)別樣品中多種元素，通常從硼到鈾的范圍均可進(jìn)行元素識(shí)別；可以提供元素的定量信息，幫助研究材料的成分；適合對(duì)微小區(qū)域進(jìn)行成分分析，適用于材料科學(xué)、冶金、電子和生物等領(lǐng)域；與其他分析技術(shù)相比，eds可以快速獲取數(shù)據(jù)，提升效率。

2、現(xiàn)有技術(shù)中的eds能譜儀普遍存在集成度低、總體積大、探測(cè)距離需手動(dòng)調(diào)節(jié)等缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)上述提到的現(xiàn)有技術(shù)中的eds能譜儀探測(cè)距離需手動(dòng)調(diào)節(jié)的缺點(diǎn)，本發(fā)明提供一種eds能譜儀，其采用驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置配合探測(cè)器的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)探測(cè)距離的自動(dòng)調(diào)節(jié)。

2、本發(fā)明解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案是：一種eds能譜儀，能譜儀包括控制器、探測(cè)器、驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置和對(duì)焦裝置，控制器和探測(cè)器固定安裝在一起，控制器與驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置安裝在一起，探測(cè)器插裝在對(duì)焦裝置內(nèi)。

3、本發(fā)明解決其技術(shù)問題采用的技術(shù)方案進(jìn)一步還包括：

4、所述的控制器包括上位機(jī)中框、上位機(jī)第一散熱板、上位機(jī)第二散熱板、上位機(jī)第一控制板、上位機(jī)第二控制板、上位機(jī)第三控制板、下位機(jī)中框、下位機(jī)第一散熱板、下位機(jī)第二散熱板、下位機(jī)第一控制板、下位機(jī)第二控制板和底板，上位機(jī)第一控制板固定安裝在上位機(jī)中框上，上位機(jī)第二控制板通過銅柱固定安裝在上位機(jī)第一控制板上，具體實(shí)施時(shí)，上位機(jī)第三控制板固定安裝在上位機(jī)中框上，上位機(jī)第一散熱板和上位機(jī)第二散熱板分別通過螺釘固定安裝在上位機(jī)中框兩側(cè)，上位機(jī)第一散熱板和上位機(jī)第二散熱板外側(cè)分別固定設(shè)置有散熱鰭片，下位機(jī)第一控制板和下位機(jī)第二控制板分別固定安裝在下位機(jī)中框兩側(cè)，下位機(jī)第一散熱板和下位機(jī)第二散熱板分別固定安裝在下位機(jī)中框兩側(cè)，下位機(jī)第一散熱板和下位機(jī)第二散熱板外側(cè)分別固定設(shè)置有散熱鰭片，上位機(jī)中框和下位機(jī)中框固定安裝在一起，下位機(jī)中框底部固定安裝有底板，底板前后兩側(cè)分別向外伸出設(shè)置有限位擋板。

5、所述的探測(cè)器包括探測(cè)器主機(jī)和電子阱，探測(cè)器主機(jī)上的接收窗口位置處固定設(shè)置有電子阱，探測(cè)器另一端與控制器安裝在一起。

6、所述的驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置包括滑軌、滑塊、電機(jī)、絲桿和螺套，滑塊設(shè)置在滑軌上，且可沿滑軌來回滑動(dòng)，控制器固定安裝在滑塊上，絲桿平行于滑軌設(shè)置，電機(jī)直接或間接驅(qū)動(dòng)絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)，螺套套裝在絲桿上，螺套直接或間接與控制器安裝在一起。

7、所述的滑軌設(shè)置有兩條，兩條滑軌平行設(shè)置，每條滑軌上設(shè)置有兩個(gè)滑塊，滑軌一端固定安裝在電機(jī)安裝座上，滑軌另一端固定安裝在對(duì)焦裝置上，電機(jī)安裝座呈“u”形，電機(jī)固定安裝在電機(jī)安裝座上，電機(jī)安裝座內(nèi)設(shè)置有聯(lián)軸器，電機(jī)的轉(zhuǎn)子與聯(lián)軸器連接，絲桿連接在聯(lián)軸器另一端。

8、所述的電機(jī)外側(cè)罩裝有電機(jī)保護(hù)蓋，電機(jī)保護(hù)蓋上安裝有接口，接口與電機(jī)電連接，電機(jī)安裝座和對(duì)焦裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)軸承，兩個(gè)軸承分別套裝在絲桿兩端。

9、所述的螺套上通過螺釘固定安裝有驅(qū)動(dòng)板，驅(qū)動(dòng)板與控制器固定安裝在一起，絲桿外側(cè)蓋裝有底部保護(hù)蓋。

10、所述的電機(jī)安裝座和對(duì)焦裝置上分別安裝有一個(gè)限位開關(guān)，限位開關(guān)與底板上的限位擋板對(duì)應(yīng)設(shè)置。

11、所述的對(duì)焦裝置包含法蘭安裝座、探測(cè)器安裝座和兩個(gè)以上的法蘭盤，兩個(gè)以上的法蘭盤安裝在法蘭安裝座和探測(cè)器安裝座之間，每個(gè)法蘭盤至少有一個(gè)安裝面呈傾斜狀，即呈傾斜狀的安裝面與該法蘭盤的軸線之間的夾角為非90°角。

12、所述的法蘭安裝座呈圓環(huán)形，兩個(gè)安裝面平行設(shè)置，法蘭安裝座上開設(shè)有第一安裝孔，第一安裝孔設(shè)置有三個(gè)，三個(gè)第一安裝孔沿法蘭安裝座圓心呈圓周均勻分布，法蘭安裝座中間為第一通孔，法蘭安裝座上開設(shè)有第二安裝孔，第二安裝孔設(shè)置有八個(gè)，八個(gè)第二安裝孔沿法蘭安裝座圓心呈圓周均勻分布，法蘭安裝座一側(cè)開設(shè)有第一密封圈安裝槽，法蘭安裝座另一側(cè)開設(shè)有第二密封圈安裝槽，法蘭安裝座外側(cè)沿圓周方向設(shè)有第一標(biāo)尺；

13、第一法蘭盤呈圓環(huán)形，其中與法蘭安裝座相接觸的安裝面與第一法蘭盤的軸線之間的夾角為90°角，另一個(gè)安裝面與第一法蘭盤的軸線之間的夾角為非90°角，第一法蘭盤兩個(gè)安裝面之間的夾角α為2°~8°之間，優(yōu)選為5°，第一法蘭盤上開設(shè)有第一腰形孔，第一腰形孔對(duì)應(yīng)于第二安裝孔設(shè)置，第一腰形孔設(shè)置有六個(gè)，六個(gè)第一腰形孔沿第一法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第一腰形孔底部設(shè)置有臺(tái)階，第一法蘭盤中間為第二通孔，第一法蘭盤上開設(shè)有第三安裝孔，第三安裝孔設(shè)置有八個(gè)，八個(gè)第三安裝孔沿第一法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第一法蘭盤一側(cè)開設(shè)有第三密封圈安裝槽，第一法蘭盤外側(cè)沿圓周方向設(shè)有第二標(biāo)尺；

14、第二法蘭盤呈圓環(huán)形，兩個(gè)安裝面與第二法蘭盤的軸線之間的夾角均為非90°角，第二法蘭盤兩個(gè)安裝面之間的夾角β為4°~16°之間，優(yōu)選為10°，第二法蘭盤44兩個(gè)安裝面對(duì)稱設(shè)置，第二法蘭盤上開設(shè)有第二腰形孔，第二腰形孔對(duì)應(yīng)于第三安裝孔設(shè)置，第二腰形孔設(shè)置有六個(gè)，六個(gè)第二腰形孔沿第二法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第二腰形孔底部設(shè)置有臺(tái)階，第二法蘭盤中間為第三通孔，第二法蘭盤上開設(shè)有第四安裝孔，第四安裝孔設(shè)置有八個(gè)，八個(gè)第四安裝孔沿第二法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第二法蘭盤外側(cè)沿圓周方向設(shè)有第三標(biāo)尺和第四標(biāo)尺，第三標(biāo)尺和第四標(biāo)尺分別設(shè)置在第二法蘭盤外圓的上下兩側(cè)；

15、第三法蘭盤呈圓環(huán)形，第三法蘭盤與探測(cè)器安裝座相接觸的安裝面與第三法蘭盤的軸線之間的夾角為90°角，另一個(gè)安裝面與第三法蘭盤的軸線之間的夾角為非90°角，第三法蘭盤兩個(gè)安裝面之間的夾角γ為2°~8°之間，優(yōu)選為5°，第三法蘭盤上開設(shè)有第三腰形孔，第三腰形孔對(duì)應(yīng)于第四安裝孔設(shè)置，第三腰形孔設(shè)置有六個(gè)，六個(gè)第三腰形孔沿第三法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第三腰形孔底部設(shè)置有臺(tái)階，第三法蘭盤中間為第四通孔，第三法蘭盤上開設(shè)有第五安裝孔，第五安裝孔設(shè)置有六個(gè)，六個(gè)第五安裝孔沿第三法蘭盤圓心呈圓周均勻分布，第三法蘭盤一側(cè)開設(shè)有第四密封圈安裝槽，第三法蘭盤另一側(cè)開設(shè)有第五密封圈安裝槽，第三法蘭盤外側(cè)沿圓周方向設(shè)有第五標(biāo)尺；

16、探測(cè)器安裝座呈“t”字形，探測(cè)器安裝座的兩個(gè)安裝面平行設(shè)置，探測(cè)器安裝座上開設(shè)有第六安裝孔，第六安裝孔設(shè)置有六個(gè)，六個(gè)第六安裝孔沿探測(cè)器安裝座圓心呈圓周均勻分布，探測(cè)器安裝座中間為第五通孔，探測(cè)器固定安裝在第五通孔內(nèi)，探測(cè)器安裝座的一個(gè)安裝面?zhèn)让嫦蛲馍斐鲆粋€(gè)用于安裝滑軌和限位開關(guān)的安裝板。

17、本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明采用驅(qū)動(dòng)調(diào)節(jié)裝置配合探測(cè)器的結(jié)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)探測(cè)距離的自動(dòng)調(diào)節(jié)，探測(cè)距離調(diào)節(jié)裝置無需手動(dòng)，可遠(yuǎn)程自動(dòng)控制。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用在掃描電鏡上的eds能譜儀。

18、下面將結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。