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一種EDS能譜儀的制作方法

文檔序號:40577024發(fā)布日期:2025-01-07 20:16閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種eds能譜儀,其特征是:所述的能譜儀包括控制器(1)、探測器(2)、驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置(3)和對焦裝置(4),控制器(1)和探測器(2)固定安裝在一起,控制器(1)與驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置(3)安裝在一起,探測器(2)插裝在對焦裝置(4)內(nèi)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的eds能譜儀,其特征是:所述的控制器(1)包括上位機中框(11)、上位機第一散熱板(12)、上位機第二散熱板(15)、上位機第一控制板(19)、上位機第二控制板(110)、上位機第三控制板(111)、下位機中框(13)、下位機第一散熱板(14)、下位機第二散熱板(16)、下位機第一控制板(112)、下位機第二控制板(113)和底板(17),上位機第一控制板(19)固定安裝在上位機中框(11)上,上位機第二控制板(110)通過銅柱固定安裝在上位機第一控制板(19)上,具體實施時,上位機第三控制板(111)固定安裝在上位機中框(11)上,上位機第一散熱板(12)和上位機第二散熱板(15)分別通過螺釘固定安裝在上位機中框(11)兩側(cè),上位機第一散熱板(12)和上位機第二散熱板(15)外側(cè)分別固定設(shè)置有散熱鰭片,下位機第一控制板(112)和下位機第二控制板(113)分別固定安裝在下位機中框(13)兩側(cè),下位機第一散熱板(14)和下位機第二散熱板(16)分別固定安裝在下位機中框(13)兩側(cè),下位機第一散熱板(14)和下位機第二散熱板(16)外側(cè)分別固定設(shè)置有散熱鰭片,上位機中框(11)和下位機中框(13)固定安裝在一起,下位機中框(13)底部固定安裝有底板(17),底板(17)前后兩側(cè)分別向外伸出設(shè)置有限位擋板(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的eds能譜儀,其特征是:所述的探測器(2)包括探測器主機(21)和電子阱(22),探測器主機(21)上的接收窗口(23)位置處固定設(shè)置有電子阱(22),探測器(2)另一端與控制器(1)安裝在一起。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的eds能譜儀,其特征是:所述的驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置(3)包括滑軌(32)、滑塊(33)、電機(36)、絲桿(39)和螺套(312),滑塊(33)設(shè)置在滑軌(32)上,且可沿滑軌(32)來回滑動,控制器(1)固定安裝在滑塊(33)上,絲桿(39)平行于滑軌(32)設(shè)置,電機(36)直接或間接驅(qū)動絲桿(39)轉(zhuǎn)動,螺套(312)套裝在絲桿(39)上,螺套(312)直接或間接與控制器(1)安裝在一起。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的eds能譜儀,其特征是:所述的滑軌(32)設(shè)置有兩條,兩條滑軌(32)平行設(shè)置,每條滑軌(32)上設(shè)置有兩個滑塊(33),滑軌(32)一端固定安裝在電機安裝座(37)上,滑軌(32)另一端固定安裝在對焦裝置(4)上,電機安裝座(37)呈“u”形,電機(36)固定安裝在電機安裝座(37)上,電機安裝座(37)內(nèi)設(shè)置有聯(lián)軸器(38),電機(36)的轉(zhuǎn)子與聯(lián)軸器(38)連接,絲桿(39)連接在聯(lián)軸器(38)另一端。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的eds能譜儀,其特征是:所述的電機(36)外側(cè)罩裝有電機保護蓋(34),電機保護蓋(34)上安裝有接口(35),接口(35)與電機(36)電連接,電機安裝座(37)和對焦裝置(4)內(nèi)分別對應(yīng)設(shè)置有一個軸承(312),兩個軸承(312)分別套裝在絲桿(39)兩端。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的eds能譜儀,其特征是:所述的螺套(311)上通過螺釘固定安裝有驅(qū)動板(310),驅(qū)動板(310)與控制器(1)固定安裝在一起,絲桿(39)外側(cè)蓋裝有底部保護蓋(31)。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的eds能譜儀,其特征是:所述的電機安裝座(37)和對焦裝置(4)上分別安裝有一個限位開關(guān)(313),限位開關(guān)(313)與底板(17)上的限位擋板(18)對應(yīng)設(shè)置。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的eds能譜儀,其特征是:所述的對焦裝置(4)包含法蘭安裝座(42)、探測器安裝座(46)和兩個以上的法蘭盤,兩個以上的法蘭盤安裝在法蘭安裝座(42)和探測器安裝座(46)之間,每個法蘭盤至少有一個安裝面呈傾斜狀,即呈傾斜狀的安裝面與該法蘭盤的軸線之間的夾角為非90°角。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的eds能譜儀,其特征是:所述的法蘭安裝座(42)呈圓環(huán)形,兩個安裝面平行設(shè)置,法蘭安裝座(42)上開設(shè)有第一安裝孔(421),第一安裝孔(421)設(shè)置有三個,三個第一安裝孔(421)沿法蘭安裝座(42)圓心呈圓周均勻分布,法蘭安裝座(42)中間為第一通孔(422),法蘭安裝座(42)上開設(shè)有第二安裝孔(423),第二安裝孔(423)設(shè)置有八個,八個第二安裝孔(423)沿法蘭安裝座(42)圓心呈圓周均勻分布,法蘭安裝座(42)一側(cè)開設(shè)有第一密封圈安裝槽(424),法蘭安裝座(42)另一側(cè)開設(shè)有第二密封圈安裝槽(426),法蘭安裝座(42)外側(cè)沿圓周方向設(shè)有第一標(biāo)尺(425);


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種EDS能譜儀,能譜儀包括控制器、探測器、驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置和對焦裝置,控制器和探測器固定安裝在一起,控制器與驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置安裝在一起,探測器插裝在對焦裝置內(nèi)。本發(fā)明采用驅(qū)動調(diào)節(jié)裝置配合探測器的結(jié)構(gòu),可實現(xiàn)探測距離的自動調(diào)節(jié),探測距離調(diào)節(jié)裝置無需手動,可遠(yuǎn)程自動控制。本發(fā)明可廣泛應(yīng)用在掃描電鏡上的EDS能譜儀。

技術(shù)研發(fā)人員:沈?qū)W靜,劉明博,范真,賈云海,廖學(xué)亮,盧毓華,李程,倪子月,楊博贊,王向征,胡學(xué)強,程大偉,岳元博,王世芳
受保護的技術(shù)使用者:鋼研納克檢測技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/6
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