1.一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：s3中，對每個像素點的發(fā)射強度波動特征進行分析后生成發(fā)射強度波動指數(shù)，發(fā)射強度波動指數(shù)的獲取方法為：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：s3中，對每個像素點的光源響應(yīng)偏差特征進行分析后生成光源響應(yīng)偏差指數(shù)，光源響應(yīng)偏差指數(shù)的獲取方法為：
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：s4中，對提取出的發(fā)射強度波動特征以及光源響應(yīng)偏差特征進行綜合分析，根據(jù)分析結(jié)果評估檢測系統(tǒng)識別薄膜表面真實缺陷的準(zhǔn)確性，具體為：
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：s5中，將檢測系統(tǒng)識別薄膜表面真實缺陷的準(zhǔn)確性劃分為不同的等級，將其劃分為高準(zhǔn)確性檢測等級，中準(zhǔn)確性檢測等級和低準(zhǔn)確性檢測等級，具體為：
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：s6中，對于中準(zhǔn)確性檢測等級，對固定時間段內(nèi)檢測系統(tǒng)識別薄膜表面真實缺陷的準(zhǔn)確性進行預(yù)測，根據(jù)預(yù)測結(jié)果動態(tài)調(diào)整檢測系統(tǒng)中光源的強度和角度，以提高檢測準(zhǔn)確性，具體為：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：當(dāng)預(yù)測準(zhǔn)確性值小于預(yù)測準(zhǔn)確性值參考閾值時，提高光源的強度i，以增加對真實缺陷的對比度，強度調(diào)整公式為：；其中：是調(diào)整后的光源強度，是當(dāng)前光源強度，表示當(dāng)前預(yù)測準(zhǔn)確性與目標(biāo)準(zhǔn)確性值之間的差距，為目標(biāo)準(zhǔn)確性值，β是強度調(diào)整系數(shù)；當(dāng)預(yù)測準(zhǔn)確性值小于預(yù)測準(zhǔn)確性值參考閾值時，調(diào)整光源角度θ以改善光照分布，通過改變?nèi)肷浣嵌?，提升缺陷的顯現(xiàn)效果，角度調(diào)整公式為：；其中：是調(diào)整后的光源角度，是當(dāng)前光源角度，γ是角度調(diào)整系數(shù)。
8.一種薄膜表面缺陷檢測系統(tǒng)，用于實現(xiàn)權(quán)利要求1-7任一項所述的一種薄膜表面缺陷檢測方法，其特征在于：包括光源配置模塊、多頻率光源模塊、特征提取模塊、準(zhǔn)確性評估模塊、檢測等級劃分模塊以及動態(tài)調(diào)整模塊；