承載臺(tái)帶動(dòng)被測(cè)件進(jìn)行XY方向移動(dòng)來進(jìn)行被測(cè)件的表面掃描。在一定的情況下，二維掃描相機(jī)14、三維顯微儀器15和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)16也可以不通過XY基座驅(qū)動(dòng)被測(cè)件進(jìn)行XY方向，而是分別調(diào)整其各自的焦距來實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)件的檢測(cè)。
[0040]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備用于接收二維掃描相機(jī)14和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)16傳送的二維掃描數(shù)據(jù)，判斷是否存在缺陷，如果存在缺陷，進(jìn)一步確定缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和缺陷面積；在數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備確定是否存在缺陷時(shí)，以缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或最大缺陷面積為關(guān)鍵指標(biāo)。數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備還用于接收三維顯微儀器15傳送的三維數(shù)據(jù)并結(jié)合二維掃描數(shù)據(jù)來判斷被測(cè)件是否合格；在數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備判斷被測(cè)件是否合格時(shí)，以缺陷的株度和/或尚度為關(guān)鍵指標(biāo)。
[0041]圖2是本發(fā)明另一實(shí)施例中光學(xué)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)的示意圖。在該【具體實(shí)施方式】中，光學(xué)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)采用流水線方式對(duì)被測(cè)件的各表面進(jìn)行分解檢測(cè)，從而可以實(shí)現(xiàn)被測(cè)件量產(chǎn)的檢測(cè)。
[0042]光學(xué)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)包括承載臺(tái)21、二維掃描相機(jī)22、加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23、數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備(未圖示)和三維顯微儀器24。
[0043]在本發(fā)明【具體實(shí)施方式】中，承載臺(tái)21采用流水線式的傳送帶機(jī)構(gòu)，被測(cè)件放置在傳送帶機(jī)構(gòu)上，通過傳送帶的帶動(dòng)，依次進(jìn)行掃描檢測(cè)。
[0044]二維掃描相機(jī)22用于分步掃描被測(cè)件的表面。加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23用于掃描被測(cè)件的內(nèi)表面。三維顯微儀器用于測(cè)定被測(cè)件表面缺陷的高度和/或深度。數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備用于接收二維掃描相機(jī)22和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23傳送的二維掃描數(shù)據(jù)，判斷是否存在缺陷、如果存在缺陷，確定缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積，還用于接收三維顯微儀器24傳送的三維數(shù)據(jù)，并結(jié)合二維掃描數(shù)據(jù)來判斷被測(cè)件是否合格。
[0045]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，二維掃描相機(jī)22和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23可以對(duì)被測(cè)件的各表面進(jìn)行分解檢測(cè)。具體地，二維掃描相機(jī)22和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23可以按照順序分別將掃描到的各表面二維掃描的數(shù)據(jù)傳送到數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備，例如二維掃描相機(jī)22在完成被測(cè)件的上表面掃描后即可把相應(yīng)數(shù)據(jù)傳送到數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備，如果數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備對(duì)掃描的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)上表面存在缺陷，則可以不必進(jìn)行被測(cè)件其他面的掃描，即可來進(jìn)行判斷被測(cè)件是否合格的步驟，如此，可以縮短掃描和數(shù)據(jù)分析的時(shí)間，提高檢測(cè)速度。光學(xué)缺陷檢測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行判斷被測(cè)件是否合格的流程可以結(jié)合參考前述的光學(xué)缺陷檢測(cè)方法，故在此不贅述。
[0046]此外優(yōu)選地，對(duì)被測(cè)件的各表面進(jìn)行分解檢測(cè)時(shí)，可以確定被測(cè)件各表面的掃描時(shí)間，根據(jù)各表面的掃描時(shí)間從短到長(zhǎng)的順序依次對(duì)被測(cè)件的表面進(jìn)行檢測(cè)，例如被測(cè)件的上/下表面掃描時(shí)間最短，二維掃描相機(jī)22首先檢測(cè)被測(cè)件的上/下表面，如果沒有發(fā)現(xiàn)缺陷，則繼續(xù)進(jìn)行其他面的檢測(cè)，如果發(fā)現(xiàn)缺陷，則可以不必進(jìn)行被測(cè)件其他面的掃描，即可來進(jìn)行判斷被測(cè)件是否合格的步驟，如此，可以進(jìn)一步優(yōu)化二維掃描，縮短掃描和數(shù)據(jù)分析的時(shí)間，提高檢測(cè)速度。
[0047]需要說明的是，在和圖2對(duì)應(yīng)的本實(shí)施例中的二維掃描相機(jī)22、加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)23、數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備和三維顯微儀器24與和圖1對(duì)應(yīng)的實(shí)施例中的二維掃描相機(jī)14、加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)16、數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備和三維顯微儀器15相同或類似，故在此不贅述。
[0048]圖3是本發(fā)明光學(xué)缺陷檢測(cè)方法的流程示意圖。配合參照?qǐng)D1和圖2，在本發(fā)明【具體實(shí)施方式】中，對(duì)被測(cè)件進(jìn)行光學(xué)缺陷檢測(cè)包括以下步驟:
[0049]步驟301、將被測(cè)件置于承載臺(tái)上。
[0050]具體地，承載臺(tái)可以如和圖1對(duì)應(yīng)的實(shí)施例中帶有馬達(dá)的傳送帶結(jié)構(gòu)，該傳送帶結(jié)構(gòu)適應(yīng)于放置一個(gè)被測(cè)件，在該承載臺(tái)下還包括旋轉(zhuǎn)基座和XY基座，如此，被測(cè)件可以在承載臺(tái)進(jìn)行自轉(zhuǎn)，和/或升降，和/或旋轉(zhuǎn)，和/或在X方向和Y方向上移動(dòng)。
[0051]承載臺(tái)也可以如和圖2對(duì)應(yīng)的實(shí)施例中流水線式的傳送帶機(jī)構(gòu)，該流水線式的傳送帶機(jī)構(gòu)適應(yīng)于放置多個(gè)被測(cè)件，如此，通過傳送帶的帶動(dòng)，多個(gè)被測(cè)件放置在傳送帶機(jī)構(gòu)上實(shí)現(xiàn)批量檢測(cè)。
[0052]步驟302、二維掃描相機(jī)和/或加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)對(duì)被測(cè)件的表面進(jìn)行掃描，并將掃描數(shù)據(jù)傳送到數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備。
[0053]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，二維掃描相機(jī)和/或加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)按照排列順序?qū)Ρ粶y(cè)件的表面進(jìn)行掃描。具體地，以中空?qǐng)A柱體的被測(cè)件為例，該被測(cè)件包括上下兩個(gè)表面、外徑面和內(nèi)徑面，還可能包括內(nèi)徑倒角和外徑倒角。圖4為二維掃描相機(jī)和加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)對(duì)被測(cè)件的掃描執(zhí)行順序和掃描平均周期時(shí)間的示意圖，該二維掃描相機(jī)按照設(shè)定程序可以對(duì)被測(cè)件的各個(gè)面進(jìn)行二維掃描，該被測(cè)件的二維掃描時(shí)間總共約為8s。當(dāng)然，對(duì)于其他形狀的被測(cè)件，掃描執(zhí)行順序和掃描平均周期時(shí)間均不限于既有實(shí)施方式所公開的內(nèi)容。
[0054]如果對(duì)多個(gè)被測(cè)件進(jìn)行批量檢測(cè)，二維掃描相機(jī)和/或加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)對(duì)被測(cè)件的各表面可以進(jìn)行分解檢測(cè)。優(yōu)選地，二維掃描相機(jī)和/或加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)確定被測(cè)件各表面的掃描時(shí)間，將各表面的掃描時(shí)間從短到長(zhǎng)的進(jìn)行排列，根據(jù)排列順序?qū)Ρ粶y(cè)件的表面進(jìn)行檢測(cè)。二維掃描相機(jī)和/或加裝內(nèi)窺鏡的二維掃描相機(jī)在完成被測(cè)件的一表面掃描后即可把相應(yīng)數(shù)據(jù)傳送到數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備，如果數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備對(duì)掃描的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)該表面存在缺陷，則可以不必進(jìn)行被測(cè)件其他面的掃描，即可來進(jìn)行判斷被測(cè)件是否合格的步驟，如果沒有發(fā)現(xiàn)該表面存在缺陷，則繼續(xù)按照排列順序進(jìn)行下一個(gè)表面的掃描。如此，實(shí)現(xiàn)縮短掃描和數(shù)據(jù)分析的時(shí)間，提高檢測(cè)速度。
[0055]步驟303、數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備對(duì)二維掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，判斷被測(cè)件是否存在缺陷，如果存在缺陷，確定缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積；
[0056]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備可以為計(jì)算機(jī)，該數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備接收二維掃描相機(jī)傳送來的掃描數(shù)據(jù)，通過設(shè)定的軟件算法對(duì)掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，缺陷可劃分為三種類型:凹形、目測(cè)不良和凸起，其中凹形可以是氣孔、壓痕或劃痕等。仍以中空?qǐng)A柱體的被測(cè)件為例，被測(cè)件的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)可以如圖5A所示，在該缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)中，在被測(cè)件的各面上，可能會(huì)存在凹形、目測(cè)不良和凸起，二維掃描無法區(qū)分凹形和凸起，所以將凹形和凸起視為一類缺陷。被測(cè)件的二維掃描的數(shù)據(jù)可以以圖5B為例，由此，數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備通過分析數(shù)據(jù)可以判斷是否存在缺陷，如果存在缺陷，確定缺陷類型、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積。
[0057]步驟304、如果確定存在缺陷，且缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積超出第一閾值，則數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備判斷該被測(cè)件不合格；
[0058]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備設(shè)定有第一閾值，該第一閾值針對(duì)二維缺陷特征，可以是對(duì)缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積的設(shè)定；數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備通過對(duì)掃描數(shù)據(jù)進(jìn)行分析確定存在缺陷，判斷該缺陷的缺陷類型、缺陷形狀、缺陷位置、缺陷個(gè)數(shù)和/或缺陷面積是否超出第一閾值，如果超出，則數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備判斷該被測(cè)件不合格。
[0059]在本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】中，以圖5A所示的缺陷判斷標(biāo)準(zhǔn)為例，設(shè)定第一閾值是缺陷面積為小于等于0.2X0.2_2，若數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備通過分析發(fā)現(xiàn)缺陷，且該缺陷的面積大于0.2X0.2_2，則數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備可以根據(jù)該二維掃描的數(shù)據(jù)直接判斷該被測(cè)件不合格；另外，也可以設(shè)定第一閾值是缺陷類型為十字形，若數(shù)據(jù)分析及機(jī)器控制設(shè)備通過分析發(fā)現(xiàn)缺陷，但該缺陷類型不是十字形，即該缺陷類型超出了設(shè)定的