一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及基板制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，制作陣列基板的工藝包括在玻璃基板上進(jìn)行成膜、曝光、刻蝕等步驟，而玻璃基板的表面通常存在一些灰塵、油脂等雜質(zhì)，這些雜質(zhì)會(huì)影響玻璃基板上成膜的質(zhì)量，為了保證玻璃基板上成膜的質(zhì)量，在進(jìn)行成膜步驟之前，需要將玻璃基板浸入清洗液中進(jìn)行清洗，洗去雜質(zhì)。清洗液在使用到一定程度后需要更換，以防止出現(xiàn)玻璃基板的清潔結(jié)果較差的問題。在現(xiàn)有技術(shù)中，往往根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)玻璃基板的塊數(shù)來決定是否更換清洗液，當(dāng)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)玻璃基板的塊數(shù)達(dá)到規(guī)定塊數(shù)時(shí)，更換清洗液。
[0003]但是由于每塊玻璃基板的污染程度不同，每塊玻璃基板對(duì)清洗液的使用程度也不同，根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)玻璃基板的塊數(shù)來決定是否更換清洗液，會(huì)出現(xiàn)清洗液使用不充分就更換造成的清洗液浪費(fèi)，或清洗液使用過度造成的清洗效果差的現(xiàn)象，使得選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)，用于提高選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0006]一方面，本發(fā)明提供了一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法，包括:
[0007]將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中；
[0008]接收返回導(dǎo)波，所述返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到所述清洗液中且返回的部分；
[0009]獲取所述返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量；
[0010]若所述返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，則確定更換所述清洗液。
[0011]另一方面，本發(fā)明提供了一種檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，包括扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器和示波器；
[0012]其中，所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，用于將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中；還用于接收返回導(dǎo)波，所述返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到所述清洗液中返回的部分；
[0013]所述示波器，用于獲取所述返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量；還用于當(dāng)所述返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量時(shí)，確定更換所述清洗液。
[0014]本發(fā)明提供的檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)中，通過將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入到清洗液中，根據(jù)返回導(dǎo)波的能量和預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量進(jìn)行對(duì)比，確定清洗液是否需要更換，與現(xiàn)有技術(shù)中根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)的玻璃基板的塊數(shù)來決定是否更換清洗液的方法相比，本發(fā)明利用扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波本身具有的對(duì)牛頓液體的粘滯系數(shù)較為敏感的特性，根據(jù)返回導(dǎo)波的能量能夠得知清洗液本身的使用程度，從而能夠準(zhǔn)確的判斷清洗液是否需要更換，提高選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性。
【附圖說明】
[0015]此處所說明的附圖用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，構(gòu)成本發(fā)明的一部分，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0016]圖1為本發(fā)明實(shí)施例一中檢測(cè)清洗液使用程度的方法的流程圖；
[0017]圖2為本發(fā)明實(shí)施例二中檢測(cè)清洗液使用程度的方法的流程圖；
[0018]圖3為本發(fā)明實(shí)施例二中扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的頻率與牛頓液體的粘滯系數(shù)之間的變化關(guān)系的不意圖；
[0019]圖4為本發(fā)明實(shí)施例三中檢測(cè)清洗液使用程度的方法的流程圖；
[0020]圖5為本發(fā)明實(shí)施例四中檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖6為本發(fā)明實(shí)施例五中檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]附圖標(biāo)記:
[0023]20-扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，21-示波器，
[0024]22-清洗液，23-函數(shù)發(fā)生器，
[0025]24-功率放大器。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為了進(jìn)一步說明本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)，下面結(jié)合說明書附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0027]實(shí)施例一
[0028]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明實(shí)施例提供一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法，包括:
[0029]步驟101，將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中；其中，清洗液屬于牛頓液體，而扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波對(duì)牛頓液體粘滯系數(shù)較為敏感，通過扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波在清洗液中能量的衰減程度，可以得到清洗液的粘滯系數(shù)，根據(jù)清洗液的粘滯系數(shù)可以得知清洗液的使用程度，從而判斷清洗液是否需要更換；在本發(fā)明實(shí)施例中可以利用扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器生成扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波，將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中。
[0030]步驟102，接收返回導(dǎo)波；其中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器為自激自收傳感器，返回導(dǎo)波為扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到清洗液中且返回扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器的部分，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入牛頓液體中，有部分扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波會(huì)發(fā)生衰減，消耗泄漏到清洗液中，無法再返回扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到清洗液中且返回扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器的部分也就是扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未發(fā)生衰減的部分；在本發(fā)明實(shí)施例中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器還可以接收返回導(dǎo)波。
[0031]步驟103，獲取所述返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量；其中，預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量，返回導(dǎo)波的能量的大小與清洗液的使用程度成反比，將返回導(dǎo)波的能量與預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量進(jìn)行對(duì)比，從而根據(jù)對(duì)比結(jié)果決定是否需要更換清洗液。
[0032]步驟104，若所述返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，則確定更換所述清洗液；當(dāng)返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量時(shí)，說明清洗液的使用程度已經(jīng)到達(dá)需要更換清洗液的程度，確定更換清洗液；當(dāng)返回導(dǎo)波的能量大于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量時(shí)，說明清洗液的使用程度還未到達(dá)需要更換清洗液的程度，清洗液還可以繼續(xù)使用，確定不需更換清洗液。
[0033]本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)清洗液使用程度的方法中，通過將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入到清洗液中，根據(jù)返回導(dǎo)波的能量和預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量進(jìn)行對(duì)比，確定清洗液是否需要更換，與現(xiàn)有技術(shù)中根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)的玻璃基板的塊數(shù)來決定是否更換清洗液的方法相比，本發(fā)明利用扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波本身具有的對(duì)牛頓液體的粘滯系數(shù)較為敏感的特性，根據(jù)返回導(dǎo)波的能量能夠得知清洗液本身的使用程度，從而能夠準(zhǔn)確的判斷清洗液是否需要更換，提高選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性。
[0034]實(shí)施例二
[0035]請(qǐng)參閱圖2，在實(shí)施例一的基礎(chǔ)上，還可以在步驟101之前增添步驟105-步驟107，步驟105-步驟107具體說明如何生成扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波，包括:
[0036]步驟105，生成初始導(dǎo)波信號(hào)；其中，可以利用函數(shù)發(fā)生器生成初始導(dǎo)波信號(hào)，初始導(dǎo)波信號(hào)具體可以是正弦波、方波或三角波等，為了便于觀察，初始導(dǎo)波信號(hào)還可以是經(jīng)過漢寧窗調(diào)制的正弦波、方波或三角波，優(yōu)選初始導(dǎo)波信號(hào)為經(jīng)過漢寧窗調(diào)制的正弦波，比如，利用函數(shù)發(fā)生器生成1-10個(gè)周期的經(jīng)漢寧窗調(diào)制的正弦波，并將1-10個(gè)周期的經(jīng)漢寧窗調(diào)制的正弦波作為初始導(dǎo)波信號(hào)。且為了保證初始導(dǎo)波信號(hào)的準(zhǔn)確性，可以在函數(shù)發(fā)生器設(shè)定初始導(dǎo)波信號(hào)的波形的各個(gè)參數(shù)后，將初始導(dǎo)波信號(hào)通入示波器，通過示波器觀察初始導(dǎo)波信號(hào)是否準(zhǔn)確，若不準(zhǔn)確，重新調(diào)試函數(shù)發(fā)生器，直至初始導(dǎo)波信號(hào)準(zhǔn)確為止。
[0037]步驟106，對(duì)所述初始導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行功率放大，將功率放大后的所述初始導(dǎo)波信號(hào)作為激勵(lì)信號(hào)；為了能夠得到能量變化更加明顯的扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波，對(duì)初始導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行功率放大，將功率放大后的初始導(dǎo)波信號(hào)作為激勵(lì)信號(hào)輸入扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，具體可以將初始導(dǎo)波信號(hào)通入功率放大器中進(jìn)行放大，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器根據(jù)激勵(lì)信號(hào)，生成通入清洗液中的扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
[0038]步驟107，根據(jù)所述激勵(lì)信號(hào)，生成所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波；其中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器為自激自收傳感器，能夠根據(jù)激勵(lì)信號(hào)，生成扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
[0039]此外，還可以在步驟103之前增添步驟108-步驟110，從而獲取預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，包括:
[0040]步驟108，將所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入需要更換的清洗液中；其中，將需要更換的清洗液作為標(biāo)準(zhǔn)，將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入需要更換的清洗液中。
[0041]步驟109，接收標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波；其中，標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波為扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到需要更換的清洗液中且返回扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器的部分。
[0042]步驟110，根據(jù)接收的所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，獲取所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量；預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量