為標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波對(duì)應(yīng)的能量。
[0043]需要說(shuō)明的是，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的模態(tài)有多種，比如T(0，1)、T(0，2)、T(0，3)等，其中，利用τ(0，I)模態(tài)超聲導(dǎo)波對(duì)清洗液進(jìn)行檢測(cè)的效果較佳。而且，請(qǐng)參閱圖3，隨著頻率的增加，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波對(duì)同一粘滯系數(shù)的牛頓液體的衰減系數(shù)更大，在本實(shí)施例中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的頻率范圍為50kHz?200kHz，其中，受制作工藝對(duì)扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器本身的限制，實(shí)際操作中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的頻率為128kHz較佳。因此，優(yōu)選頻率為128kHz的T(0，I)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
[0044]實(shí)施例三
[0045]請(qǐng)參閱圖4，為了能夠直觀的得知并觀察返回導(dǎo)波的能量，可以通過(guò)獲取返回導(dǎo)波的波形來(lái)表示返回導(dǎo)波的能量，實(shí)施例一中的步驟103還可以細(xì)化為步驟1031，包括:
[0046]步驟1031，獲取所述返回導(dǎo)波的波形幅值，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的波形幅值是否小于或等于所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波的波形幅值；所述波形幅值表示導(dǎo)波的能量，具體可以將返回導(dǎo)波通入示波器，觀察返回導(dǎo)波的波形幅值，波形幅值越大，表示返回導(dǎo)波的能量越大。若返回導(dǎo)波的波形幅值小于或等于標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波的波形幅值時(shí)，確定更換清洗液；標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波的波形幅值表示扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到需要更換的清洗液中且返回扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器的部分的能量；當(dāng)返回導(dǎo)波的波形幅值大于標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波的波形幅值時(shí)，確定不需更換清洗液。
[0047]實(shí)施例四
[0048]請(qǐng)參閱圖5，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20和示波器21，其中，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20用于將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液22中；扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20還用于接收返回導(dǎo)波，返回導(dǎo)波為扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到清洗液中返回的部分；示波器21用于獲取返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量；示波器21還用于當(dāng)返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量時(shí)，確定更換清洗液。
[0049]本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，包括扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20和示波器21，扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入到清洗液22中，根據(jù)扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20接收到的返回導(dǎo)波的能量和預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量進(jìn)行對(duì)比，確定清洗液22是否需要更換，與現(xiàn)有技術(shù)中根據(jù)清洗同一標(biāo)準(zhǔn)的玻璃基板的塊數(shù)來(lái)決定是否更換清洗液的方法相比，本發(fā)明利用扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波本身具有的對(duì)牛頓液體的粘滯系數(shù)較為敏感的特性，根據(jù)返回導(dǎo)波的能量能夠得知清洗液本身的使用程度，從而能夠準(zhǔn)確的判斷清洗液是否需要更換，提高選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性。
[0050]實(shí)施例五
[0051]請(qǐng)參閱圖6，在實(shí)施例四的基礎(chǔ)上，檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)還可以包括函數(shù)發(fā)生器23和功率放大器24 ;其中，函數(shù)發(fā)生器23用于生成初始導(dǎo)波信號(hào)；功率放大器24用于對(duì)初始導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行功率放大，將功率放大后的初始導(dǎo)波信號(hào)作為激勵(lì)信號(hào)；上述實(shí)施例中的扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器20還用于根據(jù)激勵(lì)信號(hào)，生成扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波；以及用于將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入需要更換的清洗液中；并用于接收標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波為扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到需要更換的清洗液中返回的部分；示波器21還用于根據(jù)接收的標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，獲取預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量。具體的，示波器21具體用于獲取返回導(dǎo)波的波形幅值，波形幅值表示返回導(dǎo)波的能量。
[0052]需要說(shuō)明的是，為了能夠更準(zhǔn)確的得知清洗液的使用程度，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波選用τ(0，I)模態(tài)的超聲導(dǎo)波，扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的頻率范圍為50kHz?200kHz。
[0053]本說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即可，每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處。尤其，對(duì)于系統(tǒng)實(shí)施例而言，由于其基本相似于方法實(shí)施例，所以描述得比較簡(jiǎn)單，相關(guān)之處參見(jiàn)方法實(shí)施例的部分說(shuō)明即可
[0054]在上述實(shí)施方式的描述中，具體特征或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0055]以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)以所述權(quán)利要求的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，包括: 將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中； 接收返回導(dǎo)波，所述返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到所述清洗液中且返回的部分； 獲取所述返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量； 若所述返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，則確定更換所述清洗液。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，在將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中的步驟之前，還包括: 生成初始導(dǎo)波信號(hào)； 對(duì)所述初始導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行功率放大，將功率放大后的所述初始導(dǎo)波信號(hào)作為激勵(lì)信號(hào); 根據(jù)所述激勵(lì)信號(hào)，生成所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，在檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量的步驟之前，還包括: 將所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入需要更換的清洗液中； 接收標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到需要更換的清洗液中且返回的部分； 根據(jù)接收的所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，獲取所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，獲取所述返回導(dǎo)波的能量的步驟具體包括: 獲取所述返回導(dǎo)波的波形幅值，所述波形幅值表示所述返回導(dǎo)波的能量。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波為T(mén)(O, I)扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任意一項(xiàng)所述的檢測(cè)清洗液使用程度的方法，其特征在于，所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波的頻率范圍為50kHz?200kHz。
7.—種檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，其特征在于，包括扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器和示波器； 其中，所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，用于將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中；還用于接收返回導(dǎo)波，所述返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到所述清洗液中返回的部分; 所述示波器，用于獲取所述返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)所述返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量；還用于當(dāng)所述返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量時(shí)，確定更換所述清洗液。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，其特征在于，所述檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)還包括函數(shù)發(fā)生器和功率放大器； 其中，所述函數(shù)發(fā)生器，用于生成初始導(dǎo)波信號(hào)； 所述功率放大器，用于對(duì)所述初始導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行功率放大，將功率放大后的所述初始導(dǎo)波信號(hào)作為激勵(lì)信號(hào)； 所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，還用于根據(jù)所述激勵(lì)信號(hào)，生成所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，其特征在于，所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)磁致伸縮傳感器，還用于將所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入需要更換的清洗液中；并用于接收標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波為所述扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到需要更換的清洗液中返回的部分； 所述示波器，還用于根據(jù)接收的所述標(biāo)準(zhǔn)返回導(dǎo)波，獲取所述預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的檢測(cè)清洗液使用程度的系統(tǒng)，其特征在于，所述示波器具體用于獲取所述返回導(dǎo)波的波形幅值，所述波形幅值表示所述返回導(dǎo)波的能量。
【專利摘要】本發(fā)明公開(kāi)一種檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)，涉及基板制備技術(shù)領(lǐng)域，為解決選擇更換清洗液的節(jié)點(diǎn)的準(zhǔn)確性差的問(wèn)題。所述檢測(cè)清洗液使用程度的方法包括：將扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波通入清洗液中；接收返回導(dǎo)波，返回導(dǎo)波為扭轉(zhuǎn)模態(tài)超聲導(dǎo)波未泄露到清洗液中且返回的部分；獲取返回導(dǎo)波的能量，檢測(cè)返回導(dǎo)波的能量是否小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量為需要更換的清洗液對(duì)應(yīng)的返回導(dǎo)波的能量；若返回導(dǎo)波的能量小于或等于預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)能量，則確定更換清洗液。本發(fā)明提供的檢測(cè)清洗液使用程度的方法和系統(tǒng)用于在清洗玻璃基板的過(guò)程中判斷清洗液的使用程度。
【IPC分類】G01N29-032
【公開(kāi)號(hào)】CN104849347
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510289389
【發(fā)明人】高博, 王秀榮, 張 浩, 李亞飛
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方光電科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月19日
【申請(qǐng)日】2015年5月29日