10中實現(xiàn)處理部
111、以及構(gòu)成處理部111的取得部112、判定部113、S選通處理部114、觸發(fā)點設定處理部
115、F選通處理部116。在此,波形數(shù)據(jù)是指將探針1(圖1)接收到的反射回波的回波強度設為時序數(shù)據(jù)。
[0065]此外,在將檢查裝置100安裝在A/D轉(zhuǎn)換器6中的情況下,通過構(gòu)成在基板上的數(shù)字電路,實現(xiàn)處理部111以及構(gòu)成處理部111的各部112?116。此外,在通過構(gòu)成在基板上的數(shù)字電路實現(xiàn)各部111?116的情況下,由寄存器等構(gòu)成存儲裝置130。
[0066]取得部112在將檢查裝置100安裝在A/D轉(zhuǎn)換器6中的情況下,從接收器5取得波形數(shù)據(jù),在將檢查裝置100安裝在控制裝置7中的情況下從A/D轉(zhuǎn)換器6取得波形數(shù)據(jù)。即,取得部112取得來自超聲波檢查的被檢測體的反射回波的數(shù)據(jù)即波形數(shù)據(jù)。
[0067]判定部113進行各種判定。
[0068]S選通處理部114對波形數(shù)據(jù)進行S選通處理。將在后面說明S選通處理。此外,在第三、第四實施方式中,S選通處理部114進行S1選通處理和S2選通處理。將在后面說明S1選通處理和S2選通處理。即,S選通處理部114對所取得的上述波形數(shù)據(jù)進行用于檢測觸發(fā)點的S選通處理。
[0069]觸發(fā)點設定處理部115在通過S選通處理部114的S選通處理(S1選通處理、S2選通處理)無法檢測出觸發(fā)點的情況下,使用其他波形數(shù)據(jù)對觸發(fā)點進行插補。即,觸發(fā)點設定處理部115在成為處理對象的波形數(shù)據(jù)中,基于從其他波形數(shù)據(jù)取得的觸發(fā)點來設定用于檢測基準波的觸發(fā)點(插補觸發(fā)點)。
[0070]F選通處理部116進行F選通處理。在F選通處理中,F(xiàn)選通處理部116根據(jù)所設定的觸發(fā)點,在預先設定的預定時間后設定用于檢測成為目標的波形的F選通。然后,F(xiàn)選通處理部116通過檢測成為目標的波形,進行影像化的數(shù)據(jù)(檢查圖像的數(shù)據(jù))的抽出處理。
[0071]〈比較例子〉
[0072]首先,為了說明普通的跟蹤選通方式的超聲波檢查方法的問題,將普通進行的跟蹤選通方式作為本申請發(fā)明的實施方式的比較例子,說明該比較例子。
[0073](被檢測體)
[0074]圖3是表示被檢測體的例子的圖。
[0075]在此,相對于水平面傾斜地設置被檢測體2。另外,被檢測體2在內(nèi)部具有內(nèi)部界面S1和內(nèi)部構(gòu)造S2。即,通過異物300傾斜地設置被檢測體2。
[0076]超聲波信號入射到被檢測體2的符號P1?P8的各個測定點。
[0077]在測定點?1、?3、?5、?7中存在內(nèi)部構(gòu)造。另外,在測定點?2、?5、?7,在被檢測體2表面存在減弱反射回波的異質(zhì)性301。
[0078]在此,假設檢測內(nèi)部構(gòu)造S2的有無是檢查目標。
[0079]圖4是表示比較例子的超聲波檢查方法的處理概要的圖。一邊適當?shù)貐⒄請D3,一邊在圖4中說明比較例子的超聲波檢查方法。
[0080]在圖4中,在測定點P1?P8中通過時序表示由探針1檢測到的反射回波的波形。
[0081]這里,F(xiàn)1是被檢測體2表面的反射回波,F(xiàn)2是內(nèi)部界面S1的反射回波,F(xiàn)3是內(nèi)部構(gòu)造S2的反射回波,F(xiàn)4是被檢測體2底面的反射回波。另外,在圖4中,符號TP表示觸發(fā)點。另夕卜,符號SG是S選通,符號FG是F選通。對于S選通、F選通,上述已經(jīng)說明,因此省略此處的說明。此外,在圖4中,通過傾斜地設置被檢測體2,向測定API?P8施加各反射回波F1?F4并逐漸向后移動。
[0082]如圖4所示,在測定點P2、P5、P7中,由于被檢測體2表面的異質(zhì)性301,反射回波變小,超聲波檢查系統(tǒng)無法檢測出觸發(fā)點TP。因此,超聲波檢查系統(tǒng)無法設定F選通(用虛線表示)。
[0083]其結(jié)果是在測定點P2、P5、P7,無法判定內(nèi)部構(gòu)造2的反射回波的有無。即,在測定點P2、P5、P7中產(chǎn)生數(shù)據(jù)缺失。
[0084]圖5是表示比較例子的檢查裝置的檢查圖像的例子的圖。在此,圖5(a)是針對圖3所示的被檢測體2進行圖4所示的處理所得的檢查圖像,圖5(b)是應該從圖3所示的被檢測體2得到的檢查圖像。
[0085]在圖5中,用“白”表示檢測出內(nèi)部構(gòu)造物的地方,用“黑”表示沒有檢測出內(nèi)部構(gòu)造物的地方,用點表示產(chǎn)生了數(shù)據(jù)缺失的地方(即不清楚內(nèi)部構(gòu)造物S2的有無的地方)。
[0086]如圖5(a)所示,可知在測定點P2、P5、P7產(chǎn)生了數(shù)據(jù)缺失。
[0087]〈第一實施方式〉
[0088]接著,參照圖6?圖8說明本發(fā)明的第一實施方式。理想的是將第一實施方式應用于同時處理方式,但也可以應用于統(tǒng)一處理方式。
[0089]在此,同時處理方式是檢查裝置100—邊取得波形數(shù)據(jù),一邊依次地進行選通處理。與此相對,統(tǒng)一處理方式是檢查裝置100在暫時取得了從所有測定點得到的波形數(shù)據(jù)后,對取得的波形數(shù)據(jù)進行選通處理。
[0090]此外,第一?第四實施方式的檢查裝置100的結(jié)構(gòu)都與圖2所示的結(jié)構(gòu)相同,因此在第一?第四實施方式中,省略對檢查裝置100的結(jié)構(gòu)的說明。
[0091](處理概要)
[0092]圖6是表示第一實施方式的超聲波檢查方法的處理的概要的圖。
[0093]圖6表示對圖3所示的被檢測體2進行第一實施方式的超聲波檢查處理的例子。
[0094]此外,在圖6中,對與圖4相同的結(jié)構(gòu)附加相同的符號而省略說明。
[0095]檢查裝置100在圖4中無法檢測出觸發(fā)點的測定點?2、?5、?7,將上一個測定點?1、P4、P6的觸發(fā)點TP(用黑圈表示)設定為測定點P2、P5、P7的插補觸發(fā)點(成為處理對象的波形數(shù)據(jù)的觸發(fā)點)TPS(用白圈表示)。
[0096]將之前的測定點P1、P4、P6的觸發(fā)點TP設定為測定點P2、P5、P7的插補觸發(fā)點TPS是指將之前的測定點P1、P4、P6的觸發(fā)點TP的時刻設定為測定點P2、P5、P7的插補觸發(fā)點TPS的時刻。
[0097]具體地說,檢查裝置100將測定點P1的觸發(fā)點TP1設定為測定點P2的插補觸發(fā)點TPS2。同樣,檢查裝置100將測定點P4的觸發(fā)點TP4設定為測定點P5的插補觸發(fā)點TPS5,將測定點P6的觸發(fā)點TP6設定為測定點P7的插補觸發(fā)點TPS7。
[0098]由此,在圖4所示的方法中,即使無法取得觸發(fā)點TP的測定點P2、P5、P7也能夠設定插補觸發(fā)點TPS。其結(jié)果是檢查裝置100即使是在圖4中無法設定F選通FG的測定點P2、P5、P7中也能夠設定F選通FG。
[0099]圖7是表示使用了第一實施方式的超聲波檢查方法的結(jié)果而得到的檢查圖像的例子的圖。
[0100]進行圖6所示的處理的結(jié)果是,由于被檢測體2表面的異質(zhì)性301,在比較例子的技術(shù)中,在如圖5(a)所示產(chǎn)生了數(shù)據(jù)缺失的測定點P2、P5、P7中,能夠如圖7所示將與內(nèi)部構(gòu)造物的有無有關(guān)的信息正確地顯示為檢查圖像。
[0101](流程圖)
[0102]圖8是表示第一實施方式的超聲波檢查方法的詳細處理步驟的流程圖。適當?shù)貐⒄請D2。
[0103]首先,判定部113判定取得部112是否取得了波形數(shù)據(jù)(S101)。
[0104]在步驟S101的結(jié)果是沒有取得波形數(shù)據(jù)的情況下(S101—否),處理部111將處理返回到步驟S101,等待波形數(shù)據(jù)的取得。
[0105]在步驟S101的結(jié)果是取得了波形數(shù)據(jù)的情況下(步驟S101—是),S選通處理部114對取得的波形進行S選通處理(S102)。在S選通處理中,在所設定的S選通內(nèi),S選通處理部114判定是否檢測出超過S觸發(fā)電平的反射回波。
[0106]然后,判定部113判定S選通處理的結(jié)果是否檢測出觸發(fā)點(S103)。
[0107]在步驟S103的結(jié)果是檢測出觸發(fā)點的情況下(步驟S103—是),觸發(fā)點設定處理部115將檢測出的觸發(fā)點作為保存值覆蓋寫入到存儲裝置130,由此更新保存值(S104)。然后,處理部111將處理前進到步驟S108。
[0108]在步驟S103的結(jié)果是無法檢測出觸發(fā)點的情況下,判定部113判定在存儲裝置130中是否有保持值(S105)。
[0109]在步驟S105的結(jié)果是沒有保持值的情況下(S105—否),處理部111將處理前進到步驟S109。
[0110]在步驟S105的結(jié)果是有保持值的情況下(S105—是),觸發(fā)點設定處理部115從存儲裝置130取得保存值(S106),將該保存值設定為成為處理對象的波形數(shù)據(jù)的插補觸發(fā)點(S107)。
[0111]然后,F(xiàn)選通處理部116使用在步驟S103中檢測出的觸發(fā)點、或在步驟S107中使用保存值而設定的插補觸發(fā)點,對成為處理對象的波形數(shù)據(jù)進行F選通處理(S108)。在F選通處理中,如上述那樣,F(xiàn)選通處理部116根據(jù)觸發(fā)點或插補觸發(fā)點,在預先設定的預定時間后設定F選通。然后,F(xiàn)選通處理部116在設定的F選通內(nèi),檢測成為目標的波形,由此進行影像化的數(shù)據(jù)(檢查圖像的數(shù)據(jù))的抽出處理。
[0112]接著,處理部111判定是否對所有的測定點結(jié)束了步驟S101?S108的處理(S109)。
[0113]在步驟S109的結(jié)果是在對所有的測定點沒有完成步驟S101?S108的處理的情況下(S109—否),處理部111將處理返回到步驟S101,對下一個測定點進行處理。
[0114]在步驟S109的結(jié)果是對所有的測定點完成了步驟S101?S108的處理的情況下(S109—是),處理部111結(jié)束處理。
[0115]此外,在圖6所示的處理中,將一個之前的觸發(fā)點作為插補觸發(fā)點,但也可以將若干個之前的觸發(fā)點作為插補觸發(fā)點。即,在步驟S106中取得的保存值為通過S選通處理檢測出的最近的觸發(fā)點的時刻值。
[0116]通過以上的處理,檢查裝置100在成為處理對象的波形數(shù)據(jù)中,基于從其他波形數(shù)據(jù)取得的觸發(fā)點,設定用于檢測基準波的觸發(fā)點(插補觸發(fā)點)。由此,檢查裝置100即使在由于被檢測體2表面的粗糙度等原因而無法得到充分大的基準回波的情況下,也能夠設定插補觸發(fā)點。由此,檢查裝置100在跟蹤選通方式中,能夠穩(wěn)定地得到F選通。
[0117]進而,檢查裝置100在通過判定部113判定為沒有取得觸發(fā)點的情況下,基于從其他波形數(shù)據(jù)取得的觸發(fā)點,設定成為處理對象的波形數(shù)據(jù)的觸發(fā)點(插補觸發(fā)點)。由此,檢查裝置100能夠高效地設定插補觸發(fā)點。
[0118]另外,檢查裝置100將在成為處理對象的波形數(shù)據(jù)之前取得的波形數(shù)據(jù)的觸發(fā)點設為成為處理對象的波形數(shù)據(jù)的觸發(fā)點(插補觸發(fā)點)。由此,能夠進行同時處理方式的觸發(fā)點的插補。
[0119]另外,S選通處理部114、判定部113以及觸發(fā)點設定處理部115分別按照取得順序處理由判定部113取得的波形數(shù)據(jù)。即,檢查裝置100以同時處理方式進行觸發(fā)點的插補。由此,能夠一邊進行超聲波檢查一邊進行觸發(fā)點的插補,因此能