過確認(rèn)顯示部42所顯示的缺陷的種類或個數(shù)等，來判斷曝光裝置21的曝光工藝中有無產(chǎn)生異常，并視需要停止圖案形成系統(tǒng)1的動作。在未檢測出缺陷的情形時，將該內(nèi)容顯示于顯示部42。如上所述，將感光圖案圖像與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)的比較結(jié)果顯示于顯示部42，并通知操作者(步驟S14)。在后述的處理中也會利用感光圖案圖像，因此將其存儲于缺陷檢測部41 (在其他圖案圖像中相同)。此外，也可以僅在檢測出缺陷的情形時將比較結(jié)果顯示于顯示部42 (在后述的步驟S18、步驟S22、步驟S26中相同)。
[0096]基材9的注目部位經(jīng)由緩沖裝置12而向顯影裝置22移動。顯影裝置22例如包括顯影液噴嘴、及純水噴嘴。利用顯影液噴嘴向基材9的抗蝕劑層93噴出顯影液。由此，去除抗蝕劑層93的感光部分，并對抗蝕劑層93進(jìn)行顯影(參照圖6的從上起的第三段)?？刮g劑層93也可以是利用顯影液去除了非感光部分的層。在基材9的主表面，利用純水噴嘴噴出純水來對該主表面進(jìn)行清洗。如此，進(jìn)行顯影工藝，從而形成殘存于該主表面上的抗蝕劑層93的圖案931 (以下，稱為“抗蝕劑圖案931”)(步驟S15)。
[0097]形成有抗蝕劑圖案931的注目部位向圖像獲取部3b移動。圖像獲取部3b中，將照射角及檢測角設(shè)定為規(guī)定的角度，并進(jìn)行與圖7的步驟S123相同的動作，由此獲取表示抗蝕劑圖案931的拍攝圖像(以下，稱為“抗蝕劑圖案圖像”)(步驟S16)。
[0098]此外，帶狀的基材9的移動路徑中，在緩沖裝置12與回收部112之間，基材9的各部位原則上連續(xù)地移動。因此，利用顯影裝置22對基材9的一部位進(jìn)行的處理、及利用圖像獲取部3b對基材9的另一部位進(jìn)行的圖像獲取處理并行地進(jìn)行(在蝕刻裝置23、抗蝕劑剝離裝置24及圖像獲取部3c、圖像獲取部3d中相同)。圖案形成系統(tǒng)1中，在圖像獲取部3a與顯影裝置22之間設(shè)有緩沖裝置12，由此能夠一邊使基材9在曝光裝置21中每次移動一定的距離(步進(jìn)移動)，一邊使基材9在緩沖裝置12與回收部112之間以一定的速度連續(xù)地移動。
[0099]缺陷檢測部41中，將抗蝕劑圖案圖像與步驟S12中獲取的感光圖案圖像加以比較(步驟S17)。具體而言，確定抗蝕劑圖案圖像中的各圖案要素，并獲取該圖案要素的各位置的寬度。另外，將感光圖案圖像的該圖案要素的寬度確定為基準(zhǔn)寬度，使規(guī)定的上限系數(shù)及下限系數(shù)與該基準(zhǔn)寬度相乘，由此獲取線寬的上限值及下限值。而且，將抗蝕劑圖案圖像中的圖案要素的各位置的寬度與線寬的上限值及下限值加以比較，在該位置的寬度大于上限值或小于下限值的情形時，檢測出該位置產(chǎn)生了缺陷。如此，將抗蝕劑圖案圖像的所有圖案要素的整體的寬度與對應(yīng)的線寬的上限值及下限值加以比較。步驟S17中，通過獲取表示抗蝕劑圖案圖像與感光圖案圖像的差的圖像，也可檢測基材9的注目部位的缺陷(在后述的步驟S21、步驟S25中相同)。
[0100]在檢測出缺陷的情形時，例如，由規(guī)定顏色的線圍住缺陷位置，由此可識別缺陷位置，并將抗蝕劑圖案圖像顯示于顯示部42。操作者通過確認(rèn)顯示部42所顯示的缺陷的種類或個數(shù)等，來判斷顯影裝置22的顯影工藝中有無產(chǎn)生異常，并視需要停止圖案形成系統(tǒng)1的動作。在未檢測出缺陷的情形時，將該內(nèi)容顯示于顯示部42。如上所述，將抗蝕劑圖案圖像與感光圖案圖像的比較結(jié)果顯示于顯示部42，并通知操作者(步驟S18)。
[0101]基材9的注目部位向蝕刻裝置23移動。蝕刻裝置23例如包括蝕刻液噴嘴、及純水噴嘴。利用蝕刻液噴嘴向基材9的主表面噴出蝕刻液。由此，去除(蝕刻)透明導(dǎo)電膜92中未被抗蝕劑圖案931覆蓋的部分(參照圖6的從上起的第四段)。在基材9的主表面，利用純水噴嘴噴出純水來對該主表面進(jìn)行清洗。如此，對基材9的主表面進(jìn)行蝕刻工藝(步驟 S19)。
[0102]被實(shí)施了蝕刻工藝的注目部位向圖像獲取部3c移動。圖像獲取部3c中，將照射角及檢測角設(shè)定為規(guī)定的角度，并進(jìn)行與圖7的步驟S123相同的動作，由此獲取拍攝圖像(步驟S20)。該拍攝圖像是表示蝕刻工藝后、且后述的抗蝕劑剝離工藝前的基材9的主表面的圖案圖像，以下稱為“剛蝕刻后的圖案圖像”。
[0103]缺陷檢測部41中，將剛蝕刻后的圖案圖像與步驟S16中獲取的抗蝕劑圖案圖像加以比較(步驟S21)。具體而言，確定剛蝕刻后的圖案圖像中的各圖案要素，并獲取該圖案要素的各位置的寬度。另外，將抗蝕劑圖案圖像的該圖案要素的寬度確定為基準(zhǔn)寬度，使規(guī)定的上限系數(shù)及下限系數(shù)與該基準(zhǔn)寬度相乘，由此獲取線寬的上限值及下限值。而且，將剛蝕刻后的圖案圖像中的圖案要素的各位置的寬度與線寬的上限值及下限值加以比較，在該位置的寬度大于上限值或小于下限值的情形時，檢測出該位置產(chǎn)生了缺陷。如此，將剛蝕刻后的圖案圖像的所有圖案要素的整體的寬度與對應(yīng)的線寬的上限值及下限值加以比較。
[0104]在檢測出缺陷的情形時，例如，由規(guī)定顏色的線圍住缺陷位置，由此可識別缺陷位置，并將剛蝕刻后的圖案圖像顯示于顯示部42。操作者通過確認(rèn)顯示部42所顯示的缺陷的種類或個數(shù)等，來判斷蝕刻裝置23的蝕刻工藝中有無產(chǎn)生異常，并視需要停止圖案形成系統(tǒng)1的動作。在未檢測出缺陷的情形時，將該內(nèi)容顯示于顯示部42。如上所述，將剛蝕刻后的圖案圖像與抗蝕劑圖案圖像的比較結(jié)果顯示于顯示部42，并通知操作者(步驟S22)。
[0105]基材9的注目部位向抗蝕劑剝離裝置24移動?？刮g劑剝離裝置24例如包括剝離液噴嘴、及純水噴嘴。利用剝離液噴嘴向基材9的主表面噴出剝離液。由此，剝離基材9的主表面中的抗蝕劑圖案931 (參照圖6的最下段)。在基材9的主表面，利用純水噴嘴噴出純水來對該主表面進(jìn)行清洗。如此，對基材9的主表面進(jìn)行抗蝕劑剝離工藝，從而使樹脂膜91的主表面上殘存的透明導(dǎo)電膜92的圖案921顯現(xiàn)于基材9的主表面(步驟S23)。透明導(dǎo)電膜92的利用蝕刻所得的圖案921中，排列有多個透明電極，以下將圖案921稱為“透明電極圖案921”。被實(shí)施了抗蝕劑剝離工藝的注目部位向圖像獲取部3d移動，從而獲取表示透明電極圖案921的拍攝圖像(以下，稱為“電極圖案圖像(步驟S24)。
[0106]圖像獲取部3d中，進(jìn)行依照圖7的圖像獲取處理的處理。具體而言，求出能夠提高拍攝圖像中的透明電極圖案921的對比度的照射角及檢測角的設(shè)定角度(步驟S121)。此處，透明電極圖案921的對比度是拍攝圖像的透明電極圖案921與背景區(qū)域(樹脂膜91)之間的灰度差(的絕對值)相對于總灰度范圍的比例。通過規(guī)定的運(yùn)算、或通過以事前準(zhǔn)備的形式一邊變更照射角及檢測角的角度一邊獲取透明電極圖案921的拍攝圖像，來預(yù)先求出透明電極圖案921的對比度變高的設(shè)定角度。
[0107]圖像獲取部3d中，通過對角度變更機(jī)構(gòu)33進(jìn)行控制來將照射角及檢測角設(shè)定為該設(shè)定角度(步驟S122)。本實(shí)施形態(tài)中，對于基材9的整體利用的是一樣的設(shè)定角度，因此在基材9的最初的部位到達(dá)圖像獲取部3d之前，進(jìn)行所述步驟S121、步驟S122。與利用搬送機(jī)構(gòu)11的基材9的連續(xù)移動并行地，線傳感器32中高速地重復(fù)獲取線狀的拍攝區(qū)域90的線圖像。由此，獲取表示透明電極圖案921的二維拍攝圖像(即，電極圖案圖像)(步驟 S123)。
[0108]缺陷檢測部41中，將電極圖案圖像與步驟S20中獲取的剛蝕刻后的圖案圖像加以比較(圖5:步驟S25)。具體而言，確定電極圖案圖像中的各圖案要素，并獲取該圖案要素的各位置的寬度。另外，將剛蝕刻后的圖案圖像的該圖案要素的寬度確定為基準(zhǔn)寬度，使規(guī)定的上限系數(shù)及下限系數(shù)與該基準(zhǔn)寬度相乘，由此獲取線寬的上限值及下限值。而且，將電極圖案圖像中的圖案要素的各位置的寬度與線寬的上限值及下限值加以比較，在該位置的寬度大于上限值或小于下限值的情形時，檢測出該位置產(chǎn)生了缺陷。如此，將電極圖案圖像的所有圖案要素的整體的寬度與對應(yīng)的線寬的上限值及下限值加以比較。
[0109]在檢測出缺陷的情形時，例如，由規(guī)定顏色的線圍住缺陷位置，由此可識別缺陷位置，并將電極圖案圖像顯示于顯示部42。操作者通過確認(rèn)顯示部42所顯示的缺陷的種類或個數(shù)等，來判斷抗蝕劑剝離裝置24的抗蝕劑剝離工藝中有無產(chǎn)生，并視需要停止圖案形成系統(tǒng)1的動作。在未檢測出缺陷的情形時，將該內(nèi)容顯示于顯示部42。如上所述，將電極圖案圖像與剛蝕刻后的圖案圖像的比較結(jié)果顯示于顯示部42，并通知操作者(步驟S26)?；?的注目部位被回收部112回收，從而對注目部位完成形成圖案的處理。形成有透明電極圖案的921的基材9例如用于靜電電容型觸摸屏的制造。
[0110]如以上所說明，工藝監(jiān)視裝置4利用圖像獲取部3a?圖像獲取部3d分別獲取如下圖案圖像:表示對基材9的主表面上形成的抗蝕劑層93進(jìn)行曝光工藝后、且顯影工藝前的抗蝕劑層93的感光圖案930的圖案圖像，表示顯影工藝后的抗蝕劑圖案931的圖案圖像，表示對形成有抗蝕劑圖案931的主表面進(jìn)行蝕刻工藝后、且抗蝕劑剝離工藝前的主表面的圖案圖像，以及表示抗蝕劑剝離工藝后的主表面的透明電極圖案921的圖案圖像。
[0111]此處，設(shè)想如下比較例的處理:不僅將利用圖像獲取部3a獲取的感光圖案圖像與設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)加以比較，也將利用圖像獲取部3b?圖像獲取部