3d獲取的圖案圖像分別與設(shè)計數(shù)據(jù)加以比較。對于基材9的各部位，在利用圖像獲取部3a獲取感光圖案圖像時，是僅進行利用曝光裝置21的曝光工藝的狀態(tài)，且感光圖案930與掩模部211的圖案的差異原則上并未產(chǎn)生。因此，感光圖案圖像與設(shè)計數(shù)據(jù)的比較中，某區(qū)域雖然不是缺陷但被檢測為缺陷的情況、即偽缺陷的檢測得到抑制。然而，在完成曝光工藝后，隨著其他工藝(顯影工藝、蝕刻工藝及抗蝕劑剝離工藝)的進行，蓄積有膜狀的基材9的變形(伸縮)。因此，若將利用圖像獲取部3b?圖像獲取部3d獲取的圖案圖像分別與設(shè)計數(shù)據(jù)加以比較，則會檢測出許多偽缺陷，從而無法正確地檢測顯影工藝、蝕刻工藝及抗蝕劑剝離工藝中的異常的產(chǎn)生。
[0112]相對于此，工藝監(jiān)視裝置4的缺陷檢測部41中，關(guān)于顯影工藝、蝕刻工藝及抗蝕劑剝離工藝的每一工藝，對即將進行該工藝之前及剛進行該工藝之后所獲取的2個圖案圖像加以比較，由此檢測因該工藝產(chǎn)生的缺陷。由此，能夠抑制對容易變形的膜狀的基材9中的各種圖案的偽缺陷進行檢測，能夠正確地檢測各工藝的異常的產(chǎn)生。如此，在光刻法中進行在線的工藝監(jiān)視，由此能夠使形成于基材9的透明電極圖案921的品質(zhì)穩(wěn)定化，從而提高生產(chǎn)良率。
[0113]另外，圖案形成系統(tǒng)1中，對帶狀的基材9的長邊方向的各部位連續(xù)地、即保持將基材9抽出而不將基材9卷繞成卷狀的狀態(tài)，依次進行曝光工藝、顯影工藝、蝕刻工藝及抗蝕劑剝離工藝。由此，能夠利用蝕刻將圖案效率良好地形成于膜狀的基材9。
[0114]此處，設(shè)想另一比較例的處理:在圖案形成系統(tǒng)1中，僅在抗蝕劑剝離工藝后獲取圖案的圖像。該另一比較例的處理中，即便在前半階段產(chǎn)生由工藝的異常引起的缺陷，在抗蝕劑剝離工藝后獲取電極圖案圖像之前，也無法檢測出該缺陷的產(chǎn)生(工藝的異常)。此時，對基材9的許多部位完成了該工藝，從而產(chǎn)生許多浪費。另外，也難以確定產(chǎn)生異常的工藝。
[0115]相對于此，在剛進行曝光工藝、顯影工藝、蝕刻工藝及抗蝕劑剝離工藝各工藝之后獲取圖案的圖像的圖案形成系統(tǒng)1中，即便在前半階段產(chǎn)生由工藝的異常引起的缺陷的情形時，也能夠提前檢測出該工藝的異常，從而抑制浪費。另外，能夠容易地確定產(chǎn)生異常的工藝，從而能夠迅速地修復(fù)圖案形成系統(tǒng)1。
[0116]缺陷檢測部41中，將與電極圖案圖像加以比較的剛蝕刻后的圖案圖像和抗蝕劑圖案圖像加以比較。另外，抗蝕劑圖案圖像與感光圖案圖像加以比較，感光圖案圖像與設(shè)計數(shù)據(jù)加以比較。因此，能夠?qū)?yīng)于基材9的變形(考慮了基材9的變形)，實質(zhì)地進行透明電極圖案921與設(shè)計數(shù)據(jù)的圖案的比較檢查。
[0117]圖像獲取部3a中，將由光致抗蝕劑形成且一部分因曝光光的照射而變質(zhì)的基材9上的抗蝕劑層93作為拍攝對象。而且，將光照射部31的照射角、及線傳感器32的檢測角設(shè)定為規(guī)定的設(shè)定角度，并且從光照射部31出射對抗蝕劑層93具有透射性且波長不包含于抗蝕劑層93的感光波長范圍的光，由此對抗蝕劑層93進行拍攝。由此，能夠不對非感光部分造成影響地恰當(dāng)?shù)孬@取表示抗蝕劑層93的已感光的部分、即感光圖案930的圖像。結(jié)果，能夠提前判斷曝光工藝的異常的有無。
[0118]圖像獲取部3a也可以從圖案形成系統(tǒng)1分離而被利用為圖像獲取裝置。例如，在圖10所示的圖像獲取裝置30中，設(shè)有對板狀的基材9a進行支撐的支撐部即平臺110a，及使基材9a相對于拍攝區(qū)域90沿與拍攝區(qū)域90交叉的方向相對地移動的移動機構(gòu)11a。
[0119]圖11是表示基材9a的剖面圖?；?a是由玻璃形成的透明構(gòu)件，且內(nèi)部設(shè)有光波導(dǎo)的層94。光波導(dǎo)的層94是基材9a自身的表面的層，且因摻雜(例如離子注入)所致的其他材料的添加而使層94的一部分變質(zhì)，由此形成有光波導(dǎo)的核心941?；?a被利用為光波導(dǎo)裝置。
[0120]圖像獲取裝置30中，進行依照圖7的圖像獲取處理的處理。具體而言，求出能夠提高拍攝圖像中的光波導(dǎo)的核心941的對比度的照射角Θ1及檢測角Θ 2的設(shè)定角度(步驟S121)。此處，核心941的對比度是拍攝圖像的核心941與背景區(qū)域(包層)之間的灰度差(的絕對值)相對于總灰度范圍的比例。通過規(guī)定的運算、或通過一邊變更照射角Θ 1及檢測角Θ 2的角度一邊獲取核心941的拍攝圖像，來求出透核心941的對比度變高的設(shè)定角度。
[0121]求出設(shè)定角度后，通過對角度變更機構(gòu)33進行控制來將照射角θ 1及檢測角Θ 2設(shè)定為該設(shè)定角度(步驟S122)。繼而，開始從光照射部31出射光，且利用移動機構(gòu)11a使基材9a沿著圖10的橫向連續(xù)地移動。與基材9a的移動并行地，線傳感器32中，高速地重復(fù)獲取線狀的拍攝區(qū)域90的線圖像。由此，獲取表示光波導(dǎo)的層94的核心941的二維拍攝圖像(步驟S123)。
[0122]圖形獲取裝置30(圖像獲取部3a)中，當(dāng)在基材上利用與該基材不同的其他材料來形成透明的層，并且因摻雜而該層的一部分變質(zhì)時，也可以獲取表示該層的變質(zhì)的部分的圖像。另外，在基材自身是感光性樹脂片材的情形時，也可以獲取作為該基材整體的層的剛曝光后的圖像。如上所述，在圖像獲取裝置中，能夠恰當(dāng)?shù)孬@取表示對象層的變質(zhì)的部分的圖像，其中以由其它材料而形成于基材上的層、或包含基材自身的表面的層作為對象層，且所述對象層的一部分因規(guī)定的處理而變質(zhì)。
[0123]所述圖像獲取裝置(圖像獲取部)能夠進行多種變形。
[0124]從光照射部31出射的光的波長并不限定為單一波長，也能夠選擇性地出射多種波長的光。光源也可以不是設(shè)置LED而是設(shè)置激光二極管(Laser D1de,LD)0進而，也可將鹵素?zé)舻葻襞c濾光器的組合設(shè)為光源。角度變更機構(gòu)也可以是使照射角及檢測角聯(lián)動地進行變更的機構(gòu)。
[0125]所述實施形態(tài)及各變形例的構(gòu)成只要不相互矛盾則可進行適當(dāng)組合。
【主權(quán)項】
1.一種圖像獲取裝置，其特征在于包括: 支撐部，對基材進行支撐，所述基材是以由其它材料形成于基材上的層、或包含基材自身的表面的層作為對象層，且所述對象層的一部分因規(guī)定的處理而變質(zhì)； 光照射部，出射對所述對象層具有透射性的波長的光； 線傳感器，接收來自照射有所述光的線狀的拍攝區(qū)域的光； 移動機構(gòu)，使所述基材相對于所述拍攝區(qū)域沿與所述拍攝區(qū)域交叉的方向相對地移動；以及 角度變更機構(gòu)，一邊將從所述光照射部到所述拍攝區(qū)域的光軸與所述對象層的法線形成的照射角、及從所述拍攝區(qū)域到所述線傳感器的光軸與所述法線形成的檢測角維持為相等，一邊變更所述照射角及所述檢測角。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像獲取裝置，其特征在于: 所述對象層是利用感光性材料形成的層，且所述對象層的所述一部分因光的照射而變質(zhì)， 從所述光照射部出射的光的波長不包含于所述感光性材料的感光波長范圍。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的圖像獲取裝置，其特征在于: 所述對象層是利用光致抗蝕劑而形成于所述基材上的層。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圖像獲取裝置，其特征在于: 所述對象層是設(shè)于所述基材自身的光波導(dǎo)的層，且所述對象層的所述一部分因摻雜所致的其他材料的添加而變質(zhì)。5.一種圖像獲取方法，其特征在于包括如下工序: 將在基材上以其他材料形成的層或是包含基材自身的表面的層作為對象層，且準(zhǔn)備使所述對象層的一部分因規(guī)定的處理而變質(zhì)所的基材時，求出從光照射部到線狀的拍攝區(qū)域的光軸與對象層的法線形成的照射角的設(shè)定角度，所述光照射部出射對所述對象層具有透射性的波長的光； 將所述照射角設(shè)定為所述設(shè)定角度，且將從所述拍攝區(qū)域到線傳感器的光軸與所述法線形成的檢測角也設(shè)定為所述設(shè)定角度；以及 使所述基材相對于所述拍攝區(qū)域沿與所述拍攝區(qū)域交叉的方向相對地移動而獲取圖像。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像獲取方法，其特征在于: 所述對象層是利用感光性材料形成的層，且所述對象層的所述一部分因光的照射而變質(zhì)， 從所述光照射部出射的光的波長不包含于所述感光性材料的感光波長范圍。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的圖像獲取方法，其特征在于: 所述對象層是利用光致抗蝕劑而形成于所述基材上的層。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的圖像獲取方法，其特征在于: 所述對象層是設(shè)于所述基材自身的光波導(dǎo)的層，且所述對象層的所述一部分因摻雜所致的其他材料的添加而變質(zhì)。
【專利摘要】一種圖像獲取裝置及圖像獲取方法，可恰當(dāng)?shù)孬@取表示對象層的變質(zhì)的部分的圖像。圖像獲取裝置中，將一部分因光的照射而變質(zhì)的基材上的抗蝕劑層作為拍攝對象。圖像在獲取時，將從光照射部到線狀的拍攝區(qū)域的光軸與抗蝕劑層的法線形成的照射角、及從拍攝區(qū)域到線傳感器的光軸與法線形成的檢測角設(shè)定為規(guī)定的設(shè)定角度。而且，使對抗蝕劑層具有透射性且波長不包含于抗蝕劑層的感光波長范圍的光從光照射部出射，同時使基材沿與拍攝區(qū)域交叉的方向移動，由此利用線傳感器獲取圖像。由此，能夠不對非感光部分造成影響地恰當(dāng)?shù)孬@取表示抗蝕劑層的已感光的部分的圖像。
【IPC分類】G01N21/956
【公開號】CN105466955
【申請?zhí)枴緾N201510337313
【發(fā)明人】藤原成章
【申請人】斯克林集團公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年6月17日