一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在光伏行業(yè)，管式PECVD是在硅片表面生長減反射膜的主要設(shè)備。其中，石墨舟是裝載硅片的工具。隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，對生產(chǎn)過程的信息管理也日趨系統(tǒng)化，需要對每一舟做出的工藝進行記錄，便于產(chǎn)品追溯。于是人為的將每一舟進行編號，在做工藝前，需人工在工控機上進行舟號輸入。傳統(tǒng)的記錄方式有以下兩個缺點:1、人工輸入容易出現(xiàn)錯誤，導(dǎo)致產(chǎn)品的追溯性差。2、現(xiàn)有的技術(shù)中，石墨舟的自動裝卸片系統(tǒng)已經(jīng)出現(xiàn)，人工輸入已無法滿足自動化系統(tǒng)的需求。
[0003]因此，如何提供一種能精準(zhǔn)識別舟號、高效自動的用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明針對上述問題提供了一種能精準(zhǔn)識別舟號、高效自動的用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)及方法。
[0005]本發(fā)明提出的技術(shù)方案是，設(shè)計一種用于硅片生產(chǎn)的石墨舟識別系統(tǒng)，包括:包括:機臺、設(shè)于機臺上的運輸帶、及排列于運輸帶上用于裝載硅片的石墨舟，每個石墨舟的同一側(cè)表面上雕刻有不同內(nèi)容的二維碼信息。系統(tǒng)還包括讀碼器、位置傳感器及工控機。
[0006]讀碼器，設(shè)置在機臺上，用于讀取石墨舟上設(shè)置的二維碼信息。
[0007]位置傳感器，與讀碼器相鄰設(shè)置在機臺上，用于檢測石墨舟的位置。
[0008]工控機，與讀碼器、位置傳感器及運輸帶的伺服電機通信，當(dāng)所述位置傳感器檢測到石墨舟到位時將到位信號發(fā)送給工控機，工控機暫停伺服電機的運轉(zhuǎn)并啟動讀碼器讀取石墨舟上的二維碼信息，讀碼器將二維碼信息反饋給工控機，工控機記錄二維碼信息，記錄完畢后，啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟。
[0009]較優(yōu)的，工控機還連接一報警系統(tǒng)，當(dāng)讀碼器讀取失敗時觸發(fā)報警。
[0010]在一實施例中，工控機包括:核心處理模塊、存儲模塊、輸入模塊和顯不模塊。
[0011]較優(yōu)的，二維碼的雕刻深度彡0.3_，讀碼器的光源采用0~30°傾斜角的小角度給光。
[0012]讀碼器采用CXD型讀碼器，讀碼器與工控機的通訊接口為總線模式。
[0013]本發(fā)明還提供了一種利用上述石墨舟識別系統(tǒng)進行識別的方法，包括以下步驟: 步驟1、位置傳感器檢測運輸帶上的石墨舟是否到位，如果檢測到到位信息，則將該信息發(fā)送至工控機，如沒有檢測到，則繼續(xù)監(jiān)測；
步驟2、工控機接收到位置傳感器的到位信號，暫停運輸帶，并啟動讀碼器讀取石墨舟上的二維碼信息；
步驟3、讀碼器將讀取完成的二維碼信息反饋給工控機，工控機記錄二維碼信息并啟動運輸帶繼續(xù)向前運送石墨舟。
[0014]較優(yōu)的，步驟3中包括:步驟3.1、讀碼器讀取完成，向工控機發(fā)送反饋信號；
步驟3.2、工控機判斷讀碼器的反饋信號，當(dāng)讀碼器讀取成功時，工控機記錄二維碼并啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟，跳回步驟I ;當(dāng)讀碼器讀取失敗時，工控機啟動讀碼器再次讀取，跳回步驟3.1o
[0015]進一步的，步驟3.2還包括:步驟3.2.1、工控機判斷讀碼器的反饋信號，當(dāng)讀碼器讀取成功時，工控機記錄二維碼并啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟，跳回步驟I ;當(dāng)讀碼器讀取失敗時，工控機記錄失敗次數(shù)，進行步驟3.2.2 ;
步驟3.2.2、工控機將記錄的失敗次數(shù)與觸發(fā)值進行對比，未到觸發(fā)值則啟動讀碼器再次讀取，跳回步驟3.1 ;已到觸發(fā)值則啟動報警系統(tǒng)進行報警，系統(tǒng)暫停待機。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明在石墨舟上雕刻二維碼，通過讀碼器精確讀取二維碼上的內(nèi)容，并將其傳送至工控機記錄，由讀碼器的讀取避免了人為的操作，不僅減少誤差且能大大提高生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0017]下面結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明進行詳細(xì)說明，其中:
圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)方框示意圖；
圖2是本發(fā)明的讀取流程示意圖。
【具體實施方式】
[0018]如圖1所示，本發(fā)明提出的石墨舟識別系統(tǒng)，包括:機臺、設(shè)于機臺上的運輸帶、及排列于運輸帶上用于裝載硅片的石墨舟，還包括讀碼器、位置傳感器及工控機。
[0019]每個石墨舟的同一側(cè)表面上分別雕刻有不同內(nèi)容的二維碼，利用二維碼記錄舟號或工藝參數(shù)等，讀碼器讀取二維碼信息并發(fā)送給工控機記錄。由于石墨舟為黑色且表面有減反射膜，導(dǎo)致二維碼讀取困難，為了保證讀碼器的正確讀碼，較優(yōu)的方式是將石墨舟上的二維碼深度雕刻到大于等于0.3_，并調(diào)節(jié)讀碼器的光源，采用O?30°傾斜角的小角度給光，使讀碼器能讀取到二維碼圖像前景色與背景色差異更為明顯，便于讀碼器能讀到清晰的二維碼圖像，準(zhǔn)確的識別二維碼內(nèi)容。
[0020]本例中，讀碼器設(shè)置在機臺上，讀碼器的讀取鏡頭朝向石墨舟設(shè)置二維碼的一側(cè)。位置傳感器與讀碼器相鄰設(shè)置在機臺上，用于檢測石墨舟設(shè)有二維碼的表面是否達到讀碼器的讀取鏡頭前。運輸帶內(nèi)設(shè)有驅(qū)動石墨舟向前運行的伺服電機。
[0021]讀碼器、位置傳感器及伺服電機均與工控機聯(lián)接，位置傳感器發(fā)送石墨舟到位信號給工控機，工控機暫停伺服電機并啟動讀碼器，讀碼器讀碼完成并反饋信號給工控機，工控機將信號內(nèi)容記錄并啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟。
[0022]讀碼器每次讀碼完成后均反饋一個信號給工控機，若讀取成功則反饋成功信號，同時將讀取到的內(nèi)容發(fā)送給工控機，工控機記錄該二維碼并啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟；若讀取失敗則反饋失敗信號，工控機觸發(fā)讀碼器再次讀取，當(dāng)讀碼器讀取成功時，工控機記錄該二維碼并啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟。
[0023]較優(yōu)的，工控機還連接一報警系統(tǒng)。工控機可對失敗信號的次數(shù)進行記錄，預(yù)設(shè)工控機內(nèi)失敗信號的觸發(fā)值，當(dāng)讀碼器在觸發(fā)值內(nèi)讀取成功時，工控機啟動伺服電機繼續(xù)向前運送石墨舟，并將記錄的失敗信號次數(shù)重置；當(dāng)讀碼器直至觸發(fā)值的該次讀取中仍未成功時，工控機觸發(fā)報警系統(tǒng)進行報警，工控機暫停待機。
[0024]