本發(fā)明涉及微電子技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法和Recipe管理系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：
Recipe即工業(yè)自動化制造中的秘方，其內(nèi)容可包含工藝加工過程中的多個步驟以及各個步驟的各種工藝參數(shù)值和該步驟的持續(xù)時間。在工業(yè)自動化制造過程中，設(shè)備可依據(jù)Recipe的內(nèi)容完成對物料的加工，加工出的產(chǎn)品的質(zhì)量可通過調(diào)整Recipe來改進，所以一個先進的Recipe對提升產(chǎn)品價值有著非常重要的作用，尤其是在半導(dǎo)體生產(chǎn)業(yè)中。圖1為一種半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的示意圖，如圖1所示，半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)包括工廠主機(fabhost)、通過工廠接口與工廠主機通信連接的上位機和與上位機通信連接的下位機，其中工廠接口通過以太網(wǎng)(Ethernet)連接工廠主機。Recipe的管理可由系統(tǒng)中的下位機來實現(xiàn)。而上位機可提供形象的操作界面，以供用戶直觀的進行Recipe管理工作。下位機程序是存儲和管理Recipe的實體，Recipe實體(RecipeBody)是工藝數(shù)據(jù)的存儲實體，包括XML文件和RecipeBody對象兩種形式。RecipeBody對象是通過解析與其對應(yīng)的XML文件創(chuàng)建的，而對該RecipeBody對象的保存則是將工藝數(shù)據(jù)存儲到相應(yīng)的XML文件中。文件格式上，RecipeBody的XML文件除了要遵循XML格式規(guī)范外，還要遵守一些特殊要求，下面通過一個實際的例子對XML文件的內(nèi)容和格式要求進行詳細的說明。圖2為RecipeBody的XML文件的示意圖，如圖2所示，該XML文件的名稱是Process_rcp1_2.xml，該XML文件保存了所遵循的“工藝參數(shù)列表”的信息和4個步驟(step)的工藝數(shù)據(jù)信息。對該XML文件的詳細說明如下：第3行與第39行：定義了名稱為“RecipeBody”的節(jié)點。第4行至第10行：保存的是“工藝參數(shù)列表”的信息，這與“Process”類的執(zhí)行器中所定義的完全一致。此處的“工藝參數(shù)列表”只是一個映射，對該“工藝參數(shù)列表”所做的任何修改都不會影響執(zhí)行器中的模板定義，在這里保存該“工藝參數(shù)列表”的目的是為了方便用戶閱讀和理解XML文件。第11行與第17行：定義了一個名為“Step”的節(jié)點，表示ProcessRecipe中的一個step，它的屬性“index”標明了該step的索引，“name”是該step的名稱。第12行至第16行：定義了step1下的5個名為“Value”的節(jié)點，該5個名為“Value”的節(jié)點表示“工藝參數(shù)列表”中各個工藝參數(shù)在step1中對應(yīng)的具體數(shù)值?！癡alue”節(jié)點的“param”屬性記錄了對應(yīng)的“工藝參數(shù)”的名稱，“value”屬性保存著“工藝參數(shù)”的具體數(shù)值。第18行至第38行：依次定義了step2、step3和step4的相關(guān)內(nèi)容。上位機程序通過定義RemoteProcessRcpInfo，RemoteRecipeInfo以及StepInfo三個類來實現(xiàn)下位機程序?qū)ecipeBody對象的描述。RemoteRecipeInfo是一個包裹類，封裝了遠程Recipe信息。上位機程序會根據(jù)客戶程序的請求從下位機程序獲取指定Recipe的信息，然后將信息包裹為該類的一個實例并返回給客戶端程序。RemoteProcessRcpInfo是一個包裹類，封裝了遠程RecipeStep的所有工藝步驟信息。StepInfo是一個包裹類，封裝了某個Step的具體工藝步驟信息。用戶可通過上位機的操作界面進行Recipe的管理，例如：查看Recipe、編輯Recipe、保存Recipe、導(dǎo)出Recipe等操作。圖3是現(xiàn)有技術(shù)中以Recipe操作指令為查看Recipe指令的Recipe管理方法流程圖。如圖3所示，該方法包括：步驟301、下位機接收上位機發(fā)送的查看Recipe指令，該查看Recipe指令包括Recipe的類別名、名稱和版本號。步驟302、下位機根據(jù)該Recipe的類別名、名稱和版本號生成RecipeID。步驟303、下位機查詢是否存儲有該RecipeID，若是，則執(zhí)行步驟304；若否，則執(zhí)行步驟301。本步驟中，若下位機查詢出未存儲有該RecipeID，則返回執(zhí)行步驟301，接收上位機發(fā)送的查看其它Recipe的指令。步驟304、下位機獲取與該RecipeID對應(yīng)的Recipebody對象。步驟305、下位機將Recipebody對象封裝為遠程工藝秘方信息(RemoteProcessRcpInfo)，查詢出與RemoteProcessRcpInfo對應(yīng)的RecipeStep信息和Recipe附加信息。本實施例中，RecipeStep信息可包括RecipeStepName和循環(huán)Step內(nèi)容，Recipe附加信息可包括創(chuàng)建時間、創(chuàng)建用戶信息和修改時間等。RemoteProcessRcpInfo是一個包裹類，本步驟中該RemoteProcessRcpInfo中封裝了Recipebody對象。步驟306、下位機將RecipeStep信息和Recipe附加信息發(fā)送給上位機，以使上位機獲取到RecipeStep信息和Recipe附加信息。步驟307、上位機將RecipeStep信息在DataGridView控件中顯示。例如：用戶請求查看“Preclean1”模塊下名稱為“test”的Recipe，根據(jù)上述步驟301至步驟307的流程，執(zhí)行步驟307之后顯示界面如圖4所示。圖4為依據(jù)圖3中顯示的流程圖查看得到的Preclean1模塊中名稱為test的Recipe的示意圖，此Recipe中循環(huán)的Step內(nèi)容逐行顯示在DataGridView中。用戶通過下位機實現(xiàn)Recipe管理時，通常是逐步執(zhí)行對Recipe的操作，例如：用戶在實現(xiàn)創(chuàng)建Recipe或者編輯Recipe時，需要逐步創(chuàng)建或者編輯該Recipe。但是，對于存在一步或者連續(xù)多步的循環(huán)Step時，例如半導(dǎo)體設(shè)備中的物理氣相沉積(PhysicaiVaporDeposition，簡稱：PVD)設(shè)備的Recipe，用戶在對該工藝設(shè)備的Recipe進行管理時仍然需要逐步執(zhí)行該半導(dǎo)體設(shè)備Recipe中的循環(huán)Step，導(dǎo)致用戶對同一循環(huán)Step執(zhí)行重復(fù)操作，造成了人力和資源的浪費，從而增加了操作時間的開銷，具體包括：1、下位機控制程序方面，未考慮到一步或者連續(xù)多步的循環(huán)Step的特性，在管理過程中，多次對相同的Step重復(fù)操作，從而增加了操作時間的開銷。2、上位機人機界面方面，未考慮一步或者連續(xù)多步的循環(huán)Step的特性，在界面顯示過程中，增加用戶查看Recipe內(nèi)容的負擔，從而增加了用戶操作時間的開銷。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
為解決上述問題，本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法、Recipe管理裝置以及半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)，其可以減少操作時間的開銷。為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法，包括：判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括預(yù)先設(shè)置的循環(huán)步驟標識，所述循環(huán)步驟標識用于標識所述RecipeStep信息中的循環(huán)Step內(nèi)容；若判斷出所述RecipeStepName中包括所述循環(huán)步驟標識，根據(jù)獲取的所述循環(huán)Step內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令；若判斷出所述RecipeStepName中未包括所述循環(huán)步驟標識，根據(jù)所述RecipeStep信息逐步執(zhí)行Recipe操作指令。進一步地，所述根據(jù)獲取的所述循環(huán)Step內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令包括：從所述循環(huán)步驟標識中解析出循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)以及從所述RecipeStep信息中獲取的循環(huán)Step內(nèi)容，以及；根據(jù)所述循環(huán)Step內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令。進一步地，所述Recipe操作指令包括查看Recipe指令；所述根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令包括：根據(jù)所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)定義CollapseDataGridView控件，所述CollapseDataGridView控件包括一個或者多個CollapseDataGridRow；將所述循環(huán)Step內(nèi)容設(shè)置為所述CollapseDataGridRow的子行；將所述CollapseDataGridView控件添加到所述DataGridView控件中；將所述RecipeStep信息在所述DataGridView控件中顯示。進一步地，所述CollapseDataGridRow用于標識所述循環(huán)Step內(nèi)容的折疊行。進一步地，所述循環(huán)起始索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環(huán)Step內(nèi)容的起始點，所述循環(huán)終止索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環(huán)Step內(nèi)容的終止點，所述循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)Step內(nèi)容的次數(shù)。進一步地，所述循環(huán)步驟標識表示為[i，j；loopcount]，其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，所述循環(huán)步驟標識表明該循環(huán)Step內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行l(wèi)oopcount次步驟i到步驟j的內(nèi)容。進一步地，所述循環(huán)起始索引為正整數(shù)，所述循環(huán)終止索引為正整數(shù)，且所述循環(huán)終止索引大于所述循環(huán)起始索引。本發(fā)明還提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理系統(tǒng)，包括：判斷模塊，用于判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括循環(huán)步驟標識；第一執(zhí)行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述RecipeStepName中包括所述循環(huán)步驟標識，根據(jù)獲取的所述循環(huán)Step內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令；第二執(zhí)行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述RecipeStepName中未包括所述循環(huán)步驟標識，根據(jù)所述RecipeStep信息逐步執(zhí)行Recipe操作指令。進一步地，所述第一執(zhí)行模塊包括：獲取子模塊，用于從所述RecipeStep信息中獲取所述循環(huán)步驟標識所標識的循環(huán)Step內(nèi)容；解析子模塊，用于從所述循環(huán)步驟標識中解析出循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)；第一執(zhí)行子模塊，用于根據(jù)所述循環(huán)Step內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令。進一步地，所述Recipe操作指令包括查看Recipe指令；所述第一執(zhí)行子模塊包括：定義子模塊，用于根據(jù)所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)，定義CollapseDataGridView控件，所述CollapseDataGridView控件包括一個或者多個CollapseDataGridRow；設(shè)置子模塊，用于將所述循環(huán)Step內(nèi)容設(shè)置為所述CollapseDataGridRow的子行；添加子模塊，用于將所述CollapseDataGridView控件添加到所述DataGridView控件中；顯示子模塊，用于將所述RecipeStep信息在所述DataGridView控件中顯示。進一步地，所述CollapseDataGridRow用于標識所述循環(huán)Step內(nèi)容的折疊行。進一步地，所述循環(huán)起始索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環(huán)Step內(nèi)容的起始點，所述循環(huán)終止索引用于表示所述RecipeStep信息中所述循環(huán)Step內(nèi)容的終止點，所述循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)Step內(nèi)容的次數(shù)。進一步地，所述循環(huán)步驟標識表示為[i，j；loopcount]，其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，所述循環(huán)步驟標識表明該循環(huán)Step內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行l(wèi)oopcount次步驟i到步驟j的內(nèi)容。本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)，包括：下位機程序和上位機程序；所述下位機程序用于存儲和管理Recipe管理系統(tǒng)；所述上位機程序用于提供管理所述Recipe管理系統(tǒng)的圖形界面；所述Recipe管理系統(tǒng)采用本發(fā)明提供的所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理系統(tǒng)。本發(fā)明具有以下有益效果：本發(fā)明提供的技術(shù)方案中，根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容和循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令，用戶對于循環(huán)Step內(nèi)容無需執(zhí)行重復(fù)操作，減少了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷。附圖說明圖1為一種半導(dǎo)體工藝系統(tǒng)的示意圖；圖2為RecipeBody的XML文件的示意圖；圖3是現(xiàn)有技術(shù)中以Recipe操作指令為查看Recipe指令的Recipe管理方法流程圖；圖4為依據(jù)圖3中顯示的流程圖查看得到的Preclean1模塊中名稱為test的Recipe的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例一提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法的流程圖；圖6為本發(fā)明實施例二提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法的流程圖；圖7為包含有循環(huán)Step內(nèi)容的Recipe折疊顯示的示意圖；圖8為包含有循環(huán)Step內(nèi)容的Recipe展開顯示的示意圖；圖9為本發(fā)明實施例三提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖10為本發(fā)明實施例四提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明提供的用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法、Recipe管理系統(tǒng)以及半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)進行詳細描述。圖5為本發(fā)明實施例一提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法的流程圖，如圖5所示，該用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法包括：步驟101、判斷RecipeStep信息的RecipeStepName(秘方步驟名稱)中是否包括預(yù)先設(shè)置的循環(huán)步驟標識，所述循環(huán)步驟標識用于標識所述RecipeStep信息中的循環(huán)Step內(nèi)容，若是，則執(zhí)行步驟102；若否，則執(zhí)行步驟104。本實施例中，RecipeStep信息包括RecipeStepName和循環(huán)Step內(nèi)容，可預(yù)先在RecipeStepName中設(shè)置循環(huán)步驟標識，循環(huán)步驟標識用于標識RecipeStep信息中循環(huán)Step內(nèi)容。步驟102、獲取循環(huán)步驟標識所標識的循環(huán)Step內(nèi)容。步驟103、根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容和循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令，流程結(jié)束。本實施例中，循環(huán)步驟標識具體可包括循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)，循環(huán)起始索引用于表示循環(huán)Step內(nèi)容的起始點，循環(huán)終止索引用于表示循環(huán)Step內(nèi)容的終止點，循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)eStep內(nèi)容的次數(shù)。具體地，該循環(huán)步驟標識可表示為[i，j；loopcount]，其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，該循環(huán)步驟標識表明該循環(huán)Step內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行l(wèi)oopcount次步驟i到步驟j的內(nèi)容。循環(huán)起始索引i為正整數(shù)，循環(huán)終止索引j為正整數(shù)，且循環(huán)終止索引j大于循環(huán)起始索引i。則步驟103具體可以為：從循環(huán)步驟標識中解析出所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)，根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令。本實施例中，Recipe操作指令可以由用戶在上位機的操作界面上輸入。該Recipe操作指令可包括：創(chuàng)建Recipe指令、編輯Recipe指令、刪除Recipe指令、查看Recipe指令或者保存Recipe指令等。例如：若Recipe操作指令為刪除Recipe指令，則對于Recipe信息中的循環(huán)Step內(nèi)容，可根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)將需要刪除的循環(huán)Step內(nèi)容一次性刪除，無需重復(fù)執(zhí)行刪除操作。例如：若Recipe操作指令為創(chuàng)建Recipe指令，則對于Recipe信息中的循環(huán)Step內(nèi)容，可根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)將創(chuàng)建一次循環(huán)Step內(nèi)容，無需重復(fù)執(zhí)行創(chuàng)建操作。步驟104、根據(jù)RecipeStep信息執(zhí)行Recipe操作指令，流程結(jié)束。本步驟104中，因在RecipeStep信息中的RecipeStepName中未預(yù)先設(shè)置循環(huán)步驟標識，因此可根據(jù)RecipeStep信息逐行執(zhí)行上述各種Recipe操作指令。本實施例的技術(shù)方案中，根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容和循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令，用戶對于循環(huán)Step內(nèi)容無需執(zhí)行重復(fù)操作，減少了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷。當Recipe操作指令為創(chuàng)建Recipe指令或者保存Recipe指令時，本實施例的技術(shù)方案還可以減少存儲空間的開銷。下面以Recipe操作指令為查看Recipe指令為例通過實施例二對本發(fā)明中的Recipe管理方法進行詳細描述。圖6為本發(fā)明實施例二提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理方法的流程圖，如圖6所示，該方法包括：步驟201、下位機接收上位機發(fā)送的查看Recipe指令，該查看Recipe指令包括Recipe的類別名、名稱和版本號。步驟202、下位機根據(jù)該Recipe的類別名、名稱和版本號生成RecipeID。步驟203、下位機查詢是否存儲有該RecipeID，若是，則執(zhí)行步驟204；若否，則執(zhí)行步驟201。本步驟中，若下位機查詢出未存儲有該RecipeID，則返回執(zhí)行步驟201，接收上位機發(fā)送的查看其它Recipe的指令。步驟204、下位機獲取與該RecipeID對應(yīng)的Recipebody對象。步驟205、下位機將Recipebody對象封裝為遠程工藝秘方信息(RemoteProcessRcpInfo)，查詢出與RemoteProcessRcpInfo對應(yīng)的RecipeStep信息和Recipe附加信息。本實施例中，RecipeStep信息可包括RecipeStepName和循環(huán)Step內(nèi)容，Recipe附加信息可包括創(chuàng)建時間、創(chuàng)建用戶信息和修改時間等。若RecipeStep信息中存在一步或者連續(xù)多步的循環(huán)Step時，下位機可預(yù)先在RecipeStepName中設(shè)置循環(huán)步驟標識；若RecipeStep信息中不存在一步或者連續(xù)多步的循環(huán)RecipeStep時，則下位機無需預(yù)先在RecipeStepName中設(shè)置循環(huán)步驟標識。其中，該循環(huán)步驟標識用于標識循環(huán)Step內(nèi)容。RemoteProcessRcpInfo是一個包裹類，本步驟中該RemoteProcessRcpInfo中封裝了Recipebody對象。步驟206、下位機將RecipeStep信息和Recipe附加信息發(fā)送給上位機，以使上位機獲取到RecipeStep信息和Recipe附加信息。步驟207、上位機判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括下位機預(yù)先設(shè)置的循環(huán)步驟標識，該循環(huán)步驟標識包括循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)，若判斷出RecipeStepName中包括循環(huán)步驟標識，則執(zhí)行步驟208；若判斷出RecipeStepName中未包括循環(huán)步驟標識，則執(zhí)行步驟212。步驟208、上位機從RecipeStep信息中獲取循環(huán)步驟標識所標識的循環(huán)Step內(nèi)容以及從循環(huán)步驟標識中解析出循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)。步驟209、上位機根據(jù)循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)定義重疊數(shù)據(jù)格視圖(CollapseDataGridView)控件，CollapseDataGridView控件包括一個或者多個重疊數(shù)據(jù)格行(CollapseDataGridRow)。該CollapseDataGridRow用于表示循環(huán)Step內(nèi)容的折疊行。該CollapseDataGridRow可使RecipeStep信息中的循環(huán)Step內(nèi)容折疊顯示。具體地，上位機可通過重寫“OnRowHeaderClickMouse()”的方法實現(xiàn)行的折疊或者展開。步驟210、上位機將循環(huán)Step內(nèi)容設(shè)置為CollapseDataGridRow的子行。步驟211、上位機將CollapseDataGridView控件添加到數(shù)據(jù)格視圖(DataGridView)控件中。步驟212、上位機將RecipeStep信息在DataGridView控件中顯示。本實施例中的流程與現(xiàn)有技術(shù)中圖3所示的流程相比，通過增加的步驟207至步驟211的內(nèi)容，使循環(huán)Step內(nèi)容可根據(jù)用戶需要進行顯示，用戶無需重復(fù)查看同一循環(huán)Step內(nèi)容。例如：用戶請求查看“Preclean1”模塊下名稱為“test”的Recipe，且RecipeStepName中包括循環(huán)步驟標識時，根據(jù)本實施例中的流程，執(zhí)行步驟212之后顯示界面如圖7或者圖8所示，圖7為包含有循環(huán)Step內(nèi)容的Recipe折疊顯示的示意圖，圖8為包含有循環(huán)Step內(nèi)容的Recipe展開顯示的示意圖。如圖7所示，用戶可以選擇將Recipe中的循環(huán)Step內(nèi)容折疊顯示，圖7中的加號“+”所在行為折疊行；如圖8所示，用戶還可以根據(jù)需要選擇將Recipe中的循環(huán)Step內(nèi)容展開顯示，用戶可點擊圖7中的“+”以使循環(huán)Step內(nèi)容展開顯示，此時“+”變?yōu)閳D8中的減號“-”。進一步地，若需要將循環(huán)Step內(nèi)容折疊顯示，可點擊減號“-”以使循環(huán)Step內(nèi)容折疊顯示，此時“-”變?yōu)椤?”?，F(xiàn)有技術(shù)的圖4中循環(huán)Step內(nèi)容逐行顯示于顯示界面上，用戶無法根據(jù)需要進行選擇。而本實施例中圖7或者圖8中的循環(huán)Step可折疊或展開顯示，使循環(huán)Step內(nèi)容可根據(jù)用戶需要進行顯示，用戶無需重復(fù)查看同一循環(huán)Step內(nèi)容。進一步地，在執(zhí)行步驟205之后還可以包括：下位機將Recipebody對象轉(zhuǎn)換為與該Recipebody對象對應(yīng)的XML文件，并將XML文件導(dǎo)出。本實施例的技術(shù)方案可以使循環(huán)Step內(nèi)容根據(jù)用戶需要進行顯示，用戶無需重復(fù)查看同一循環(huán)Step內(nèi)容，避免了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷。并且本實施例的技術(shù)方案減輕了用戶查看循環(huán)Step內(nèi)容的負擔，使用戶更易把握Recipe的特點。圖9為本發(fā)明實施例三提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖9所示，該Recipe管理裝置包括：判斷模塊11、獲取模塊12和執(zhí)行模塊13。判斷模塊11用于判斷RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括循環(huán)步驟標識，所述循環(huán)步驟標識用于標識所述RecipeStep信息中的循環(huán)Step內(nèi)容。獲取模塊12用于若判斷模塊11判斷出所述RecipeStepName中包括循環(huán)步驟標識，從所述RecipeStep信息中獲取所述循環(huán)步驟標識所標識的循環(huán)Step內(nèi)容以及從所述循環(huán)步驟標識中解析出所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)。執(zhí)行模塊13用于根據(jù)所述循環(huán)Step內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令。本實施例中，所述循環(huán)起始索引用于表示所述循環(huán)Step內(nèi)容的起始點，所述循環(huán)終止索引用于表示所述循環(huán)Step內(nèi)容的終止點，所述循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)Step內(nèi)容的次數(shù)。其中，所述循環(huán)起始索引為正整數(shù)，所述循環(huán)終止索引為正整數(shù)，且所述循環(huán)終止索引大于所述循環(huán)起始索引。本實施例循環(huán)步驟標識表示為[i，j；loopcount]，其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，所述循環(huán)步驟標識表明該循環(huán)Step內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行l(wèi)oopcount次步驟i到步驟j的內(nèi)容。本實施例中，Recipe操作指令可以由用戶在上位機的操作界面上輸入。該Recipe操作指令可包括：創(chuàng)建Recipe指令、編輯Recipe指令、刪除Recipe指令、查看Recipe指令或者保存Recipe指令等。例如：若Recipe操作指令為刪除Recipe指令，則對于Recipe信息中的循環(huán)Step內(nèi)容，執(zhí)行模塊13可根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)將需要刪除的循環(huán)Step內(nèi)容一次性刪除，無需重復(fù)執(zhí)行刪除操作。例如：若Recipe操作指令為創(chuàng)建Recipe指令，則對于Recipe信息中的循環(huán)Step內(nèi)容，執(zhí)行模塊13可根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)將創(chuàng)建一次循環(huán)Step內(nèi)容，無需重復(fù)執(zhí)行創(chuàng)建操作。進一步地，若判斷模塊11判斷出RecipeStepName中未包括循環(huán)步驟標識，則直接由執(zhí)行模塊13執(zhí)行Recipe操作指令。本實施例提供的Recipe管理裝置可用于執(zhí)行上述實施例一提供的Recipe管理方法。本實施例的技術(shù)方案中，根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容、循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)執(zhí)行Recipe操作指令，用戶對于循環(huán)Step內(nèi)容無需執(zhí)行重復(fù)操作，減少了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷。下面以Recipe操作指令為查看Recipe指令為例通過實施例四對本發(fā)明中的Recipe管理裝置進行詳細描述。圖10為本發(fā)明實施例四提供的一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖10所示，本實施例在上述實施例三的基礎(chǔ)上，執(zhí)行模塊13包括：定義子模塊131、設(shè)置子模塊132、添加子模塊133和顯示子模塊134。定義子模塊131用于根據(jù)所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)，定義CollapseDataGridView控件，所述CollapseDataGridView控件包括一個或者多個CollapseDataGridRow。其中，所述CollapseDataGridRow用于標識所述循環(huán)Step內(nèi)容的折疊行。設(shè)置子模塊132用于將所述循環(huán)Step內(nèi)容設(shè)置為所述CollapseDataGridRow的子行。添加子模塊133用于將所述CollapseDataGridView控件添加到所述DataGridView控件中。顯示子模塊134用于將所述RecipeStep信息在所述DataGridView控件中顯示。進一步地，該Recipe管理裝置還包括：收發(fā)模塊14。收發(fā)模塊14用于向下位機發(fā)送查看Recipe指令，該查看Recipe指令包括Recipe的類別名、名稱和版本號，以供下位機根據(jù)該Recipe的類別名、名稱和版本號生成RecipeID，查詢是否存儲有該RecipeID，若查詢出存儲有該RecipeID，獲取與該RecipeID對應(yīng)的Recipebody對象，將Recipebody對象封裝為RemoteProcessRcpInfo，查詢出與RemoteProcessRcpInfo對應(yīng)的RecipeStep信息和Recipe附加信息，將RecipeStep信息和Recipe附加信息發(fā)送給上位機。收發(fā)模塊14還用于接收下位機發(fā)送的RecipeStep信息和Recipe附加信息，并觸發(fā)判斷模塊11。本實施例的技術(shù)方案可以使循環(huán)Step內(nèi)容根據(jù)用戶需要進行顯示，使用戶無需重復(fù)查看同一循環(huán)Step內(nèi)容，避免了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷。并且本實施例的技術(shù)方案減輕了用戶查看循環(huán)Step內(nèi)容的負擔，使用戶更易把握Recipe的特點。本發(fā)明實施例五還提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)，其包括下位機程序和上位機程序；下位機程序用于存儲和管理Recipe管理系統(tǒng)；上位機程序用于提供管理所述Recipe管理系統(tǒng)的圖形界面；而且Recipe管理系統(tǒng)采用上述實施例三或者實施例四提供的用于半導(dǎo)體設(shè)備的Recipe管理系統(tǒng)。該半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)根據(jù)循環(huán)Step內(nèi)容和循環(huán)步驟標識執(zhí)行Recipe操作指令，用戶對于循環(huán)Step內(nèi)容無需執(zhí)行重復(fù)操作，減少了人力和資源的浪費，從而減少了操作時間的開銷，進而簡化了半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)的操作步驟。可以理解的是，以上實施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進，這些變型和改進也視為本發(fā)明的保護范圍。