技術(shù)特征：
1.一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，包括：判斷秘方步驟信息的秘方步驟名稱中是否包括預(yù)先設(shè)置的循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)，所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)用于標(biāo)識(shí)所述秘方步驟信息中的循環(huán)步驟內(nèi)容；若判斷出所述秘方步驟名稱中包括所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)，根據(jù)獲取的所述循環(huán)步驟內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)執(zhí)行秘方操作指令,具體地，所述根據(jù)獲取的所述循環(huán)步驟內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)執(zhí)行秘方操作指令包括：從所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)中解析出循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)以及從所述秘方步驟信息中獲取的循環(huán)步驟內(nèi)容，以及；根據(jù)所述循環(huán)步驟內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行秘方操作指令；若判斷出所述秘方步驟名稱中未包括所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)，根據(jù)所述秘方步驟信息逐步執(zhí)行秘方操作指令。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，所述秘方操作指令包括查看秘方指令；所述根據(jù)循環(huán)步驟內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行秘方操作指令包括：根據(jù)所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)定義重疊數(shù)據(jù)格視圖控件，所述重疊數(shù)據(jù)格視圖控件包括一個(gè)或者多個(gè)重疊數(shù)據(jù)格行；將所述循環(huán)步驟內(nèi)容設(shè)置為所述重疊數(shù)據(jù)格行的子行；將所述重疊數(shù)據(jù)格視圖控件添加到所述數(shù)據(jù)格視圖控件中；將所述秘方步驟信息在所述數(shù)據(jù)格視圖控件中顯示。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，所述重疊數(shù)據(jù)格行用于標(biāo)識(shí)所述循環(huán)步驟內(nèi)容的折疊行。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，所述循環(huán)起始索引用于表示所述秘方步驟信息中所述循環(huán)步驟內(nèi)容的起始點(diǎn)，所述循環(huán)終止索引用于表示所述秘方步驟信息中所述循環(huán)步驟內(nèi)容的終止點(diǎn)，所述循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)步驟內(nèi)容的次數(shù)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)表示為[i,j；loopcount],其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)表明該循環(huán)步驟內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行循環(huán)次數(shù)次步驟i到步驟j的內(nèi)容。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理方法，其特征在于，所述循環(huán)起始索引為正整數(shù)，所述循環(huán)終止索引為正整數(shù)，且所述循環(huán)終止索引大于所述循環(huán)起始索引。7.一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)，其特征在于，包括：判斷模塊，用于判斷秘方步驟信息的秘方步驟名稱中是否包括循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)；第一執(zhí)行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述秘方步驟名稱中包括所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)，根據(jù)獲取的所述循環(huán)步驟內(nèi)容和所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)執(zhí)行秘方操作指令，其特征在于，所述第一執(zhí)行模塊包括：獲取子模塊，用于從所述秘方步驟信息中獲取所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)所標(biāo)識(shí)的循環(huán)步驟內(nèi)容；解析子模塊，用于從所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)中解析出循環(huán)起始索引、循環(huán)終止索引和循環(huán)次數(shù)；第一執(zhí)行子模塊，用于根據(jù)所述循環(huán)步驟內(nèi)容、所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)執(zhí)行秘方操作指令；第二執(zhí)行模塊，用于若所述判斷模塊判斷出所述秘方步驟名稱中未包括所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)，根據(jù)所述秘方步驟信息逐步執(zhí)行秘方操作指令。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)，其特征在于，所述秘方操作指令包括查看秘方指令；所述第一執(zhí)行子模塊包括：定義子模塊，用于根據(jù)所述循環(huán)起始索引、所述循環(huán)終止索引和所述循環(huán)次數(shù)，定義重疊數(shù)據(jù)格視圖控件，所述重疊數(shù)據(jù)格視圖控件包括一個(gè)或者多個(gè)數(shù)據(jù)格視圖；設(shè)置子模塊，用于將所述循環(huán)步驟內(nèi)容設(shè)置為所述重疊數(shù)據(jù)格行的子行；添加子模塊，用于將所述重疊數(shù)據(jù)格視圖控件添加到所述數(shù)據(jù)格視圖控件中；顯示子模塊，用于將所述秘方步驟信息在所述數(shù)據(jù)格視圖控件中顯示。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)據(jù)格視圖用于標(biāo)識(shí)所述循環(huán)步驟內(nèi)容的折疊行。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)，其特征在于，所述循環(huán)起始索引用于表示所述秘方步驟信息中所述循環(huán)步驟內(nèi)容的起始點(diǎn)，所述循環(huán)終止索引用于表示所述秘方步驟信息中所述循環(huán)步驟內(nèi)容的終止點(diǎn)，所述循環(huán)次數(shù)用于表示重復(fù)執(zhí)行所述循環(huán)步驟內(nèi)容的次數(shù)。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)，其特征在于，所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)表示為[i,j；loopcount],其中，i為循環(huán)起始索引，j為循環(huán)終止索引，loopcount為循環(huán)次數(shù)，所述循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)表明該循環(huán)步驟內(nèi)容為重復(fù)執(zhí)行循環(huán)次數(shù)次步驟i到步驟j的內(nèi)容。12.一種半導(dǎo)體設(shè)備控制系統(tǒng)，包括：下位機(jī)和上位機(jī)；所述下位機(jī)用于存儲(chǔ)和管理秘方管理系統(tǒng)；所述下位機(jī)接收所述上位機(jī)發(fā)送的查看秘方指令，獲取對(duì)應(yīng)的秘方實(shí)體對(duì)象，并將相應(yīng)的秘方步驟信息和秘方附加信息發(fā)送給所述上位機(jī)；所述上位機(jī)接收所述下位機(jī)發(fā)送的信息，并判斷所述信息中是否包括所述下位機(jī)預(yù)先設(shè)置的循環(huán)步驟標(biāo)識(shí)；所述上位機(jī)用于提供管理所述秘方管理系統(tǒng)的圖形界面；其特征在于，所述秘方管理系統(tǒng)采用權(quán)利要求7至11任一所述的用于半導(dǎo)體設(shè)備的秘方管理系統(tǒng)。