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一種非作業(yè)時間長度確定方法及其系統(tǒng)與流程

文檔序號:12158127閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種非作業(yè)時間長度確定方法,其特征在于,包括:

獲取機臺在對半導體產(chǎn)品處理過程中生成的數(shù)據(jù)庫信息;

根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息,確定對半導體產(chǎn)品處理過程中的第一時長,其中所述第一時長包括對半導體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長;

根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息,確定所述第一時長中的所有作業(yè)總時長;

根據(jù)所述第一時長和所述第一時長中的所有作業(yè)總時長,確定對半導體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長。

2.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括所有工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了第一工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)起始時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了最后一個工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)起始時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了第一工藝步驟和最后一個工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長。

3.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,確定對半導體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長之后,包括:

若所述所有非作業(yè)總時長超過所述第一閾值,則向機臺發(fā)出停止作業(yè)信息或通知機臺操作人員作業(yè)超時。

4.如權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,確定半導體產(chǎn)品的非作業(yè)時間 長度之后,還包括:

若所述所有非作業(yè)總時長大于第二閾值且不大于所述第一閾值,則通知機臺操作人員作業(yè)即將超時。

5.如權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述獲取機臺生成的數(shù)據(jù)庫信息,包括:

通過數(shù)據(jù)庫查詢接口周期查詢當前機臺生成的數(shù)據(jù)庫信息。

6.一種非作業(yè)時間長度確定系統(tǒng),其特征在于,包括:

獲取單元,用于獲取機臺在對半導體產(chǎn)品處理過程中生成的數(shù)據(jù)庫信息;

第一確定單元,用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息,確定對半導體產(chǎn)品處理過程中的第一時長,其中所述第一時長包括對半導體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長;

第二確定單元,用于根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息,確定所述第一時長中的所有作業(yè)總時長;

非作業(yè)總時長確定單元,用于根據(jù)所述第一時長和所述第一時長中的所有作業(yè)總時長,確定對半導體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長。

7.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng),其特征在于,

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括所有工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了第一工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)起始時刻到半導體產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)起始時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了最后一個工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長;

若所述第一時長為半導體產(chǎn)品執(zhí)行第一工藝步驟的作業(yè)結(jié)束時刻到半導體 產(chǎn)品執(zhí)行最后一個工藝步驟的作業(yè)起始時刻,則所述第一時長中的所有作業(yè)總時長包括除了第一工藝步驟和最后一個工藝步驟的其余工藝步驟的作業(yè)時長。

8.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng),其特征在于,還包括:

判斷處理單元,用于若所述所有非作業(yè)總時長超過所述第一閾值,則向機臺發(fā)出停止作業(yè)信息或通知機臺操作人員作業(yè)超時。

9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng),其特征在于,所述判斷處理單元還用于:

若所述所有非作業(yè)總時長大于第二閾值且不大于所述第一閾值,則通知機臺操作人員作業(yè)即將超時。

10.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng),其特征在于,所述獲取單元具體用于:

通過數(shù)據(jù)庫查詢接口周期查詢當前機臺生成的數(shù)據(jù)庫信息。

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