技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種非作業(yè)時間長度確定方法及其系統(tǒng)，包括：獲取機臺在對半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過程中生成的數(shù)據(jù)庫信息；根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息，確定對半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過程中的第一時長，其中所述第一時長包括對半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長；根據(jù)所述數(shù)據(jù)庫信息，確定所述第一時長中的所有作業(yè)總時長；根據(jù)所述第一時長和所述第一時長中的所有作業(yè)總時長，確定對半導(dǎo)體產(chǎn)品處理過程中所有非作業(yè)總時長。用以解決現(xiàn)有技術(shù)中半導(dǎo)體作業(yè)過程中工藝步驟之間存在非作業(yè)時間超時的問題，導(dǎo)致半導(dǎo)體產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量較低。

技術(shù)研發(fā)人員：詹祥宇
受保護的技術(shù)使用者：北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
文檔號碼：201510512201
技術(shù)研發(fā)日：2015.08.19
技術(shù)公布日：2017.03.01