技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一集成電路方法以及集成電路設(shè)計(jì)系統(tǒng)。該集成電路方法包括：接收一集成電路布局文件；以及對集成電路布局文件執(zhí)行一逆電子束技術(shù)工藝以產(chǎn)生一最終掩膜圖案，其中逆電子束技術(shù)工藝使用一單一逆電子束技術(shù)模型以模擬一掩膜產(chǎn)生工藝以及晶圓產(chǎn)生工藝。

技術(shù)研發(fā)人員：黃旭霆;劉如淦;周碩彥;高蔡勝
受保護(hù)的技術(shù)使用者：臺灣積體電路制造股份有限公司
文檔號碼：201510859455
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.30
技術(shù)公布日：2017.03.01