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觸控面板及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11917063閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種觸控面板的制備方法,其特征在于,包括:

提供一基板;

在部分所述基板上形成金屬布線;

形成介質(zhì)層,所述介質(zhì)層覆蓋所述金屬布線的側(cè)壁及部分頂壁,且暴露出所述金屬布線的邊緣;

形成透明電極,所述透明電極覆蓋部分所述介質(zhì)層、剩余的所述基板及剩余的所述金屬布線,且暴露出所述金屬布線上的介質(zhì)層的邊緣;

形成覆蓋層,所述覆蓋層覆蓋所述透明電極及剩余的所述介質(zhì)層。

2.如權(quán)利要求1所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,所述基板為玻璃基板或聚酰亞胺基板。

3.如權(quán)利要求1所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,所述透明電極為氧化銦錫或氧化銦鋅,所述透明電極的厚度為200nm~1000nm。

4.如權(quán)利要求1所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,形成所述介質(zhì)層的步驟包括:

形成光阻,所述光阻覆蓋所述金屬布線的邊緣及部分所述基板,且暴露出所述金屬布線周?chē)牧硪徊糠只澹?/p>

沉積介質(zhì)層,所述介質(zhì)層覆蓋圍繞所述金屬布線側(cè)壁的所述另一部分基板及剩余的所述金屬布線;以及

去除所述光阻。

5.如權(quán)利要求1所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,形成所述介質(zhì)層的步驟包括:

形成介質(zhì)層,所述介質(zhì)層覆蓋所述金屬布線及所述基板;

形成光阻,所述光阻覆蓋所述金屬布線周?chē)牟糠炙鼋橘|(zhì)層及部分所述金屬布線;

以所述光阻為掩膜刻蝕所述介質(zhì)層,保留所述金屬布線周?chē)牟糠炙鼋橘|(zhì)層及部分所述金屬布線上的所述介質(zhì)層;以及

去除所述光阻。

6.如權(quán)利要求4或5所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,所述介質(zhì)層為氧化硅、氮化硅或氮氧化硅中的一種或其組合。

7.如權(quán)利要求4或5所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,采用化學(xué)氣相沉積工藝形成所述介質(zhì)層,所述介質(zhì)層的厚度為200nm~500nm。

8.如權(quán)利要求4或5所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,圍繞所述金屬布線的側(cè)壁的介質(zhì)層的寬度為1.0μm~10μm。

9.如權(quán)利要求1所述的觸控面板的制備方法,其特征在于,所述覆蓋層為聚酰亞胺材料。

10.一種觸控面板,其特征在于,包括:

基板;

位于部分所述基板上的金屬布線;

介質(zhì)層,所述介質(zhì)層圍繞所述金屬布線的側(cè)壁及部分頂壁,且暴露出所述金屬布線的邊緣;

透明電極,所述透明電極覆蓋部分所述介質(zhì)層、剩余的所述基板及剩余的所述金屬布線,且暴露出所述金屬布線上的介質(zhì)層的邊緣;以及

覆蓋層,所述覆蓋層覆蓋所述透明電極及剩余的所述介質(zhì)層。

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