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工藝角提取方法、提取裝置、電子設備和存儲介質與流程

文檔序號:40633796發(fā)布日期:2025-01-10 18:39閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,包括:

2.根據權利要求1所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述基于所述初始rc工藝角文件對所述芯片電路執(zhí)行電路性能的仿真操作,包括:

3.根據權利要求2所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述基于所述rc靈敏度網表對所述芯片電路執(zhí)行電路性能仿真操作,包括:

4.根據權利要求3所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述由所述工藝角提取模型輸出目標rc工藝角,包括:

5.根據權利要求4所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述從所述多個備選rc工藝角中篩選出所述目標rc工藝角,包括:

6.根據權利要求4所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述配置工藝角提取模型,包括:

7.根據權利要求6所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,還包括:

8.根據權利要求7所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述基于所述目標rc工藝角進行電路性能驗證操作,包括:

9.根據權利要求8所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,還包括:

10.根據權利要求9所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述重構所述工藝角提取模型,包括:

11.根據權利要求4至10中任一項所述的金屬互連線的工藝角提取方法,其特征在于,所述基于所述性能數據預估所述電路性能的目標值,包括:

12.一種金屬互連線的工藝角提取裝置,其特征在于,包括:

13.一種電子設備,其特征在于,包括:

14.一種計算機可讀存儲介質,其上存儲有計算機程序,其特征在于,所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現權利要求1至11中任意一項所述的金屬互連線的工藝角提取方法。


技術總結
本公開提供了一種工藝角提取方法、提取裝置、電子設備和存儲介質,涉及半導體技術領域。其中,金屬互連線的工藝角提取方法包括:響應于輸入的芯片電路的初始RC工藝角文件,配置工藝角提取模型,以由所述工藝角提取模型輸出目標RC工藝角,所述目標RC工藝角的工藝余量小于所述初始RC工藝角文件中的工藝余量;其中,基于所述初始RC工藝角文件對所述芯片電路執(zhí)行電路性能的仿真操作,以基于所述仿真操作的結果配置所述工藝角提取模型。通過本公開的技術方案,能夠得到余量更小且精度更高的目標RC工藝角參數,從而在基于目標RC工藝角參數指導芯片的后段制程時,能夠降低寄生電阻電容對器件性能的影響。

技術研發(fā)人員:李曉妍,渠匯,郭俊濤,顏彥,江念
受保護的技術使用者:合肥格易集成電路有限公司
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/9
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