本公開涉及光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量，具體地說，涉及一種理論光譜數(shù)據(jù)優(yōu)化方法及測(cè)量方法。

背景技術(shù)：

1、光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量(optical?critical?dimension，ocd)技術(shù)通過獲取樣品上測(cè)量區(qū)域中周期性結(jié)構(gòu)的散射信號(hào)以及樣品的模型從而估計(jì)出樣品的具體形貌參數(shù)，可以滿足在新制程和新技術(shù)中實(shí)現(xiàn)快速精確測(cè)量的需求，并且具有非接觸性和非破壞性，可以應(yīng)用在半導(dǎo)體領(lǐng)域以測(cè)量樣品(如晶圓或光罩)的形貌參數(shù)。而光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量技術(shù)，其原理總體可以描述為：先建立與樣品的結(jié)構(gòu)模型相對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)，再通過獲取樣品上測(cè)量區(qū)域中周期性結(jié)構(gòu)的散射信號(hào)與理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)的參量進(jìn)行匹配從而估計(jì)出樣品的具體形貌參數(shù)。在建立與樣品的結(jié)構(gòu)模型相對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)過程中，計(jì)算理論光譜數(shù)據(jù)所使用的算法為嚴(yán)格耦合波分析(rigorous?coupled?wave?analysis，rcwa)算法，以下簡(jiǎn)稱rcwa算法。rcwa算法的流程是將樣品的介電函數(shù)、入射區(qū)域、透射區(qū)域以及樣品區(qū)域的電磁場(chǎng)的傅里葉級(jí)數(shù)展開式代入到麥克斯韋方程組中，利用電磁場(chǎng)的連續(xù)條件，求解入射區(qū)域的電場(chǎng)，從而得到樣品的反射系數(shù)；通過遍歷每個(gè)波長(zhǎng)點(diǎn)，使用rcwa算法計(jì)算對(duì)應(yīng)波長(zhǎng)點(diǎn)的樣品的反射系數(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)樣品理論光譜數(shù)據(jù)的獲取。

2、具體的，在rcwa算法的具體實(shí)現(xiàn)中，對(duì)于在第一方向和第二方向上均存在周期性結(jié)構(gòu)的樣品的結(jié)構(gòu)模型，一般會(huì)對(duì)該結(jié)構(gòu)模型的在第一方向和第二方向上不同光特性參量，如介電函數(shù)、電場(chǎng)以及磁場(chǎng)，進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開。示例性的，圖1示出了一種在第一方向和第二方向上均存在周期性結(jié)構(gòu)的樣品的結(jié)構(gòu)模型的示意圖。如圖1所示，樣品具體可以為晶圓，包含依次層疊的襯底層001，薄膜層002、沿第二方向延伸的第二方向光柵層003以及沿第一方向延伸的第一方向光柵層004，其中第一方向x和第二方向y為相互垂直的兩個(gè)方向，且均與樣品的高度方向垂直，周期性結(jié)構(gòu)指的是樣品具有在第一方向x和第二方向y上周期分布的光柵結(jié)構(gòu)，包括按照預(yù)設(shè)規(guī)則排列的多個(gè)透光區(qū)和多個(gè)不透光區(qū)，此為本領(lǐng)域技術(shù)人員的常規(guī)設(shè)置，在此不做贅述。

3、可以理解的是，傅里葉級(jí)數(shù)展開是從負(fù)無窮階到正無窮階展開，而在rcwa算法實(shí)際應(yīng)用中，需要對(duì)傅里葉級(jí)數(shù)的展開級(jí)次進(jìn)行截?cái)?，其中截?cái)嗟淖畲蠹?jí)次被稱為截?cái)嗉?jí)次；也就是說，實(shí)際應(yīng)用中對(duì)光特性參量進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開僅需展開到截?cái)嗉?jí)次即可。在如圖1所示結(jié)構(gòu)模型中，由于存在第一方向x和第二方向y兩個(gè)周期性分布的方向，因此在傅里葉級(jí)數(shù)展開的過程中存在兩個(gè)截?cái)嗉?jí)次，分別為nx以及ny，其中nx對(duì)應(yīng)的是第一方向x上的截?cái)嗉?jí)次，ny對(duì)應(yīng)的是第二方向y上的截?cái)嗉?jí)次；相應(yīng)的，第一方向x上的級(jí)次m的取值可以為區(qū)間[-nx，nx]中的整數(shù)，第二方向y上的級(jí)次n的取值可以為區(qū)間[-ny，ny]中的整數(shù)。將一個(gè)第一方向x上的級(jí)次m和一個(gè)第二方向y上的級(jí)次n的組合稱為級(jí)次對(duì)，記為(m，n)，那么整個(gè)結(jié)構(gòu)模型對(duì)應(yīng)的級(jí)次對(duì)集合則可以記為：

4、{(m,n)|-nx≤m≤nx，-ny≤n≤ny}。

5、基于上述級(jí)次對(duì)集合，可以通過對(duì)不同光特性參量進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開，然后應(yīng)用rcwa算法來計(jì)算理論光譜數(shù)據(jù)，即一個(gè)級(jí)次對(duì)集合能夠?qū)?yīng)一個(gè)理論光譜數(shù)據(jù)?？梢岳斫獾氖?，通過傅里葉級(jí)數(shù)展開對(duì)應(yīng)的級(jí)次對(duì)數(shù)量越多，采用rcwa算法計(jì)算得到的理論光譜數(shù)據(jù)的精度就越高；然而理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算效率又與級(jí)次對(duì)集合中的級(jí)次對(duì)數(shù)量呈立方反比關(guān)系。因此，為了能夠在保證理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算精度的同時(shí)提升計(jì)算效率，需要對(duì)第一方向上和第二方向上的截?cái)嗉?jí)次進(jìn)行合理的設(shè)置。

6、相應(yīng)的，現(xiàn)有技術(shù)中提出了對(duì)獲取的級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行收斂性分析，以獲得收斂級(jí)次對(duì)集合的方案，具體可以包括：

7、首先，設(shè)定第一方向的截?cái)嗉?jí)次nx對(duì)應(yīng)的第一級(jí)次閾值nxr以及第二方向的截?cái)嗉?jí)次ny對(duì)應(yīng)的第二級(jí)次閾值nyr，其中第一級(jí)次閾值nxr和第二級(jí)次閾值nyr均為正整數(shù)。將設(shè)定的第一級(jí)次閾值nxr和第二級(jí)次閾值nyr分別作為第一方向和第二方向的截?cái)嗉?jí)次且獲取對(duì)應(yīng)的參考級(jí)次對(duì)集合，并基于rcwa算法獲取參考級(jí)次對(duì)集合對(duì)應(yīng)的第一理論光譜數(shù)據(jù)。

8、其次，根據(jù)設(shè)定的起點(diǎn)和步長(zhǎng)，改變第一方向和第二方向的截?cái)嗉?jí)次，使得第一方向和第二方向的截?cái)嗉?jí)次分別向第一級(jí)次閾值nxr和第二級(jí)次閾值nyr增加。在上述截?cái)嗉?jí)次按步長(zhǎng)遞增的過程中，根據(jù)每一組第一方向和第二方向的截?cái)嗉?jí)次獲取對(duì)應(yīng)的一個(gè)原始級(jí)次對(duì)集合，并基于rcwa算法獲取原始級(jí)次對(duì)集合對(duì)應(yīng)的第二理論光譜數(shù)據(jù)。

9、最后，計(jì)算得到的第二理論光譜數(shù)據(jù)與第一理論光譜數(shù)據(jù)之間的均方誤差，并將均方誤差與預(yù)設(shè)閾值之間進(jìn)行比較。進(jìn)而將其中第一個(gè)均方誤差小于預(yù)設(shè)閾值的第二理論光譜數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的原始級(jí)次對(duì)集合作為收斂級(jí)次對(duì)集合，收斂級(jí)次對(duì)集合可表示為{(m,n)|-nxc≤m≤nxc，-nyc≤n≤nyc}，其中，nxc為第一方向的收斂級(jí)次，nyc為第二方向的收斂級(jí)次，收斂級(jí)次對(duì)集合中的級(jí)次對(duì)即為收斂級(jí)次對(duì)，記為(m,n)，m和n均為級(jí)次。

10、可以理解的是，將第一方向和第二方向?qū)?yīng)的截?cái)嗉?jí)次分別從設(shè)定的起點(diǎn)(例如可以為0)，按設(shè)定的步長(zhǎng)(例如在第一方向和第二方向上均按步長(zhǎng)為1進(jìn)行遞增)逐漸向第一級(jí)次閾值nxr和第二級(jí)次閾值nyr遞增的過程中，第一方向和第二方向?qū)?yīng)的截?cái)嗉?jí)次越大，對(duì)應(yīng)的原始級(jí)次對(duì)集合中的級(jí)次對(duì)數(shù)量就越多，得到的第二理論光譜數(shù)據(jù)與第一理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差就越小。均方誤差對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)閾值可以根據(jù)光學(xué)關(guān)鍵尺寸測(cè)量所用的硬件設(shè)備條件所確定，預(yù)設(shè)閾值的取值范圍例如為1e-7到1，滿足均方誤差小于預(yù)設(shè)閾值即說明對(duì)應(yīng)的原始級(jí)次對(duì)集合獲得的第二理論光譜數(shù)據(jù)能夠滿足計(jì)算精度需求。一般情況下，無需遞增至第一級(jí)次閾值nxr和第二級(jí)次閾值nyr即可找到所需的收斂級(jí)次對(duì)集合。

11、基于收斂級(jí)次對(duì)集合計(jì)算理論光譜數(shù)據(jù)，即在對(duì)光特性參量進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開時(shí)保留與收斂級(jí)次對(duì)集合對(duì)應(yīng)的傅里葉級(jí)數(shù)項(xiàng)，應(yīng)用rcwa算法來計(jì)算理論光譜數(shù)據(jù)，可以在確保精度的情況下提高計(jì)算效率。然而，收斂級(jí)次對(duì)集合中仍可能包含較多的級(jí)次對(duì)數(shù)量，為了進(jìn)一步提高理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算效率，需要對(duì)收斂級(jí)次對(duì)集合做進(jìn)一步優(yōu)化。

12、需要說明的是，上述背景技術(shù)部分公開的信息僅用于加強(qiáng)對(duì)本公開的背景的理解，因此可以包括不構(gòu)成對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本公開的目的在于提供一種理論光譜數(shù)據(jù)優(yōu)化方法及測(cè)量方法，能夠從收斂級(jí)次對(duì)集合中篩選出對(duì)于計(jì)算理論光譜數(shù)據(jù)所必要的優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合，從而提高理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算效率。

2、具體的，本公開的第一方面提供了一種理論光譜數(shù)據(jù)優(yōu)化方法，具體可以包括如下步驟：

3、獲取在第一方向和第二方向上均具有周期性結(jié)構(gòu)的樣品的結(jié)構(gòu)模型；

4、對(duì)結(jié)構(gòu)模型對(duì)應(yīng)的光特性參量在第一方向和第二方向上進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開，獲取展開后的傅里葉級(jí)數(shù)對(duì)應(yīng)的級(jí)次對(duì)集合，對(duì)級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行收斂性分析獲得收斂級(jí)次對(duì)集合；

5、獲取收斂級(jí)次對(duì)集合對(duì)應(yīng)的介電函數(shù)的傅里葉系數(shù)的微擾值，根據(jù)收斂級(jí)次對(duì)集合以及對(duì)應(yīng)的微擾值計(jì)算得到第三理論光譜數(shù)據(jù)；

6、根據(jù)收斂級(jí)次對(duì)集合計(jì)算得到第四理論光譜數(shù)據(jù)；

7、根據(jù)第三理論光譜數(shù)據(jù)與第四理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差以及收斂級(jí)次對(duì)集合對(duì)應(yīng)的微擾值，獲取每個(gè)收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的靈敏度；

8、根據(jù)預(yù)設(shè)條件和靈敏度對(duì)收斂級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行篩選，以獲取優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合；

9、根據(jù)優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合獲取對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)。

10、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，結(jié)構(gòu)模型在第三方向上具有至少一個(gè)分層，第三方向與第一方向和第二方向兩兩垂直，第三方向?yàn)闃悠返母叨确较颍?/p>

11、在計(jì)算得到第四理論光譜數(shù)據(jù)的過程中，包括對(duì)介電函數(shù)進(jìn)行傅里葉級(jí)數(shù)展開，介電函數(shù)的傅里葉級(jí)數(shù)的計(jì)算公式為：

12、

13、其中，x為第一方向上的坐標(biāo)；y為第二方向上的坐標(biāo)；結(jié)構(gòu)模型在第三方向上具有q個(gè)分層，q為大于或等于1的正整數(shù)，zq為第q分層在第三方向上的坐標(biāo)，1≤q≤q；λ為波長(zhǎng)；ε(x，y，zq′λ)為介電函數(shù)；nxc為第一方向的收斂級(jí)次；nyc為第二方向的收斂級(jí)次；j為虛數(shù)單位；px為第一方向周期；py為第二方向周期；εuv(zq，λ)為介電函數(shù)的傅里葉級(jí)次對(duì)(u，v)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)；

14、介電函數(shù)的傅里葉級(jí)次對(duì)(u，v)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)的計(jì)算公式為：

15、

16、在計(jì)算得到第三理論光譜數(shù)據(jù)的過程中，包括對(duì)于收斂級(jí)次對(duì)(m，n)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)進(jìn)行微擾，微擾后的介電函數(shù)的傅里葉級(jí)數(shù)的計(jì)算公式為：

17、

18、其中，ε′(x，y，zq，λ)為微擾后的介電函數(shù)；δεmn(zq，λ)為收斂級(jí)次對(duì)(m，n)對(duì)應(yīng)的微擾值，-nxc≤m≤nxc，-nyc≤n≤nyc，微擾值的模滿足：0<|δεmn(zq，λ)|≤1；

19、微擾后介電函數(shù)的傅里葉級(jí)次對(duì)(u，v)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)的計(jì)算公式為：

20、ε′uv(zq，λ)＝εuv(zq，λ)-δumδvnδεmn(zq，λ)；

21、其中，當(dāng)u＝m時(shí)，δum＝1；當(dāng)u≠m時(shí)，δum＝0；當(dāng)v＝n時(shí)，δvn＝1；當(dāng)u≠m時(shí)，δvn＝0。

22、上述技術(shù)方案提供了一種對(duì)于收斂級(jí)次對(duì)(m，n)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)進(jìn)行微擾的具體實(shí)現(xiàn)過程。可以理解的是，只有特定的收斂級(jí)次對(duì)(m，n)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)在微擾后產(chǎn)生了變化，介電函數(shù)的傅里葉級(jí)次對(duì)(u，v)中除收斂級(jí)次對(duì)(m，n)之外的其他收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)仍保持不變。

23、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，對(duì)于不同的波長(zhǎng)和結(jié)構(gòu)模型在第三方向上不同分層，收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值各不相同；

24、或者對(duì)于不同的波長(zhǎng)和/或結(jié)構(gòu)模型在第三方向上不同分層，收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值相同。

25、上述技術(shù)方案對(duì)于微擾值的具體設(shè)置提供了多種可選的方案，其中：在第三方向上不同分層和不同的波長(zhǎng)的收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值不同，在后續(xù)計(jì)算過程中獲得的靈敏度結(jié)果會(huì)更加準(zhǔn)確地表征收斂級(jí)次對(duì)的傅里葉系數(shù)的改變量(即微擾值)對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的改變量的影響；而將在第三方向上不同分層和不同的波長(zhǎng)的收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值設(shè)置為相同，則可以簡(jiǎn)化靈敏度的計(jì)算；而將微擾值設(shè)置為僅關(guān)聯(lián)于不同的波長(zhǎng)，則能夠簡(jiǎn)化靈敏度的計(jì)算并凸顯波長(zhǎng)對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的影響；而將微擾值設(shè)置為僅關(guān)聯(lián)于在第三方向上的不同分層，則能夠簡(jiǎn)化靈敏度的計(jì)算并凸顯每一分層的結(jié)構(gòu)對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的影響。

26、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，根據(jù)收斂級(jí)次對(duì)集合以及對(duì)應(yīng)的微擾值計(jì)算得到第三理論光譜數(shù)據(jù)的過程中，僅對(duì)于包含預(yù)設(shè)的待測(cè)形貌參數(shù)的分層的收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)增加微擾值。

27、上述技術(shù)方案僅對(duì)于包含待測(cè)形貌參數(shù)的分層的收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的傅里葉系數(shù)增加微擾值，對(duì)于不包含待測(cè)形貌參數(shù)的分層不增加微擾值，能夠凸顯待測(cè)形貌參數(shù)對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的影響。

28、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，靈敏度為第三理論光譜數(shù)據(jù)與第四理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差，與收斂級(jí)次對(duì)集合中所有收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值的平均值的模的比值。

29、上述技術(shù)方案就靈敏度數(shù)值的獲取提供了一種計(jì)算方式，采用均方誤差與微擾值的平均值的模的比值作為靈敏度，避免因某分層和某波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的微擾值設(shè)定較大而導(dǎo)致靈敏度較小或因某分層和某波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的微擾值設(shè)定較小而導(dǎo)致靈敏度較大，使得獲得的收斂級(jí)次對(duì)(m,n)對(duì)應(yīng)的靈敏度對(duì)于所有分層和波長(zhǎng)來說具有一致性。

30、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，靈敏度為第三理論光譜數(shù)據(jù)與第四理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差，與收斂級(jí)次對(duì)集合中所有收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的微擾值中最大值的模的比值。

31、上述技術(shù)方案就靈敏度數(shù)值的獲取提供了另一種計(jì)算方式，采用均方誤差與微擾值中最大值的模的比值作為靈敏度，能夠使得獲得的收斂級(jí)次對(duì)(m,n)對(duì)應(yīng)的靈敏度結(jié)果最小，使得獲得的收斂級(jí)次對(duì)(m,n)對(duì)應(yīng)的靈敏度能夠最大程度上表征該收斂級(jí)次對(duì)的傅里葉系數(shù)的改變量對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的改變量的影響。

32、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，根據(jù)預(yù)設(shè)條件和靈敏度對(duì)收斂級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行篩選以獲取優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合，包括如下步驟：

33、根據(jù)預(yù)設(shè)的第一閾值和第二閾值遍歷收斂級(jí)次對(duì)集合，保留靈敏度小于或者等于第一閾值的收斂級(jí)次對(duì)，獲取保留的所有收斂級(jí)次對(duì)的理論光譜數(shù)據(jù)，在理論光譜數(shù)據(jù)與第四理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差小于或等于第二閾值的情況下，將當(dāng)前保留的所有收斂級(jí)次對(duì)作為優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合。

34、上述技術(shù)方案就優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合的獲取提供了一種具體方案，通過對(duì)其中的第一閾值和/或第二閾值進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整，能夠使得篩選得到的優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合滿足理論光譜數(shù)據(jù)計(jì)算的精度需求，同時(shí)提升理論光譜數(shù)據(jù)獲取的計(jì)算效率。

35、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，根據(jù)預(yù)設(shè)條件和靈敏度對(duì)收斂級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行篩選以獲取優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合，包括如下步驟：

36、根據(jù)靈敏度的大小對(duì)收斂級(jí)次對(duì)進(jìn)行排序；

37、根據(jù)預(yù)設(shè)的篩選比例保留靈敏度的數(shù)值較小的收斂級(jí)次對(duì)，獲取保留的所有收斂級(jí)次對(duì)的理論光譜數(shù)據(jù)，在理論光譜數(shù)據(jù)與第四理論光譜數(shù)據(jù)的均方誤差小于或等于預(yù)設(shè)的第三閾值的情況下，將當(dāng)前保留的所有收斂級(jí)次對(duì)作為優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合。

38、上述技術(shù)方案就優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合的獲取提供了另一種具體方案，通過對(duì)其中的篩選比例和/或第三閾值進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整，同樣能夠使得篩選得到的優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合滿足理論光譜數(shù)據(jù)計(jì)算的精度需求，同時(shí)提升理論光譜數(shù)據(jù)獲取的計(jì)算效率。

39、在上述第一方面的一種可能的實(shí)現(xiàn)中，光特性參量包括介電函數(shù)、電場(chǎng)和磁場(chǎng)；根據(jù)rcwa算法、收斂級(jí)次對(duì)集合以及對(duì)應(yīng)的微擾值計(jì)算得到第三理論光譜數(shù)據(jù)；根據(jù)rcwa算法和收斂級(jí)次對(duì)集合計(jì)算得到第四理論光譜數(shù)據(jù)；根據(jù)rcwa算法和優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合獲取對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)。

40、上述技術(shù)方案基于篩選后的優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合應(yīng)用rcwa算法進(jìn)行理論光譜數(shù)據(jù)的獲取，能夠顯著提升理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算效率。

41、本公開的第二方面提供了一種測(cè)量方法，該種測(cè)量方法具體可以包括如下步驟：

42、根據(jù)前述第一方面提供的理論光譜數(shù)據(jù)優(yōu)化方法建立與樣品對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)，其中理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)包括樣品的形貌參數(shù)及與形貌參數(shù)對(duì)應(yīng)的理論光譜數(shù)據(jù)；

43、獲得待測(cè)樣品的測(cè)量區(qū)域的測(cè)量光譜數(shù)據(jù)；

44、根據(jù)測(cè)量光譜數(shù)據(jù)及理論光譜數(shù)據(jù)庫(kù)確定待測(cè)樣品的測(cè)量區(qū)域的形貌參數(shù)。

45、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本公開具有如下的有益效果：

46、通過本公開提供的技術(shù)方案，能夠在獲取收斂級(jí)次對(duì)集合的情況下，通過獲取每個(gè)收斂級(jí)次對(duì)對(duì)應(yīng)的靈敏度，并根據(jù)靈敏度對(duì)于收斂級(jí)次對(duì)集合進(jìn)行篩選以獲得優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合，其中靈敏度表征了級(jí)次對(duì)的傅里葉系數(shù)的改變量(即微擾值)對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的改變量的影響，靈敏度的數(shù)值越小，說明對(duì)應(yīng)級(jí)次對(duì)的傅里葉系數(shù)的改變量對(duì)于理論光譜數(shù)據(jù)的影響越小，對(duì)應(yīng)級(jí)次對(duì)在理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算過程中越不可或缺。由于優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合中的級(jí)次對(duì)個(gè)數(shù)相較收斂級(jí)次對(duì)集合中的級(jí)次對(duì)個(gè)數(shù)更少，根據(jù)優(yōu)化級(jí)次對(duì)集合應(yīng)用rcwa算法進(jìn)行理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算，能夠提高理論光譜數(shù)據(jù)的計(jì)算效率。