本技術(shù)涉及加工誤差建模領(lǐng)域，特別是涉及一種巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法、裝置和電子設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、min/microled顯示技術(shù)通過(guò)使用微小的led作為背光源，實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度和高亮度顯示，廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦、電視以及其他電子顯示設(shè)備。傳統(tǒng)的min/microled芯片制造過(guò)程中，芯片的精確轉(zhuǎn)移至載體基板是一個(gè)關(guān)鍵步驟，但此過(guò)程的效率和準(zhǔn)確性常受到設(shè)備性能的限制。隨著市場(chǎng)對(duì)高質(zhì)量顯示產(chǎn)品的需求不斷提高，高速巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備應(yīng)運(yùn)而生，旨在大幅提高生產(chǎn)效率和降低成本。

2、然而，在高速巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的運(yùn)行中，幾何誤差、運(yùn)動(dòng)誤差和熱誤差是影響設(shè)備轉(zhuǎn)移精度的關(guān)鍵因素。設(shè)備的幾何誤差是指由于其構(gòu)造、制造或組裝不完美而產(chǎn)生的幾何尺寸和形狀上的偏差。直線電機(jī)的同步控制誤差導(dǎo)致設(shè)備產(chǎn)生了運(yùn)動(dòng)誤差，使實(shí)際加工位姿與理論加工位姿不一致，另外直線電機(jī)在經(jīng)歷長(zhǎng)時(shí)間的高頻運(yùn)行，產(chǎn)生了大量熱量，溫度升高導(dǎo)致龍門橫梁的熱膨脹從而發(fā)生變形，帶來(lái)設(shè)備加工的熱誤差。這些誤差綜合形成了設(shè)備的加工綜合誤差，影響設(shè)備的轉(zhuǎn)移精度。針對(duì)上述問題，建立一個(gè)綜合誤差模型顯得尤為重要。該模型旨在分析和預(yù)測(cè)在高速巨量設(shè)備在轉(zhuǎn)移過(guò)程中的誤差值，然后根據(jù)預(yù)測(cè)的誤差值實(shí)施誤差補(bǔ)償，從而有效提升設(shè)備的轉(zhuǎn)移精度。

3、針對(duì)目前還缺少針對(duì)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法的問題，目前還沒有提出有效的解決方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在本發(fā)明中提供了一種巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法、裝置和電子設(shè)備，以解決目前還缺少針對(duì)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法的問題。

2、第一個(gè)方面，在本發(fā)明中提供了一種巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法，所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備包括床體、第一龍門、第二龍門、刺晶機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)，所述第一龍門和所述第二龍門的兩端均能夠沿x方向滑動(dòng)地安裝在所述床體上，所述刺晶機(jī)構(gòu)安裝有刀具且能夠沿y方向滑動(dòng)地安裝在所述第一龍門上，所述夾持機(jī)構(gòu)用于夾持工件且能夠沿y方向滑動(dòng)地安裝在所述第二龍門上，所述第一龍門的兩端、所述第二龍門的兩端、所述刺晶機(jī)構(gòu)和所述夾持機(jī)構(gòu)由不同的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；

3、所述加工綜合誤差建模方法包括：

4、在理想情況下，建立所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣；

5、對(duì)所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備進(jìn)行運(yùn)動(dòng)分析，確定所述第一龍門沿x方向的運(yùn)動(dòng)和所述第二龍門沿x方向的運(yùn)動(dòng)均為并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，并建立所述第一龍門和所述第二龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型；

6、所述第一龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型包括：

7、

8、所述第二龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型包括：

9、

10、其中，x1表示第一龍門中點(diǎn)在x方向上的位移，x11和x12分別表示第一龍門兩端在x方向上的位移，θa表示第一龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角，x2表示第二龍門中點(diǎn)在x方向上的位移，x21和x22分別表示第一龍門兩端在x方向上的位移，θb表示第二龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角，l表示第一龍門和第二龍門的長(zhǎng)度；

11、在考慮龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角、將龍門中點(diǎn)在x方向上的位移采用龍門兩端在x方向上的位移進(jìn)行等效以及引入幾何誤差和熱誤差的情況下，建立所述刀具到所述工件的第二坐標(biāo)系變換矩陣；

12、根據(jù)所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣和第二坐標(biāo)系變換矩陣確定綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣，所述綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣e為：

13、

14、其中，為所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣，為所述刀具到所述工件的第二坐標(biāo)系變換矩陣。

15、第二個(gè)方面，在本發(fā)明中提供了一種巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工控制方法，包括：

16、通過(guò)所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣校正所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的刀具與工件之間的理想坐標(biāo)系變換矩陣，得到所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的刀具與工件之間的實(shí)際坐標(biāo)系變換矩陣，所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣通過(guò)第一個(gè)方面所述的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法得到。

17、基于所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的刀具與工件之間的實(shí)際坐標(biāo)系變換矩陣，對(duì)所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的刀具與工件進(jìn)行控制。

18、第三個(gè)方面，在本發(fā)明中提供了一種巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模裝置，所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備包括床體、第一龍門、第二龍門、刺晶機(jī)構(gòu)和夾持機(jī)構(gòu)，所述第一龍門和所述第二龍門的兩端均能夠沿x方向滑動(dòng)地安裝在所述床體上，所述刺晶機(jī)構(gòu)安裝有刀具且能夠沿y方向滑動(dòng)地安裝在所述第一龍門上，所述夾持機(jī)構(gòu)用于夾持工件且能夠沿y方向滑動(dòng)地安裝在所述第二龍門上，所述第一龍門的兩端、所述第二龍門的兩端、所述刺晶機(jī)構(gòu)和所述夾持機(jī)構(gòu)由不同的直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)；

19、所述加工綜合誤差建模裝置包括：

20、第一矩陣建立模塊，用于在理想情況下，建立所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣；

21、運(yùn)動(dòng)分析模塊，用于對(duì)所述巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備進(jìn)行運(yùn)動(dòng)分析，確定所述第一龍門沿x方向的運(yùn)動(dòng)和所述第二龍門沿x方向的運(yùn)動(dòng)均為并聯(lián)運(yùn)動(dòng)，并建立所述第一龍門和所述第二龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型；

22、所述第一龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型包括：

23、

24、所述第二龍門的并聯(lián)運(yùn)動(dòng)等效模型包括：

25、

26、其中，x1表示第一龍門中點(diǎn)在x方向上的位移，x11和x12分別表示第一龍門兩端在x方向上的位移，θa表示第一龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角，x2表示第二龍門中點(diǎn)在x方向上的位移，x21和x22分別表示第一龍門兩端在x方向上的位移，θb表示第二龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角，l表示第一龍門和第二龍門的長(zhǎng)度；

27、第二矩陣建立模塊，用于在考慮龍門繞z方向的轉(zhuǎn)角、將龍門中點(diǎn)在x方向上的位移采用龍門兩端在x方向上的位移進(jìn)行等效以及引入幾何誤差和熱誤差的情況下，建立所述刀具到所述工件的第二坐標(biāo)系變換矩陣；

28、第三矩陣建立模塊，用于根據(jù)所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣和第二坐標(biāo)系變換矩陣確定綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣，所述綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣e為：

29、

30、其中，為所述刀具到所述工件的第一坐標(biāo)系變換矩陣，為所述刀具到所述工件的第二坐標(biāo)系變換矩陣。

31、第三個(gè)方面，在本發(fā)明中提供了一種電子設(shè)備，包括存儲(chǔ)器和處理器，所述存儲(chǔ)器中存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述處理器被設(shè)置為運(yùn)行所述計(jì)算機(jī)程序以執(zhí)行第一個(gè)方面所述的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法。

32、第四個(gè)方面，在本發(fā)明中提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，所述計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)第一個(gè)方面所述的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法的步驟。

33、與相關(guān)技術(shù)相比，本發(fā)明提供的加工綜合誤差建模方法，可以建模得到巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備中的綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣的具體表達(dá)式，包括矩陣中各誤差項(xiàng)的位置以及具體構(gòu)成。由于不同巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的誤差并不相同，對(duì)于任一巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備需要測(cè)量各誤差項(xiàng)中具體涉及的誤差量，將實(shí)際測(cè)得的誤差量代入各誤差項(xiàng)中，則可以得到該巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的具體綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣。其中，加工綜合誤差建模方法充分考慮了幾何誤差、運(yùn)動(dòng)誤差和熱誤差等多個(gè)方面的誤差，進(jìn)而其得到的綜合誤差運(yùn)動(dòng)矩陣的表達(dá)式是比較準(zhǔn)確的，因此提供了一種有效地針對(duì)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法，解決了目前還缺少針對(duì)巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備的加工綜合誤差建模方法的問題。

34、本技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例的細(xì)節(jié)在以下附圖和描述中提出，以使本技術(shù)的其他特征、目的和優(yōu)點(diǎn)更加簡(jiǎn)明易懂。