1.一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s1中，微機(jī)電系統(tǒng)中微結(jié)構(gòu)材料的各向異性彈性常數(shù)包括：彈性模量在不同方向上的取值、密度、泊松比。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s1中，對(duì)模型進(jìn)行網(wǎng)格離散劃分得到若干個(gè)凸子區(qū)域，所劃分凸子區(qū)域的特征在于將計(jì)算域劃分為非重疊凸子計(jì)算域，確保邊界上兩個(gè)相鄰子區(qū)域ω(α)和ω(β)的位移和應(yīng)力的相容性，施加邊界連續(xù)性條件，保證構(gòu)造波函數(shù)的收斂：
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s2中，每個(gè)凸子區(qū)域中，用下列四組基函數(shù)展開(kāi)近似地表示域變量，這四組基函數(shù)由上標(biāo)a，b，c和d表示：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s2中，波函數(shù)為三角函數(shù)度量函數(shù)和預(yù)設(shè)未知函數(shù)的乘積，如下四類形式：
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s2中，利用加權(quán)殘差公式進(jìn)行解的參數(shù)估計(jì)得到每一刻的波場(chǎng)值，如下式：
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s3中，根據(jù)向量場(chǎng)值確定每個(gè)網(wǎng)格的計(jì)算區(qū)域，進(jìn)行分區(qū)并對(duì)分區(qū)邊界數(shù)據(jù)進(jìn)行積分計(jì)算，具體如下：
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，各向異性彈性波數(shù)值模擬系統(tǒng)中波函數(shù)的表達(dá)特征使用過(guò)程中包括對(duì)無(wú)窮項(xiàng)的基函數(shù)做截?cái)啵谟?jì)算區(qū)域內(nèi)模擬彈性波時(shí)，波函數(shù)截?cái)囗?xiàng)數(shù)k由以下公式計(jì)算得到，
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，在長(zhǎng)方形區(qū)域上的仿真系統(tǒng)代入彈性系統(tǒng)方程進(jìn)行計(jì)算，得到每一時(shí)刻彈性應(yīng)力結(jié)果與向量場(chǎng)值。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機(jī)電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法，其特征在于，步驟s4中，優(yōu)化算法包括遺傳算法、粒子群優(yōu)化算法中的一種。