具有大約15ysec以上的大的值。另外，最靠近端子的(與最短的引出配線94Dt連接的)驅(qū)動電極94D的CR時間常數(shù)最小(大約15ysec)，離端子最遠(yuǎn)的(與最長的引出配線94Dt連接的)驅(qū)動電極94D的CR時間常數(shù)最大(大約38μsec)0這樣，在比較例的觸摸面板中，CR時間常數(shù)的偏差也大。與此相對，從圖5的12Dt的結(jié)果可知，當(dāng)采用圖4所示的連接形式時，能減小驅(qū)動電極14D的CR時間常數(shù)，并且也能減小CR時間常數(shù)的偏差。因此，與比較例的觸摸面板90相比，本發(fā)明的實(shí)施方式的觸摸面板100具有如下優(yōu)點(diǎn):具有高的性能，能進(jìn)行精度高的觸摸位置檢測，和/或容易大型化。
[0085]參照圖4說明了在驅(qū)動電極14D內(nèi)的一部分，在驅(qū)動電極14D的2個不同的位置(傳感器部)設(shè)置接觸部12Dc，連接2條引出配線12Dt的構(gòu)成，但是驅(qū)動電極14D和引出配線12Dt的連接形式不限于此，能進(jìn)行各種變形。參照圖6(a)?(e)和圖7(a)及(b)對其進(jìn)行說明。
[0086]如圖6(a)示意性地所示，引出配線12Dt配置在相鄰的2個檢測電極12S之間。在此，省略驅(qū)動電極14D的圖示，關(guān)注引出配線12Dt和檢測電極12S的配置關(guān)系。
[0087]經(jīng)由引出配線12Dt提供給驅(qū)動電極14D的發(fā)送信號對與引出配線12Dt相鄰的檢測電極12S引起噪聲。該噪聲與引出配線12Dt和檢測電極12S的耦合電容值大致成比例。即，如圖6(b)所示，與形成在相鄰的2個檢測電極12S之間的引出配線12Dt與唯一的驅(qū)動電極14D連接的情況(表示“DL1”與第I驅(qū)動電極連接。)相比，如圖6(c)所示，在與2個不同的驅(qū)動電極連接的情況下(在具有與第I驅(qū)動電極連接的DLl和與第2驅(qū)動電極連接的DL2的情況下)，各自的引出配線12Dt和檢測電極12S的耦合電容值變小，因此能減小噪聲。而且，如圖6(d)所示，在與3個不同的驅(qū)動電極連接的情況下，或者如圖6(e)所示，在與6個不同的驅(qū)動電極連接的情況下，能進(jìn)一步減小噪聲。在該情況下，設(shè)置在相鄰的2個檢測電極12S之間的引出配線12Dt包含相互在電方面獨(dú)立的2個以上的引出配線12Dt。
[0088]例如，在圖6(e)中示出了在相鄰的2個檢測電極12S之間，設(shè)置有與第I驅(qū)動電極連接的引出配線DLl、與第2驅(qū)動電極連接的引出配線DL2、與第3驅(qū)動電極連接的引出配線DL3、與第4驅(qū)動電極連接的引出配線DL4、與第5驅(qū)動電極連接的引出配線DL5、與第6驅(qū)動電極連接的引出配線DL6的例子。配置在相鄰的檢測電極12S之間的6條引出配線DLl?DL6例如如后面的圖27所示設(shè)置在4個不同的位置(相鄰的檢測電極12S間)，在多個不同的位置(傳感器部1S或者驅(qū)動單位電極14Da、14Db)，在接觸部12Dc與多個對應(yīng)的驅(qū)動電極14D連接。例如，在圖27所示的例子中，第I驅(qū)動電極14D在4個不同的位置經(jīng)由接觸部12Dc與4個引出配線DLl連接。
[0089]當(dāng)然，也可以構(gòu)成為將6條引出配線DLl?DL6的組設(shè)置在6個不同的位置，第I驅(qū)動電極14D在6個不同的位置與6個引出配線DLl連接。配置在相鄰的檢測電極12S之間的引出配線的數(shù)量和組合不限于上述例子，如上所述，各驅(qū)動電極能進(jìn)行各種設(shè)計，以使CR時間常數(shù)較小，并且使CR時間常數(shù)的偏差也較小。
[0090]提供給多個驅(qū)動電極14D的發(fā)送信號例如以I行I行地(按每I個驅(qū)動電極14D)選擇的方式提供給排列成矩陣狀的傳感器部10S。這種驅(qū)動方法稱為依次驅(qū)動法(或順次驅(qū)動法)。在依次驅(qū)動法中，例如，從在I個位置(I個傳感器部10S)與第I驅(qū)動電極14D連接的引出配線DLl提供的發(fā)送信號如圖7(a)示意性地所示，在掃描傳感器陣列區(qū)域1A的整體的期間僅I次成為高電平狀態(tài)(電壓的絕對值大的狀態(tài))。此外，在此為了簡單，示出了對各行施加I個脈沖，但是也可以對各行施加多個脈沖。
[0091]如圖6(e)所示，當(dāng)采用在相鄰的2個檢測電極12S之間配置6條引出配線DLl?DL6的構(gòu)成時，如圖7(b)所示，提供給與不同的驅(qū)動電極14D連接的6條引出配線DLl?DL6的發(fā)送信號在不同的時刻成為高電平狀態(tài)。即，當(dāng)6條引出配線DLl?DL6內(nèi)的I條成為高電平狀態(tài)時，其它5條成為低電平狀態(tài)，因此與這6條引出配線DLl?DL6相鄰的檢測電極12S中產(chǎn)生的由電容耦合引起的噪聲變小。6條引出配線DLl?DL6分別包括I條細(xì)線的圖7(b)的情況下檢測電極12S中產(chǎn)生的噪聲與由6條細(xì)線構(gòu)成I條引出配線DLl的圖7(a)的情況相比為大致1/6。這樣，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，能減小CR時間常數(shù)，并且也能減小CR時間常數(shù)的偏差，而且能降低噪聲。
[0092]在參照圖7(a)和(b)說明的依次驅(qū)動法中，示出了在掃描傳感器陣列區(qū)域1A整體的期間，提供給驅(qū)動電極14D的發(fā)送信號對各驅(qū)動電極14D僅I次成為高電平狀態(tài)(電壓的絕對值大的狀態(tài))的例子，但是檢測方法不限于此。
[0093]例如，如圖8(a)和(b)所示，提供給分別與相互不同的驅(qū)動電極14D連接的6條引出配線DLl?DL6的發(fā)送信號多次(例如4次)在相同時刻成為高電平狀態(tài)。這種驅(qū)動方法稱為并列驅(qū)動法，例如，公開于本申請人的特開2012-118957號公報中。為了參考，將特開2012-118957號公報的公開內(nèi)容全部引用到本說明書中。在并列驅(qū)動法中，基于與參照圖7(a)和(b)說明的理由相同的理由，與圖8(a)所示由6條細(xì)線構(gòu)成I條引出配線DLl的情況相比，在如圖8(b)所示6條引出配線DLl?DL6分別包括I條細(xì)線的情況下，檢測電極12S中產(chǎn)生的噪聲變小。而且，在并列驅(qū)動法中，如圖8(b)所示，能由正極性和負(fù)極性的脈沖形成多次高電平狀態(tài)。通過將正極性和負(fù)極性的脈沖提供給6條引出配線DLl?DL6，通過電容耦合產(chǎn)生的噪聲彼此能抵消，能進(jìn)一步降低與這6條引出配線DLl?DL6相鄰的檢測電極12S中產(chǎn)生的噪聲。
[0094]在圖1所示的觸摸面板100中，如上所述，檢測電極12S和驅(qū)動電極14D的端子均設(shè)置在傳感器陣列區(qū)域1A的下側(cè)的邊的附近，并且，連接驅(qū)動電極14D和其端子部的引出配線12Dt不穿過傳感器陣列區(qū)域1A的左右的區(qū)域。因此，如圖9(a)所示，能將驅(qū)動電極14D—直配置到透明基板101的左側(cè)端邊(與第I方向平行)。典型地，能以與透明基板101的左側(cè)端邊大致一致的方式配置驅(qū)動電極14的左側(cè)端邊。當(dāng)然，能以與透明基板101的右側(cè)端邊大致一致的方式配置驅(qū)動電極14的右側(cè)端邊。
[0095]另一方面，在比較例的觸摸面板90中，如圖9(b)所示，在驅(qū)動電極94D的左側(cè)端邊和透明基板91的左側(cè)端邊之間，需要用于配置引出配線94Dt的區(qū)域。
[0096]比較圖9(a)和圖9(b)可知，當(dāng)采用觸摸面板100的構(gòu)成時，能將觸摸面板100配置在透明基板101的左右的端邊的極限附近，因此在左右的端邊附近不形成不感區(qū)域，能適用于邊框區(qū)域窄的顯示面板(例如TFT型IXD顯示面板)。
[0097]接著，參照圖10說明檢測電極12S、驅(qū)動電極14D、檢測配線12St以及引出配線12Dt的圖案。投影型靜電電容方式的觸摸面板的這些電極的圖案是已知的，能將各種電極圖案應(yīng)用于本發(fā)明的實(shí)施方式的觸摸面板100。
[0098]能使用圖10(a)所示的多個直線狀延伸的細(xì)線、圖10(b)所示的多個彎曲的細(xì)線或者圖10(c)所示的具有分支的多個直線狀延伸的細(xì)線來構(gòu)成上述電極。而且，能使用圖10(d)?(g)所示的各種圖案的網(wǎng)狀電極。能使用圖10(d)所示的長方形的網(wǎng)狀電極、圖10(e)所示的菱角形的網(wǎng)狀電極、圖10(f)所示的細(xì)密填充有五角形的網(wǎng)狀電極或者圖10(g)所示的細(xì)密填充有六角形的網(wǎng)狀電極。另外，也能將它們適當(dāng)組合起來。
[0099]此外，能分別根據(jù)檢測電極12S、驅(qū)動電極14D、檢測配線12St以及引出配線12Dt來適當(dāng)調(diào)整電極的寬度、細(xì)線的寬度。例如，如圖6(c)至(e)所示，在相鄰的2個檢測電極12S之間設(shè)置2個以上的引出配線12Dt的情況下，需要使各個引出配線12Dt在電方面獨(dú)立，因此在圖10(d)?(g)所示的形式中，只要分割為需要的條數(shù)即可。
[0100]圖11表示本發(fā)明的實(shí)施方式的另一觸摸面板10a的檢測電極12S、驅(qū)動電極14D以及引出配線12Dt的圖案的一例。檢測電極12S在各列中通過細(xì)線相互連接，驅(qū)動電極14D在各行中通過細(xì)線相互連接。以檢測電極12S和驅(qū)動電極14D交叉的點(diǎn)為中心形成傳感器部10S。另外，引出配線12Dt可以是相互在電方面獨(dú)立的2條配線，也可以相互電連接。在相互獨(dú)立的配線的情況下，能與相互不同的驅(qū)動電極14D電連接。
[0101]上述實(shí)施方式和與上述實(shí)施方式在電方面等價的結(jié)構(gòu)能通過各種層疊結(jié)構(gòu)形成。以下，參照圖12?15說明層疊結(jié)構(gòu)的具體例。
[0102]圖12(a)所示的層疊結(jié)構(gòu)(有時稱為類型A。)具有透明基板101、形成在透明基板101上的第I導(dǎo)電層12、形成在第I導(dǎo)電層12上的層間絕緣層22、形成在層間絕緣層22上的第2導(dǎo)電層14以及形成在第2導(dǎo)電層14上的絕緣層24。在形成層疊結(jié)構(gòu)的工藝中，將第I導(dǎo)電層
12、層間絕緣層22、第2導(dǎo)電層14以及絕緣層(絕緣保護(hù)層)24按該順序形成在透明基板101上，在此，以透明基板101為基準(zhǔn)表現(xiàn)為“上”。此外，在圖12(a)?(c)中，將透明基板101圖示在上側(cè)是因?yàn)橐允褂谜哂檬种傅冉佑|的一側(cè)為上。
[0103]另外，本發(fā)明的實(shí)施方式的觸摸面板不僅能作為外置型使用，還能作為內(nèi)置型使用。例如，在與液晶顯示單元一體化使用的情況下，通過將透明基板101設(shè)為液晶顯示單元的相對基板，能得到內(nèi)置型的觸摸面板。在該情況下，當(dāng)在絕緣層24的下側(cè)配置蓋玻璃，透明基板101作為液晶顯示單元的相對基板配置時，為單元上型。另一方面，當(dāng)以在絕緣層24的下側(cè)不配置相對基板，觸摸面板的透明基板101兼作液晶顯示單元的相對基板的方式構(gòu)成時，為單元內(nèi)型。在單元內(nèi)型中，例如，在絕緣層24的下側(cè)形成彩色濾光片層(未圖示)。另外，液晶顯示單元在縱電場模式(施加與液晶層的層面正交的方向的電場的模式，例如，垂直取向模式(VA模式))、TN模式的情況下，在絕緣層24的下側(cè)(在具有彩色濾光片層的情況下在彩色濾光片層的下側(cè))形成相對電極(共用電極)(例如參照圖14)。與此相對，在橫電場模式(例如，IPS模式、FFS模式)的液晶顯示單元中，相對電極形成在與像素電極相同的TFT基板上，因此不需要在相對基板上形成相對電極。
[0104]透明基板101例如是玻璃基板等透明的無機(jī)基板或透明的塑料基板。塑料基板包含例如PET膜等塑料膜。在圖12(a)?(c)中，為了簡單而示意性地示出了層疊結(jié)構(gòu)，但是第I導(dǎo)電層12、第2導(dǎo)電層14如圖1所示分別被圖案化，第I導(dǎo)電膜12如上所述包含多個檢測電極12S和