引出配線12Dt，典型地由具有導(dǎo)電性的金屬膜(例如，鋁膜或銅膜，厚度為0.05μπι?
0.5μπι)形成。第2導(dǎo)電層14包含多個驅(qū)動電極14D，典型地由具有導(dǎo)電性的金屬膜(例如，招膜或銅膜，厚度為0.05μηι?0.5μηι)形成。
[0105]優(yōu)選地，檢測電極12S和驅(qū)動電極14D如上所述透射率均為80%以上，因此，有時包括細(xì)線。當(dāng)檢測電極12S和/或驅(qū)動電極14D僅由細(xì)線構(gòu)成時，用手指觸摸時的電容值的變化與膜狀的電極相比變小，因此有時檢測的信號變?nèi)?。為了避免該問題，如圖12(b)所示，可以以與第I導(dǎo)電層12接觸的方式至少部分地形成透明導(dǎo)電層13(有時稱為類型B)。即，可以采用還具有形成在第I導(dǎo)電層12和層間絕緣層22之間的透明導(dǎo)電層13的層疊結(jié)構(gòu)?；蛘?，如圖12(c)所示，可以以與第2導(dǎo)電層14接觸的方式至少部分地形成透明導(dǎo)電層13(有時稱為類型C)。即，可以采用還具有形成在第2導(dǎo)電層14和層間絕緣層22之間的透明導(dǎo)電層13的層疊結(jié)構(gòu)。而且，透明導(dǎo)電層13與第I導(dǎo)電層12的層疊順序以及透明導(dǎo)電層13與第2導(dǎo)電層14的層疊順序可以相反。將使類型B的透明導(dǎo)電層13與第I導(dǎo)電層12的層疊順序相反后的類型稱為類型B’，將使類型C的透明導(dǎo)電層13與第2導(dǎo)電層14的層疊順序相反后的類型稱為類型C，。
[0106]透明導(dǎo)電層13能使用公知的透明導(dǎo)電材料(例如，ΙΤ0、氧化銦鋅(ΙΖ0(注冊商標(biāo)))形成。這些膜的厚度例如為0.05μηι?0.5μηι。
[0107]圖12(a)的層間絕緣層22具有未圖示的接觸孔。圖1所示的接觸部12Dc是在層間絕緣層22具有的接觸孔內(nèi)通過將驅(qū)動電極14D與引出配線12Dt連接而形成的。層間絕緣層22例如使用二氧化硅膜、有機(jī)絕緣膜形成，厚度例如為0.05μπι?5μπι。接觸孔通過公知的光刻工藝形成。
[0108]如圖13所示，可以將具有導(dǎo)電區(qū)域32a和非導(dǎo)電區(qū)域32b的高分子層32設(shè)置在第I導(dǎo)電層12和第2導(dǎo)電層14之間(有時稱為類型D)。通過形成高分子層32來代替圖12(a)的層間絕緣層22，能省略用于形成接觸孔的工序。形成高分子層32的材料例如能使用PED0T:PSS的水溶液(例如，“Clev1s”(注冊商標(biāo)))。使用PED0T:PSS的水溶液(高分子成分的含有率為大約0.5質(zhì)量％)形成的高分子層32具有高的導(dǎo)電性和高的透明性，通過光照射使導(dǎo)電性消失(去活性化)。例如，能得到表面電阻為0.1?100Ω/□的導(dǎo)電區(qū)域32a和表面電阻為IM Ω /□以上的非導(dǎo)電區(qū)域32b。因此，如圖13所示的高分子層32所示，具有導(dǎo)電區(qū)域32a和非導(dǎo)電區(qū)域32b的高分子層32能通過光刻工藝形成。高分子層32的非導(dǎo)電區(qū)域32b作為圖12(a)的層間絕緣層22發(fā)揮功能，高分子層32的導(dǎo)電區(qū)域32a作為接觸孔(或者接觸部)發(fā)揮功能。即，高分子層32在非導(dǎo)電區(qū)域32b與檢測電極12S接觸，在導(dǎo)電區(qū)域32a與驅(qū)動電極14D接觸。此外，在此，例示了在圖12(a)所示的層疊結(jié)構(gòu)(類型A)中，設(shè)置高分子層32來代替層間絕緣層22的層疊結(jié)構(gòu)，但是當(dāng)然在具有圖12(b)和圖12(c)所示的透明導(dǎo)電層13的層疊結(jié)構(gòu)(類型B和C)中，也可以設(shè)置高分子層32來代替層間絕緣層22。
[0109]在圖12所示的類型A?C和圖13所示的類型D的層疊結(jié)構(gòu)中，如果將透明基板101兼作液晶顯示單元的相對基板，則能構(gòu)成單元內(nèi)型的觸摸面板。此時，液晶顯示單元不限于相對基板不具有相對電極的橫電場模式。為了使用相對基板具有相對電極的縱電場模式的液晶顯示單元構(gòu)成單元內(nèi)型的觸摸面板，如圖14(a)?(d)所示，只要在類型A、B、C以及D的層疊結(jié)構(gòu)的絕緣層24的下側(cè)設(shè)置相對電極(透明電極)42即可。將它們分別稱為類型A2、B2、C2以及D2。當(dāng)然，如參照圖13說明的那樣，在類型B和C的層疊結(jié)構(gòu)中，即使是設(shè)置高分子層32來代替層間絕緣層22的構(gòu)成，也只要在絕緣層24的下側(cè)設(shè)置相對電極(透明電極)42即可。此外，絕緣層24例如使用二氧化硅膜、有機(jī)絕緣膜形成，厚度例如為0.05μπι?5μπι。
[0110]而且，使用縱電場模式的液晶顯示單元的觸摸面板如圖15(a)和(b)所示可以構(gòu)成為具有第2導(dǎo)電層14和相對電極(透明電極)42直接接觸的部分，即不具有上述絕緣層24。如圖15(a)所示，可以在形成于層間絕緣層22上的第2導(dǎo)電層14上形成相對電極42(類型A3)，如圖15(b)所示，也可以在形成于層間絕緣層22上的相對電極42上形成第2導(dǎo)電層14(類型A4)。此時，第2導(dǎo)電層14和相對電極42被圖案化。后面詳細(xì)描述圖案(參照圖23A和圖23B)。
[0111]接著，參照圖16?圖23B說明本發(fā)明的實施方式的觸摸面板的具體的構(gòu)成的例子，即，檢測電極12S、驅(qū)動電極14D以及引出配線12Dt的配置和連接關(guān)系的例子。在此，說明具有透明導(dǎo)電層13的例子(類型B和類型C’)以及具有具備導(dǎo)電區(qū)域32a和非導(dǎo)電區(qū)域32b的高分子層32的例子(類型D)。此外，以下的圖中示出的檢測電極12S、驅(qū)動電極14D以及引出配線12Dt的條數(shù)僅僅是例子，不限于例示的條數(shù)。另外，檢測電極12S和驅(qū)動電極14D例如具有包括細(xì)線的網(wǎng)結(jié)構(gòu)，但是省略圖示。
[0112]圖16(a)和(b)表示本發(fā)明的實施方式的觸摸面板10A的示意性結(jié)構(gòu)。圖16 (a)是觸摸面板10A的示意性俯視圖，圖16 (b)是沿著圖16 (a)的16B-16B ’線的示意性截面圖。圖16(c)和(d)是將觸摸面板100A改變后的觸摸面板100A1和100A2的示意性截面圖，與圖16(b)的截面圖對應(yīng)。觸摸面板100A、100A1、100A2均具有類型B的層疊結(jié)構(gòu)。
[0113]如圖16(a)示意性地所示，觸摸面板100A具有多個檢測電極12S以及在與多個檢測電極12S交叉的方向上延伸的多個驅(qū)動電極14D。以檢測電極12S和驅(qū)動電極14D交叉的點為中心形成有傳感器部10S。觸摸面板100A還具有與檢測電極12S平行地延伸的多個引出配線12Dt，引出配線12Dt在接觸部12Dc與驅(qū)動電極14D連接。
[0114]如圖16(b)所示，檢測電極12S和引出配線12Dt由形成在透明基板(未圖示)上的同一導(dǎo)電膜形成。即，檢測電極12S和引出配線12Dt構(gòu)成第I導(dǎo)電層12(參照圖12(b))。形成在第I導(dǎo)電層12上的透明導(dǎo)電層13具有:透明導(dǎo)電部13S，其與檢測電極12S重疊；以及透明導(dǎo)電部13D，其形成在檢測電極12S和引出配線12Dt之間的區(qū)域，與驅(qū)動電極14D連接。透明導(dǎo)電部13D在形成于在透明導(dǎo)電層13上形成的層間絕緣膜22的接觸孔內(nèi)與驅(qū)動電極14D連接，形成接觸部13Dc。驅(qū)動電極14D由絕緣層24覆蓋。這樣，通過使透明導(dǎo)電部13S與檢測電極12S重疊地形成，使透明導(dǎo)電部13D與驅(qū)動電極14D重疊地形成，能減小由細(xì)線形成的檢測電極12S和驅(qū)動電極14D的電阻，能使由手指觸摸時的電容值的變化增大，能增大檢測信號的強(qiáng)度。在觸摸面板100A中，特別是，各個檢測電極12S(圖16(a)中的3條為一組)的整體由透明導(dǎo)電部13S覆蓋，因此能降低檢測電極12S的電阻，并且能使由手指觸摸時的電容值的變化增大的效果較大。
[0115]如圖16(c)所示的觸摸面板100A1那樣，可以僅形成與檢測電極12S重疊的透明導(dǎo)電部13S，而省略與驅(qū)動電極14D連接的透明導(dǎo)電部13D，也可以如圖16(d)所示的觸摸面板100A2那樣，僅形成與驅(qū)動電極14D連接的透明導(dǎo)電部13D，而省略與檢測電極12S重疊的透明導(dǎo)電部13S。
[0116]圖17(a)和(b)表示本發(fā)明的實施方式的觸摸面板100B的示意性結(jié)構(gòu)。圖17(a)是觸摸面板10B的示意性俯視圖，圖17 (b)是沿著圖17 (a)的17B-17B ’線的示意性截面圖。觸摸面板100B具有類型C’的層疊結(jié)構(gòu)。即，圖12(c)所示的類型C的層疊結(jié)構(gòu)的透明導(dǎo)電層13與第2導(dǎo)電層14的層疊順序(上下關(guān)系)是相反的。
[0117]如觸摸面板100B那樣，可以形成覆蓋各個驅(qū)動電極(圖中2條為一組)14D的整體的透明導(dǎo)電部13D，不形成與檢測電極12S連接的透明導(dǎo)電部。各驅(qū)動電極14D在形成于層間絕緣層22的接觸孔內(nèi)與2條為一組的引出配線12Dt連接，形成接觸部12Dc。
[0118]圖18(a)?(C)表示本發(fā)明的實施方式的觸摸面板100C的示意性結(jié)構(gòu)。圖18(a)是觸摸面板10C的示意性俯視圖，圖18 (b)是沿著圖18 (a)的18B-18B ’線的示意性截面圖，圖18(c)是沿著圖18(a)的18C-18C’線的示意性截面圖。觸摸面板100C也具有類型C’的層疊結(jié)構(gòu)。
[0119]觸摸面板10C的透明導(dǎo)電層13具有:透明電極部13D，其以與驅(qū)動電極14D直接接觸的方式形成；以及透明電極部13S，其以直接接觸在以使3條為一組的檢測電極12S相互連接的方式形成的連接電極14S上的方式形成。連接電極14S包含于與驅(qū)動電極14D相同的第2導(dǎo)電層14中。通過由連接電極14S使3條配線相互連接而形成I個檢測電極12S，并且形成覆蓋連接電極14S的透明電極部13S，能降低檢測電極12S的電阻。透明電極部13D使驅(qū)動電極14D的電阻降低，使由手指觸摸時的電容值的變化增大。
[0120]接著，參照圖19?圖23B說明具有類型D的層疊結(jié)構(gòu)的實施方式的觸摸面板100D?100F的結(jié)構(gòu)。類型D的層疊結(jié)構(gòu)如圖13所示在第I導(dǎo)電層12和第2導(dǎo)電層14之間具有高分子層32，高分子層32具有導(dǎo)電區(qū)域32a和非導(dǎo)電區(qū)域32b。
[0121]圖19(a)和(b)表示本發(fā)明的實施方式的觸摸面板10D的示意性結(jié)構(gòu)。圖19 (a)是觸摸面板10D的示意性俯視圖，圖19 (b)是沿著圖19 (a)的19B-19B ’線的示意性截面圖。
[0122]觸摸面板100D在檢測電極12S及引出配線12Dt(第I導(dǎo)電層12)與驅(qū)動電極14D(第2導(dǎo)電層14)之間具有高分子層32。在觸摸面板100D中，高分子層32的導(dǎo)電區(qū)域32a僅選擇性地形成于覆蓋引出配線12Dt的部分，在其它區(qū)域形成有非導(dǎo)電區(qū)域32b。高分子層32的導(dǎo)電區(qū)域32a與引出配線12Dt及驅(qū)動電極14D接觸，將它們電連接。即，高分子層32的導(dǎo)電區(qū)域32a形成引出配線12Dt和驅(qū)動電極14D之間的接觸部，高分子層32的非導(dǎo)電區(qū)域32b作為檢測電極12S和驅(qū)動電極14D之間的層間絕緣層發(fā)揮功能。
[0123]圖20(a)和(b)表示本發(fā)明的實施方式的觸摸面板100E的示意性結(jié)構(gòu)。圖20(a)是觸摸面板100E的示意性俯視圖，圖20(b)是沿著圖20(a)的20B-20B’線的示意性截面圖。
[0124]觸摸面板100E的高分子層32不僅在應(yīng)該電連接的引出配線12Dt和驅(qū)動電極14D之間