技術總結
本發(fā)明提供一種驗收測試裝置及一次性可編程器件的驗收測試方法中，采用了具有擦除區(qū)的驗收測試裝置，所述擦除區(qū)能夠對經(jīng)測試臺測試后的待測晶圓進行紫外擦除，如此就不需要將晶圓搬運到專門的紫外區(qū)域，從而提高大大的提高了工作效率，也避免了由于搬運而可能導致的雜質(zhì)產(chǎn)生這一問題，間接的提高了良率。

技術研發(fā)人員：奚凱華
受保護的技術使用者：上海華虹宏力半導體制造有限公司
文檔號碼：201310321124
技術研發(fā)日：2013.07.26
技術公布日：2017.03.08