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壓電裝置以及壓電裝置的制造方法與流程

文檔序號:12556699閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明提供一種壓電裝置以及壓電裝置的制造方法,壓電裝置具有:壓電振動片,包含形成激振電極的振動部及引出電極;基礎板,在一個主面上載置壓電振動片且形成有電性連接于引出電極的連接電極,在另一個主面上形成有安裝端子;以及蓋板。安裝端子的至少一部分包括:第1金屬膜,通過濺鍍或者真空蒸鍍而層疊多個金屬層;第2金屬膜,層疊與第1金屬膜同樣的多個金屬層,且以覆蓋第1金屬膜的方式形成,或者形成于第1金屬膜的表面的一部分上,且第2金屬膜的面積不同于第1金屬膜;以及無電解鍍敷膜,至少在第2金屬膜的表面通過無電解鍍敷而形成。本發(fā)明的壓電裝置以及壓電裝置的制造方法,能夠防止通過無電解鍍敷而形成的電極的剝離。

技術研發(fā)人員:早坂太一;水澤周一
受保護的技術使用者:日本電波工業(yè)株式會社
文檔號碼:201310081559
技術研發(fā)日:2013.03.14
技術公布日:2017.06.09

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