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將半導(dǎo)體芯片從箔拆下的方法與流程

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將半導(dǎo)體芯片從箔拆下的方法與流程

技術(shù)特征:
1.借助于芯片夾具(16)和管芯排出器(1)將半導(dǎo)體芯片(5)從箔(4)拆下的方法,其中所述管芯排出器(1)包括具有直線(xiàn)支承邊緣的內(nèi)板(8A)和具有L型支承邊緣的外板(8B、8C),所述內(nèi)板和外板(8A、8B、8C)突出到蓋板(3)的中心孔中,并且其中位于初始位置的所述板(8A、8B、8C)的所述支承邊緣(19)形成所述箔(4)擱置在其上的支承平面,所述方法包括以下步驟:A)提升所述板(8A、8B、8C),使得所述板(8A、8B、8C)的所述支承邊緣(19)占據(jù)所述蓋板(3)的表面(12)上方的高度H1;B)降低最外部的一對(duì)外板(8C);C)至少提升還未被降低的所述板,使得還沒(méi)有被降低的所述板的所述支承邊緣(19)占據(jù)所述蓋板(3)的所述表面(12)上方的高度H2>H1;D)按照特定的順序,交錯(cuò)降低還未被降低的板,并且至少一個(gè)或多個(gè)板(8A)未被降低;E)將所述芯片夾具(16)定位在所述半導(dǎo)體芯片(5)上方;F)在降低最后三個(gè)板之前,降低所述芯片夾具(16)使其與所述半導(dǎo)體芯片(5)接觸;G)降低還未被降低的板直到所有的板(8A)都被降低;其中步驟A至D按上面列出的順序并且在步驟F和G之前執(zhí)行。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其中兩個(gè)另外的外板被布置以形成第二對(duì)第二外部的板(8B),所述方法進(jìn)一步包括:在步驟B之后,降低第二對(duì)外板(8B)。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法,進(jìn)一步包括:在步驟D之后,至少...
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