技術(shù)特征：
1.一種檢測刻蝕殘留的方法，其特征在于，包括：獲取待檢測處的圖案，包括：采用膜層色差擬合出所述待檢測處的圖案的邊界，并對所述待檢測處的圖案進行定位；對所述待檢測處的圖案進行紅外光譜測試，得到紅外光譜圖；根據(jù)所述紅外光譜圖，判斷是否存在殘留物質(zhì)；所述對所述待檢測處的圖案進行紅外光譜測試包括：采用傅里葉變換紅外光譜儀對所述待檢測處的圖案進行紅外光譜測試；所述對所述待檢測處的圖案進行紅外光譜測試，得到紅外光譜圖之前，獲取所述待檢測處的圖案之后，所述方法還包括：通過設(shè)置與所述待檢測處的圖案對應(yīng)的光闌，將所述傅里葉變換紅外光譜儀的入射光限定在所述待檢測處；所述光闌的透光部分的形狀與所述待檢測處的圖案的形狀相同，且面積小于等于所述待檢測...