本發(fā)明涉及半導(dǎo)體檢測及控制
技術(shù)領(lǐng)域：
：，尤其涉及半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法及系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：：光罩又稱為光掩模版、掩膜版，英文名稱MASK或PHOTOMASK。通常在光罩的基板上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設(shè)計(jì)好的電路圖形通過電子激光設(shè)備曝光在感光膠上,被曝光的區(qū)域會(huì)被顯影出來，在金屬鉻上形成電路圖形，成為類似曝光后的底片的光掩模版，然后應(yīng)用于對集成電路進(jìn)行投影定位，通過集成電路光刻機(jī)對所投影的電路進(jìn)行光蝕刻。而蘇打材質(zhì)光罩因?yàn)椴馁|(zhì)問題容易發(fā)霧，且隨保存時(shí)間會(huì)逐漸惡化，所以需要加強(qiáng)對其品質(zhì)監(jiān)控。雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體(Double-diffusedMOSFET，DMOS)光罩因?yàn)樾酒瑔卧^少，一旦出現(xiàn)版缺陷對良率影響很大或?qū)е麓笈糠倒?，所以需要加?qiáng)對版缺陷監(jiān)控。半導(dǎo)體工藝原材料光罩霧化檢測及控制，因?yàn)樘K打材質(zhì)光罩材質(zhì)問題容易發(fā)霧，且隨保存時(shí)間會(huì)逐漸惡化，若不對其進(jìn)行監(jiān)控，則存在以下幾方面缺陷：原材料蘇打材質(zhì)光罩放置久了發(fā)霧而沒有得到及時(shí)的監(jiān)控,投入生產(chǎn)會(huì)嚴(yán)重影響質(zhì)量；不能智能識別這類型光罩材質(zhì)多久沒有生產(chǎn)；返工率高。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：針對現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法及系統(tǒng)，能夠追溯光罩的閑置時(shí)間，對所述光罩進(jìn)行監(jiān)控，降低返工率，并進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。第一方面，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法，所述方法包括：識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，并獲取所識別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間；根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型，判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間；若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，并中斷派工作業(yè)。優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。優(yōu)選地，所述識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，包括：根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識或產(chǎn)品標(biāo)識，判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。優(yōu)選地，所述根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型，判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間，包括：若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型，則判斷所述蘇打光罩的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間；若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型，則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。優(yōu)選地，所述若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，包括：若蘇打光罩的閑置時(shí)間大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述蘇打光罩進(jìn)行霧化檢驗(yàn)的提示消息；若DMOS光罩的閑置時(shí)間大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述DMOS光罩進(jìn)行版缺陷檢驗(yàn)的提示消息。優(yōu)選地，所述若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全 時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，并中斷派工作業(yè)的步驟之后，還包括：若所述半導(dǎo)體光罩通過所述質(zhì)量檢驗(yàn)，則釋放所述半導(dǎo)體光罩。第二方面，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括：識別單元，用于識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，并獲取所識別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間；判斷單元，用于根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型，判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間；提示單元，用于當(dāng)所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間時(shí)，發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，并中斷派工作業(yè)。優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。優(yōu)選地，所述識別單元，具體用于：根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識或產(chǎn)品標(biāo)識，判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。優(yōu)選地，所述判斷單元，具體用于：若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型，則判斷所述蘇打光罩的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間；若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型，則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。由上述技術(shù)方案可知，通過本發(fā)明提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法及系統(tǒng)，能夠追溯光罩的閑置時(shí)間，實(shí)現(xiàn)對所述光罩的識別并暫停生產(chǎn)，通知用戶對光罩先行驗(yàn)證再批量生產(chǎn)，使得返工率低，并進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些圖獲得其他的附圖。圖1是本發(fā)明一實(shí)施例提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法的流程示意圖；圖2是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的光罩原材料類型標(biāo)識示意圖；圖4是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的光罩參數(shù)表的界面示意圖；圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的派工作業(yè)頁面的示意圖；圖6是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的提示用戶界面示意圖；圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的光罩檢驗(yàn)狀況示意圖；圖8是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的系統(tǒng)作業(yè)的界面示意圖；圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例提供的通過霧化檢驗(yàn)后系統(tǒng)作業(yè)示意圖。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。如圖1所示，為本發(fā)明一實(shí)施例提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法的流程示意圖，該方法包括如下步驟：S1：識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，并獲取所識別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間；S2：根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型，判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí) 間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間；S3：若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，并中斷派工作業(yè)。本實(shí)施例中，半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。本實(shí)施例中，步驟S1中所述的識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，具體包括：根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識或產(chǎn)品標(biāo)識，判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。本實(shí)施例中，步驟S2，具體包括：若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型，則判斷所述蘇打光罩的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間；若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型，則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。本實(shí)施例中，步驟S3，具體包括：若蘇打光罩的閑置時(shí)間大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述蘇打光罩進(jìn)行霧化檢驗(yàn)的提示消息；若DMOS光罩的閑置時(shí)間大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間，則發(fā)出用于提示用戶對所述DMOS光罩進(jìn)行版缺陷檢驗(yàn)的提示消息。本實(shí)施例中，步驟S3后，還包括如下步驟：若所述半導(dǎo)體光罩通過所述質(zhì)量檢驗(yàn)，則釋放所述半導(dǎo)體光罩。本實(shí)施例提供了一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制方法，能夠追溯光罩的閑置時(shí)間，實(shí)現(xiàn)對所述光罩的識別并暫停生產(chǎn)，通知用戶對光罩先行驗(yàn)證再批量生產(chǎn)，使得返工率低，并進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的生產(chǎn)良率如圖2所示，為本發(fā)明另一實(shí)施例提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，所述系統(tǒng)包括識別單元201、判斷單元202及提 示單元203。其中，識別單元201，用于識別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型，并獲取所識別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間。判斷單元202，用于根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型，判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間。提示單元203，用于當(dāng)所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間時(shí)，發(fā)出用于提示用戶對所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息，并中斷派工作業(yè)。其中，所述半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。其中，識別單元201，具體用于：根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識或產(chǎn)品標(biāo)識，判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。其中，判斷單元202，具體用于：若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型，則判斷所述蘇打光罩的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間；若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型，則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。為了更為清楚地說明本發(fā)明提供的半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制系統(tǒng)，下面通過一個(gè)具體的實(shí)施例來說明半導(dǎo)體光罩霧化檢測控制系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)方法。如圖3所示，為半導(dǎo)體光罩類型的示意圖，由圖3可知，從MASK_TYP項(xiàng)可以得知半導(dǎo)體光罩的類型，若標(biāo)識為“蘇打”或“SL”，則表示光罩為蘇打光罩，若標(biāo)識為“石英”或“QZ”，則表示光罩為石英光罩。根據(jù)上述，可設(shè)置系統(tǒng)的參數(shù)如圖4所示。由圖4可知，其中，NumberofDays：表示材料安全放置時(shí)間(單位為天)；partSerialNumber：表示標(biāo)準(zhǔn)類型即不同產(chǎn)品對同一顆原材料要求放置安全時(shí)間 不一樣。ProductorType：表示該原材料產(chǎn)品引用類型即產(chǎn)品類型。ReticleType：光罩原材料類型。Reason：為備注，并用于作業(yè)提示信息。可以看出，蘇打光罩預(yù)設(shè)的安全時(shí)間為6個(gè)月，而DMOS光罩預(yù)設(shè)的安全時(shí)間為3個(gè)月。則根據(jù)上述參數(shù)，可利用數(shù)據(jù)庫軟件Oracle創(chuàng)建參數(shù)表，并從中獲取相關(guān)識別光罩材質(zhì)的數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)庫中，相關(guān)表和視圖的名稱為：V_REFERENCE_FILE、REFERENCE_FILE_DETAIL。具體創(chuàng)建程序?yàn)椋?)CREATEORREPLACEVIEWV_REFERENCE_FILEASSELECTN.INSTANCE_RRN,N.NAMED_SPACE,N.INSTANCE_IDREF_FILE_ID,D.KEY_1_VALUE,D.KEY_2_VALUE,D.DATA_1_VALUE,D.DATA_2_VALUE,D.DATA_3_VALUE,D.DATA_4_VALUE,D.DATA_5_VALUEFROMNAMED_OBJECTN,REFERENCE_FILE_DETAILDWHEREN.INSTANCE_RRN＝D.REFERENCE_FILE_RRN；2)createtableREFERENCE_FILE_DETAIL(REFERENCE_FILE_RRNNUMBER(15)notnull,KEY_1_VALUEVARCHAR2(512)notnull,KEY_2_VALUEVARCHAR2(64)notnull,DATA_1_VALUEVARCHAR2(1024),DATA_2_VALUEVARCHAR2(512),DATA_3_VALUEVARCHAR2(512),DATA_4_VALUEVARCHAR2(512),DATA_5_VALUEVARCHAR2(512))。通過上述系統(tǒng)，對生成進(jìn)行控制。如圖5所示，為開始派工作業(yè)到機(jī)臺準(zhǔn)備生產(chǎn)程序頁面。則根據(jù)該頁面，識別所述光罩的類型，光罩的閑置時(shí)間以及預(yù)設(shè)的安全時(shí)間；并根據(jù)光罩的閑置時(shí)間與安全時(shí)間，判斷是否超標(biāo)。舉例來說，若光罩為蘇打光罩，且時(shí)間超標(biāo)，則有如圖6所示的提示。若時(shí)間超標(biāo)，則光罩有可能霧化了，則系統(tǒng)將該光罩保留，如圖7所示。若不進(jìn)行霧化檢查，則不釋放該光罩，則繼續(xù)過賬有如下結(jié)果：如圖8所示，無光罩可選(如圖8中標(biāo)A處)，無原材料可用，無法繼續(xù)進(jìn)行派工作業(yè)。通過霧化檢驗(yàn)相關(guān)的檢測程序后，確認(rèn)光罩沒有質(zhì)量問題，則可以繼續(xù)生產(chǎn)，釋放該光罩，如圖9所示。以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解；其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。當(dāng)前第1頁1 2 3 當(dāng)前第1頁1 2 3