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半導(dǎo)體光罩霧化檢測(cè)控制方法及系統(tǒng)與流程

文檔序號(hào):11836213閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測(cè)控制方法,其特征在于,所述方法包括:

識(shí)別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型,并獲取所識(shí)別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間;

根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型,判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間;

若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間,則發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息,并中斷派工作業(yè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述識(shí)別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型,包括:

根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識(shí)或產(chǎn)品標(biāo)識(shí),判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法,其特征在于,所述根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型,判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間,包括:

若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型,則判斷所述蘇打光罩的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間;

若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型,則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間,則發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息,包括:

若蘇打光罩的閑置時(shí)間大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間,則發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述蘇打光罩進(jìn)行霧化檢驗(yàn)的提示消息;

若DMOS光罩的閑置時(shí)間大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間,則發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述DMOS光罩進(jìn)行版缺陷檢驗(yàn)的提示消息。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法,其特征在于,所述若所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間,則發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息,并中斷派工作業(yè)的步驟之后,還包括:

若所述半導(dǎo)體光罩通過所述質(zhì)量檢驗(yàn),則釋放所述半導(dǎo)體光罩。

7.一種半導(dǎo)體光罩霧化檢測(cè)控制系統(tǒng),其特征在于,所述系統(tǒng)包括:

識(shí)別單元,用于識(shí)別未使用的半導(dǎo)體光罩的類型,并獲取所識(shí)別的半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間;

判斷單元,用于根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的類型,判斷所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間是否大于預(yù)設(shè)的安全時(shí)間;

提示單元,用于當(dāng)所述半導(dǎo)體光罩的閑置時(shí)間大于所述預(yù)設(shè)的安全時(shí)間時(shí),發(fā)出用于提示用戶對(duì)所述半導(dǎo)體光罩進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)的提示消息,并中斷派工作業(yè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的系統(tǒng),其特征在于,所述半導(dǎo)體光罩的類型包括蘇打光罩類型、石英光罩類型和雙擴(kuò)散金屬-氧化物-半導(dǎo)體DMOS光罩類型。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,所述識(shí)別單元,具體用于:

根據(jù)所述半導(dǎo)體光罩的光罩原材料類型標(biāo)識(shí)或產(chǎn)品標(biāo)識(shí),判斷所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型或DMOS光罩類型。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng),其特征在于,所述判斷單元,具體用于:

若所述半導(dǎo)體光罩的類型為蘇打光罩類型,則判斷所述蘇打光罩 的閑置時(shí)間是否大于第一預(yù)設(shè)安全時(shí)間;

若所述半導(dǎo)體光罩的類型為DMOS光罩類型,則判斷所述DMOS光罩的閑置時(shí)間是否大于第二預(yù)設(shè)安全時(shí)間。

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