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半導(dǎo)體基板的制作方法

文檔序號:11956195閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體基板,其特征在于,包含:

一半導(dǎo)體本體,具有一第一表面與相對于該第一表面的一第二表面;

一第一緩沖層,設(shè)置于該第一表面上;

一第一非晶硅層,設(shè)置于該第一緩沖層上,摻雜有一第一型摻質(zhì);

一第二緩沖層,設(shè)置于該第二表面上;

一第二非晶硅層,設(shè)置于該第二緩沖層上,摻雜有一第二型摻質(zhì);及

一第一保護(hù)層,設(shè)置于該第一非晶硅層上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第一保護(hù)層的厚度不大于10納米。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第一保護(hù)層的厚度不大于5納米。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第一保護(hù)層的厚度介于2至3納米之間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第一保護(hù)層為本質(zhì)非晶硅層或本質(zhì)微晶硅層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或5所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第一保護(hù)層為疏水性保護(hù)層。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,更包含:

一第二保護(hù)層,設(shè)置于該第二非晶硅層上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第二保護(hù)層的厚度不大于10納米。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第二保護(hù)層的厚度不大于5納米。

10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第二保護(hù)層的厚度介于2至3納米之間。

11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第二保護(hù)層為本質(zhì)非晶硅層或本質(zhì)微晶硅層。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,當(dāng) 該第一型摻質(zhì)為P型時(shí),該第二型摻質(zhì)是為N型,而當(dāng)該第一型摻質(zhì)為N型時(shí),該第二型摻質(zhì)是為P型。

13.根據(jù)權(quán)利要求7或11所述的半導(dǎo)體基板,其特征在于,該第二保護(hù)層為疏水性保護(hù)層。

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