本發(fā)明涉及一種薄金刻蝕方法，具體是一種微波用單層電容器的薄金刻蝕方法。
背景技術(shù)：
一般傳統(tǒng)的薄金刻蝕方法為：把要制作的微波用單層電容器的陶瓷基板，先進(jìn)行清洗干凈后濺射過渡層鈦鎢和功能層金，因?yàn)R射的功能層金的厚度達(dá)不到要求，需要再經(jīng)過電鍍金，使金層達(dá)到所需要求厚度，然后進(jìn)行正掩模板或負(fù)掩模板曝光顯影、刻蝕厚金，但由于刻蝕厚金的時(shí)間為15min～20min，時(shí)間過長(zhǎng)，金層端面會(huì)有凹陷狀態(tài)，金層表面厚度也有不同程度的減薄，呈現(xiàn)過刻或刻蝕不干凈的狀態(tài)，金層表面色澤發(fā)白，刻蝕時(shí)間不好把控，刻蝕的圖形效果不好，線條有缺損，金層的厚度也有不均，有過刻或欠刻現(xiàn)象，金層表面色澤失真，合格率不高，刻蝕溶液使用周期短，利用率不高，因刻蝕液是外購成本增加。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種微波用單層電容器的薄金刻蝕方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種微波用單層電容器的薄金刻蝕方法，包括以下步驟：
(1)把要制作的微波用單層電容器的陶瓷基板，先進(jìn)行清洗干凈后濺射過渡層鈦鎢和功能層金；
(2)用CP50膠進(jìn)行勻膠，并用負(fù)掩模板曝光，顯影后不去膠；
(3)電鍍金，使金電極達(dá)到產(chǎn)品要求厚度3～4μm，再電鍍保護(hù)層到金電極表面覆蓋金層用于保護(hù)金層，保護(hù)層厚度為0.4～0.8μm；
(4)進(jìn)行刻蝕過程：丙酮去膠；刻金1～2min；刻鈦鎢1～2min；刻保護(hù)層。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：步驟(1)中所述過渡層鈦鎢為0.2～0.8μm。
作為本發(fā)明再進(jìn)一步的方案：步驟(1)中所述功能層金為0.5～1.2μm。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：刻蝕時(shí)間短，丙酮去膠，刻金1～2min，時(shí)間好控制，刻蝕效果明顯改善合格率提高，過刻或欠刻現(xiàn)象不再存在，刻蝕溶液使用周期長(zhǎng)，利用率高，降低刻蝕液的使用成本。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
本發(fā)明實(shí)施例中，一種微波用單層電容器的薄金刻蝕方法，包括以下步驟：
(1)把要制作的微波用單層電容器的陶瓷基板，先進(jìn)行清洗干凈后濺射過渡層鈦鎢和功能層金，所述過渡層鈦鎢為0.2～0.8μm，所述功能層金為0.5～1.2μm；
(2)用CP50膠進(jìn)行勻膠，并用負(fù)掩模板曝光，顯影后不去膠；
(3)電鍍金，使金電極達(dá)到產(chǎn)品要求厚度3～4μm，再電鍍保護(hù)層到金電極表面覆蓋金層用于保護(hù)金層，保護(hù)層厚度為0.4～0.8μm；
(4)進(jìn)行刻蝕過程：丙酮去膠；刻金1～2min；刻鈦鎢1～2min；刻保護(hù)層。
本發(fā)明改變傳統(tǒng)工藝的流程順序，把光刻工序中曝光、顯影、刻蝕分開來作，曝光、顯影放在濺射完成后制作，再使之產(chǎn)品達(dá)到要求厚度，就可直接進(jìn)行刻蝕圖形的效果。這樣的工藝流程減少了不合格品制作，降低了制作成本，提高了制作產(chǎn)品的品質(zhì)，提高了刻蝕液的使用率，節(jié)省了制作時(shí)間。
對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點(diǎn)來看，均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。
此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述，但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體，各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。