技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種承載裝置、反應(yīng)腔室及半導(dǎo)體加工設(shè)備，其設(shè)置在反應(yīng)腔室內(nèi)，且包括可升降的基座、與之連接的波紋管組件以及絕緣組件，該絕緣組件用于將波紋管組件與基座電絕緣。本發(fā)明提供的承載裝置，其不僅可以在保證基座不接地的前提下，簡(jiǎn)化絕緣結(jié)構(gòu)，從而可以給安裝調(diào)試帶來(lái)方便，而且還可以提高工藝過(guò)程中的可靠性和安全性。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣磊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司
文檔號(hào)碼：201510759983
技術(shù)研發(fā)日：2015.11.10
技術(shù)公布日：2017.05.17