1.一種腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于，所述腔體溫度檢測(cè)方法至少包括：
提供一測(cè)試晶圓，所述測(cè)試晶圓上均勻分布有多個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)；
對(duì)所述測(cè)試晶圓上的各測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值進(jìn)行測(cè)量，分別記為各測(cè)試結(jié)構(gòu)的前值；
將所述測(cè)試晶圓放入待測(cè)溫腔體中進(jìn)行熱處理；
熱處理結(jié)束后取出所述測(cè)試晶圓，并對(duì)各測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值進(jìn)行測(cè)量，分別記為各測(cè)試結(jié)構(gòu)的后值；
分別將各測(cè)試結(jié)構(gòu)的前值和后值相減，獲得各測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值差，若各測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值差均小于設(shè)定值，則所述待測(cè)溫腔體的整體溫度符合生產(chǎn)要求；若各測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值差均大于所述設(shè)定值，則所述待測(cè)溫腔體的整體溫度過高；若部分測(cè)試結(jié)構(gòu)的阻值差大于所述設(shè)定值，則所述待測(cè)溫腔體的局部溫度過高。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述測(cè)試晶圓包括2個(gè)金屬接觸端以及連接于2個(gè)金屬接觸端之間的金屬線。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述金屬線以蛇形圖形排列。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述金屬線的線寬設(shè)定為0.19～0.5μm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述金屬線之間的間距設(shè)定為0.19～0.5μm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述測(cè)試結(jié)構(gòu)的材質(zhì)為鋁。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述設(shè)定值不小于±5MΩ/□。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的腔體溫度檢測(cè)方法，其特征在于：所述熱處理包括熱擴(kuò)散、快速熱處理、晶圓表面水汽蒸發(fā)、熱氧化。