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半導(dǎo)體制造方法與半導(dǎo)體層與流程

文檔序號(hào):12737076閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體制造方法,其特征在于,包含:

利用一閃光燈與一第一光罩,以一第一能量照射一半導(dǎo)體層的一第一部分,使該第一部分變?yōu)橐蝗廴趹B(tài)或一半熔融態(tài);

結(jié)晶化該第一部分以形成一第一結(jié)晶部分;

利用該閃光燈、該閃光燈與該第一光罩或者該閃光燈與一第二光罩,以一第二能量照射該半導(dǎo)體層的一第二部分,使該第二部分變?yōu)樵撊廴趹B(tài)或該半熔融態(tài);以及

結(jié)晶化該第二部分以形成一第二結(jié)晶部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造方法,其特征在于,結(jié)晶化該第一部分以形成該第一結(jié)晶部分包含:

從該第一部分以外的一鄰近部分開始結(jié)晶化該第一部分,其中該第一結(jié)晶部分包含一側(cè)向結(jié)晶部分。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造方法,其特征在于,結(jié)晶化該第二部分以形成該第二結(jié)晶部分包含:

從該第二部分以外的一鄰近部分開始結(jié)晶化該第二部分,其中該第二結(jié)晶部分包含一側(cè)向結(jié)晶部分。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造方法,其特征在于,利用該閃光燈與該第一光罩,以該第二能量照射該半導(dǎo)體層的該第二部分包含:

透過該第一光罩與該半導(dǎo)體層之間的相對位置變化,利用該閃光燈以該第二能量照射該半導(dǎo)體層的該第二部分。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造方法,其特征在于,該第一結(jié)晶部分或該第二結(jié)晶部分包含一微結(jié)晶部分。

6.一種半導(dǎo)體層,其特征在于,包含:

一第一結(jié)晶部分,由一熔融態(tài)或一半熔融態(tài)的一第一部分結(jié)晶形成;以及

一第二結(jié)晶部分,由該熔融態(tài)或該半熔融態(tài)的一第二部分結(jié)晶形成;

其中該第一結(jié)晶部分相鄰或部分重疊該第二結(jié)晶部分,該第一部分是透過一閃光燈與一第一光罩以一第一能量照射而變?yōu)樵撊廴趹B(tài)或該半熔融態(tài),該第二部分是透過該閃光燈、該閃光燈與該第一光罩或者該閃光燈與一第二光罩,以一第二能量照射而變?yōu)樵撊廴趹B(tài)或該半熔融態(tài)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體層,其特征在于,該第一結(jié)晶部分包含一側(cè)向結(jié)晶部分,該側(cè)向結(jié)晶部分從該第一部分以外的一鄰近部分開始結(jié)晶形成。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體層,其特征在于,該第二結(jié)晶部分包含一側(cè)向結(jié)晶部分,該側(cè)向結(jié)晶部分從該第二部分以外的一鄰近部分開始結(jié)晶形成。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體層,其特征在于,該第二部分是透過該閃光燈以及該第一光罩與該半導(dǎo)體層之間的相對位置變化,以該第二能量照射而變?yōu)樵撊廴趹B(tài)或該半熔融態(tài)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體層,其特征在于,該第一結(jié)晶部分或該第二結(jié)晶部分包含一微結(jié)晶部分。

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