技術(shù)總結(jié)
基板溫度控制裝置與電子器件制造系統(tǒng)提供像素型光式加熱至處理腔室中的基板。處理腔室中的基板固持件可包括底板。底板具有頂表面，頂表面可具有多個空腔與連接至空腔的多個槽。光纖可接收在槽中，使得每一個空腔具有終止于空腔中的各自的光纖，以傳送光至每一個空腔。一些或所有空腔可具有設(shè)置在空腔中的環(huán)氧樹脂光學(xué)散射器，以散射由光纖所提供的光。上面可以放置基板的陶瓷板可接合至底板?？蛇x地提供散熱板于底板與陶瓷板之間。正如其它方面，還提供于電子器件制造系統(tǒng)中控制跨基板固持件的溫度。

技術(shù)研發(fā)人員：馬修·巴斯徹;小溫德爾·博伊德;托德·J·伊根;格雷戈里·L·柯克;維賈伊·D·帕克赫;邁克爾·R·賴斯;利昂·沃爾福夫斯基
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
文檔號碼：201580034345
技術(shù)研發(fā)日：2015.06.12
技術(shù)公布日：2017.03.01