技術(shù)總結(jié)
公開了用于測量襯底中的多維應(yīng)力特性的方法和系統(tǒng)?？傮w上，所述方法包括將光泵浦脈沖序列施加到襯底。光泵浦脈沖在襯底中誘導(dǎo)傳播的應(yīng)變脈沖。還施加光學(xué)探測脈沖。通過分析由傳播的應(yīng)變脈沖引起的瞬態(tài)光學(xué)響應(yīng)，可以確定表征襯底中的應(yīng)力的多維應(yīng)力分量。還可以在襯底的深度處確定多維應(yīng)力分量。還可以在鄰近硅通孔的區(qū)域處確定多維應(yīng)力分量。

技術(shù)研發(fā)人員：哈普雷·J·馬里斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者：布朗大學(xué)
文檔號碼：201580035568
技術(shù)研發(fā)日：2015.05.28
技術(shù)公布日：2017.05.31