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稀釋液制造方法以及稀釋液制造裝置與流程

文檔序號:11935491閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種稀釋液制造方法,通過對第一液體添加第二液體來制造該第二液體的稀釋液,該稀釋液制造方法包括以下步驟:

使所述第一液體在第一配管中流動;以及

對用于貯存所述第二液體的罐體內(nèi)的壓力進行控制,通過用于將所述罐體與所述第一配管連接的第二配管來將所述第二液體添加到在所述第一配管內(nèi)流動的所述第一液體,

其中,在添加所述第二液體的步驟中包括以下步驟:

測定在所述第一配管內(nèi)流動的所述第一液體的流量或所述稀釋液的流量;

測定所述稀釋液的成分濃度;以及

基于所述流量的測定值和所述成分濃度的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

在添加所述第二液體的步驟中,還包括以下步驟:使所述第二液體在所述第二配管中以層流狀態(tài)流動。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

在添加所述第二液體的步驟中,還包括以下步驟:使所述第二液體在所述第二配管中流動,所述第二配管的內(nèi)徑在超過0.1mm且4mm以下的范圍內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任一項所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

在添加所述第二液體的步驟中,還包括以下步驟:測定所述第一配管與所述第二配管之間的連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力,

在控制所述罐體內(nèi)的壓力的步驟中,包括以下步驟:基于所述流量的測定值、所述成分濃度的測定值以及所述壓力的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任一項所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

在添加所述第二液體的步驟中,還包括以下步驟:測定所述第一配管與所述第二配管之間的連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力;以及基于所述壓力的測定值來將所述連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力調(diào)整為規(guī)定值,

在控制所述罐體內(nèi)的壓力的步驟中,包括以下步驟:基于所述流量的測定值和所述成分濃度的測定值,或者基于所述流量的測定值、所述成分濃度的測定值以及所述壓力的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中的任一項所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

所述第一液體是超純水,所述第二液體是將電解質(zhì)溶解得到的水溶液。

7.根據(jù)權(quán)利要求1~5中的任一項所述的稀釋液制造方法,其特征在于,

所述第一液體是超純水,所述第二液體是氨水溶液。

8.一種稀釋液制造裝置,通過對第一液體添加第二液體來制造該第二液體的稀釋液,該稀釋液制造裝置具有:

第一配管,其用于供給所述第一液體;

罐體,其用于貯存所述第二液體;

第二配管,其用于將所述第二液體從所述罐體供給到所述第一配管內(nèi);

流量計,其測定在所述第一配管內(nèi)流動的所述第一液體的流量或所述稀釋液的流量;

測定器,其測定所述稀釋液的成分濃度;以及

控制部,其基于所述流量計的測定值和所述測定器的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,

使所述第二液體在所述第二配管內(nèi)以層流狀態(tài)流動。

10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,

所述第二配管的內(nèi)徑在超過0.1mm且4mm以下的范圍內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8~10中的任一項所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,

所述第一配管將超純水作為所述第一液體來進行供給,所述第二配管將使電解質(zhì)溶解得到的水溶液作為所述第二液體來進行供給,所述測定器測定電導(dǎo)率來作為所述稀釋液的成分濃度。

12.根據(jù)權(quán)利要求8~10中的任一項所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,

所述第一配管將超純水作為所述第一液體來進行供給,所述第二配管將氨水溶液作為所述第二液體來進行供給,所述測定器測定電導(dǎo)率來作為所述稀釋液的成分濃度。

13.根據(jù)權(quán)利要求8~12中的任一項所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,

還具有壓力計,該壓力計測定所述第一配管與所述第二配管之間的連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力,

所述控制部基于所述流量計的測定值、所述測定器的測定值以及所述壓力計的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

14.根據(jù)權(quán)利要求8~12中的任一項所述的稀釋液制造裝置,其特征在于,還具有:

壓力計,其測定所述第一配管與所述第二配管之間的連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力;以及

連結(jié)部壓力調(diào)整器,其基于所述壓力計的測定值來將所述連結(jié)部處的管內(nèi)的壓力調(diào)整為規(guī)定值,

所述控制部基于所述流量計的測定值和所述測定器的測定值,或者基于所述流量計的測定值、所述測定器的測定值以及所述壓力計的測定值,來控制所述罐體內(nèi)的壓力,使得所述稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

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