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稀釋液制造方法以及稀釋液制造裝置與流程

文檔序號:11935491閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的稀釋液制造方法通過對第一液體添加第二液體來制造該第二液體的稀釋液,該稀釋液制造方法包括以下步驟:使第一液體在第一配管(11)中流動;對用于貯存第二液體的罐體(12)內(nèi)的壓力進(jìn)行控制,通過將罐體(12)與第一配管(11)連接的第二配管(13)來將第二液體添加到第一配管(11)內(nèi)的第一液體。添加第二液體的步驟中包括以下步驟:測定第一配管(11)內(nèi)流動的第一液體的流量或稀釋液的流量;測定稀釋液的成分濃度;以及基于流量的測定值和成分濃度的測定值來控制罐體(12)內(nèi)的壓力,使得稀釋液的成分濃度為規(guī)定值。

技術(shù)研發(fā)人員:林佳史;山下幸福;山中弘次;矢野大作
受保護(hù)的技術(shù)使用者:奧加諾株式會社
文檔號碼:201580048053
技術(shù)研發(fā)日:2015.08.04
技術(shù)公布日:2017.05.17

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