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半導體裝置及其制造方法與流程

文檔序號:11452569閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結(jié)
本發(fā)明涉及半導體裝置及其制造方法,在半導體裝置(1)中,以從與存儲器柵構(gòu)造體(4a)相同結(jié)構(gòu)構(gòu)成的接觸器設置構(gòu)造體(10a)的頂部跨至第一選擇柵極(G2a)的方式設置了接觸器(C5a),因此,不存在如現(xiàn)有的升起到存儲器柵構(gòu)造體(110)頂部的升起部(102b)(圖13),相應地可縮短離上層的配線層的距離,能夠降低長徑比,從而能夠防止接觸器的阻抗增大。而且,由于不存在如現(xiàn)有的升起到存儲器柵構(gòu)造體(110)頂部的升起部(102b),相應地還能夠使接觸器設置構(gòu)造體(10a)和上層的配線層離遠,因此能夠防止與上層的配線層的接觸不良。

技術研發(fā)人員:谷口泰弘;川嶋泰彥;葛西秀男;櫻井良多郎;品川裕;奧山幸祐
受保護的技術使用者:株式會社佛羅迪亞
技術研發(fā)日:2015.10.06
技術公布日:2017.08.29
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