技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
在此提供處理配件屏蔽件和含有處理配件屏蔽件的處理腔室的實(shí)施方式。在一些實(shí)施方式中，單件式處理配件屏蔽件包括：圓柱形主體，所述圓柱形主體具有上部和下部；熱傳遞通道，所述熱傳遞通道延伸通過(guò)上部；和蓋環(huán)區(qū)段，所述蓋環(huán)區(qū)段從下部徑向向內(nèi)延伸。

技術(shù)研發(fā)人員：希蘭庫(kù)瑪·薩萬(wàn)戴亞;瑞安·漢森;如曉·安
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：2015.12.08
技術(shù)公布日：2017.08.29