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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號:11136533閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,包含:

一芯片,具有一有源面以及一相對于所述有源面的背面;

一模塑料,覆蓋并包覆所述芯片;以及

一重分布層,設(shè)于所述有源面以及所述模塑料上,其中所述重分布層是與所述芯片電連接,所述重分布層包含至少一有機(jī)介電層以及一無機(jī)介電硬掩膜層,設(shè)于所述有機(jī)介電層上,其中所述重分布層還包含一金屬結(jié)構(gòu),設(shè)于所述有機(jī)介電層以及所述無機(jī)介電硬掩膜層中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,位于所述有機(jī)介電層以及所述無機(jī)介電硬掩膜層內(nèi)的所述金屬結(jié)構(gòu)構(gòu)成所述重分布層的一第一金屬層。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,在所述無機(jī)介電硬掩膜層與所述金屬結(jié)構(gòu)上,還包括一多層介電堆疊結(jié)構(gòu),所述多層介電堆疊結(jié)構(gòu)包含交替層疊的有機(jī)介電材料及無機(jī)介電材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,于所述多層介電堆疊結(jié)構(gòu)中,具有一金屬導(dǎo)線結(jié)構(gòu)以及一金屬介層插塞結(jié)構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述金屬導(dǎo)線結(jié)構(gòu)構(gòu)成所述重分布層的一第二金屬層。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述有機(jī)介電層包含聚亞酰胺、苯并環(huán)丁烯或聚苯惡唑。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述無機(jī)介電硬掩膜層包含二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、碳化硅、磷硅玻璃、或硼磷硅玻璃。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述重分布層是通過多個凸塊與所述芯片電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,所述重分布層是通過多個銅柱與所述芯片電連接。

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