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一種基板頂起裝置、基板封裝設(shè)備及方法與流程

文檔序號(hào):12866831閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板頂起裝置、基板封裝設(shè)備及方法。所述基板頂起裝置,用于在第一基板和第二基板對(duì)合時(shí)頂起第一基板;包括:旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)桿、噴嘴、氣體提供機(jī)構(gòu);旋轉(zhuǎn)桿能夠圍繞旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng);噴嘴設(shè)置于旋轉(zhuǎn)桿上;氣體提供機(jī)構(gòu)通過噴嘴吹送氣體以頂起第一基板。所述基板封裝設(shè)備,用于對(duì)第一基板和第二基板進(jìn)行封裝,基板封裝裝置包括用于吸附第一基板的機(jī)臺(tái),還包括本發(fā)明任意一項(xiàng)實(shí)施例所提供的基板頂起裝置,基板頂起裝置噴嘴朝向第一基板設(shè)置。所述基板封裝方法,在第一基板和第二基板的封裝過程中使用本發(fā)明任意一項(xiàng)實(shí)施例所提供的基板封裝設(shè)備。本發(fā)明提供的基板頂起裝置、基板封裝設(shè)備及方法,能夠有效防止基板在封裝過程中因?yàn)橄蛳聫澢斐傻膯栴}。

技術(shù)研發(fā)人員:孫中元;周翔
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號(hào)碼:201610041128
技術(shù)研發(fā)日:2016.01.21
技術(shù)公布日:2017.11.07

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