技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種消色譜效應(yīng)的超高真空腔對高壓氣體采樣裝置，其特征在于，包括用于在高壓環(huán)境下采樣的獨(dú)立安裝的不銹鋼毛細(xì)管、獨(dú)立的微分泵組及與超高真空腔直接相連的真空泵組，微分泵組及真空泵組具有完全隔斷獨(dú)立的抽氣通道，微分泵組及真空泵組通過各自的抽氣通道將氣體自不銹鋼毛細(xì)管抽出，被抽出不銹鋼毛細(xì)管的氣體一部分流入超高真空腔，另一部分流入微分泵組，由針閥或高精度流量閥調(diào)制輸入超高真空腔與輸入微分泵組的氣體流量的配比。本發(fā)明以較低的成本，滿足了通過超高真空設(shè)備在大范圍不同氣壓環(huán)境中采樣的要求，并能夠保持真空保護(hù)的工作測試設(shè)備有恒定的氣壓工作環(huán)境。

技術(shù)研發(fā)人員：楊永
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海科技大學(xué)
文檔號碼：201610140435
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.11
技術(shù)公布日：2017.11.07