技術(shù)總結(jié)
本公開(kāi)提供具有多個(gè)柵結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體器件。一種半導(dǎo)體器件包括：基板，具有第一區(qū)域和第二區(qū)域；多個(gè)第一柵結(jié)構(gòu)，在第一區(qū)域中，所述第一柵結(jié)構(gòu)彼此間隔開(kāi)第一距離；多個(gè)第二柵結(jié)構(gòu)，在第二區(qū)域中，所述第二柵結(jié)構(gòu)彼此間隔開(kāi)第二距離；第一間隔物，在第一柵結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上；電介質(zhì)層，在第一間隔物上；第二間隔物，在第二柵結(jié)構(gòu)的側(cè)壁上；以及第三間隔物，在第二間隔物上。

技術(shù)研發(fā)人員：金倫楷;李珍旭;鄭鐘基;姜明一;梁光容;李寬欽;李炳讚
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三星電子株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610186038
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.29
技術(shù)公布日：2016.11.30