技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于使用鈮酸鉀鈉系壓電材料的壓電元件和壓電元件應(yīng)用設(shè)備中，實(shí)現(xiàn)壓電體層的晶體取向性的提高、實(shí)現(xiàn)各種特性的提高等。壓電元件(300)具備：在基板上形成的第1電極(60)；在上述第1電極(60)上形成的由含有鉀(K)、鈉(Na)、鈮(Nb)和錳(Mn)的ABO3型鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的復(fù)合氧化物構(gòu)成的壓電體層(70)；以及在上述壓電體層上形成的第2電極(80)，其中，上述錳包含2價(jià)錳(Mn2+)、3價(jià)錳(Mn3+)和4價(jià)錳(Mn4+)，上述2價(jià)錳相對(duì)于上述3價(jià)錳和上述4價(jià)錳之和的摩爾比(Mn2+/Mn3++Mn4+)為0.31以上。

技術(shù)研發(fā)人員：北田和也;大本正幸
受保護(hù)的技術(shù)使用者：精工愛(ài)普生株式會(huì)社
文檔號(hào)碼：201610191452
技術(shù)研發(fā)日：2016.03.30
技術(shù)公布日：2016.12.07