本發(fā)明涉及一種具備預測激光振蕩器中產(chǎn)生結(jié)露的功能的激光裝置。

背景技術(shù)：

在激光振蕩器中如果產(chǎn)生結(jié)露，則應該電氣絕緣的部位之間相互導電，或光學零件的性能下降，會對激光振蕩器的動作造成障礙。為了防止這種結(jié)露，例如在日本特開平06-260708號公報中記載一種技術(shù)，即將干燥氣體提供給收納激光振蕩裝置的裝置本體的容器內(nèi)，并進行調(diào)整使得容器內(nèi)部的露點變得比冷卻水的溫度要低。

另外，在日本特開平09-083044號公報中記載一種設(shè)置了流量調(diào)整機構(gòu)的激光振蕩器的冷卻裝置，該流量調(diào)整機構(gòu)將激光電源功率部經(jīng)由第二供給管、第二排出管分別與第一供給管、第一排出管連接，調(diào)整從第二供給管流向激光電源功率部的冷卻水的流量，使得該激光電源功率部的發(fā)熱體等的溫度保持在某個溫度范圍。

另一方面，希望一種能夠事先預測產(chǎn)生結(jié)露的技術(shù)。例如在日本實開平07-029453號公報中公開一種物體表面的結(jié)露預知測量裝置，該裝置不是將激光裝置作為了對象的裝置，但是能夠自動進行在進行粘貼作業(yè)和建筑物內(nèi)的結(jié)露環(huán)境診斷時的物體表面產(chǎn)生結(jié)露的預知檢測，并且能夠連續(xù)地記錄該變動傾向。

如果將日本實開平07-029453號公報中記載的裝置適用于激光裝置，則理解在預想到產(chǎn)生結(jié)露的情況下，能夠通過警告的產(chǎn)生等來限制激光振蕩器的動作。但是在激光裝置中，為了適當?shù)卣{(diào)整激光振蕩器周圍的溫度和濕度，有時使用用于激光振蕩器的保管庫的溫濕度調(diào)整裝置(空調(diào)等)，但是在使用了這樣的調(diào)整裝置的情況下，激光振蕩器周圍的溫度和濕度隨著時間的經(jīng)過而變化，所以如果在使該調(diào)整裝置動作的狀態(tài)下進行等待，則不用擔心產(chǎn)生結(jié)露。到這種情況下限制激光振蕩器的動作不是很有效。

另外，在使用了冷卻水的情況下，有時由于某種原因冷卻水的溫度會發(fā)生變化。如日本實開平07-029453號公報所記載的那樣，如果只測量物體的表面溫度，則難以在溫度測量時刻事先預測由于冷卻水的溫度下降而在溫度測量時刻之后產(chǎn)生的結(jié)露。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種激光裝置，其具備預測結(jié)露的產(chǎn)生并事先防止結(jié)露產(chǎn)生的功能。

為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種激光裝置，其具備：激光諧振器，其使激光振蕩；冷卻水供給裝置，其將用于冷卻上述激光諧振器的冷卻水提供給上述激光諧振器；水溫計，其測量被提供給上述激光諧振器的冷卻水的溫度；溫濕度調(diào)整裝置，其調(diào)整放置有上述激光諧振器的空間的溫度以及濕度的至少一方；溫度計，其測量通過上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的溫度；濕度計，其測量通過上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的濕度；控制部，其根據(jù)通過上述溫度計測量到的溫度以及通過上述濕度計測量到的濕度，來計算用于判定能否通過上述冷卻水供給裝置進行冷卻水的供給的基準溫度或基準濕度；以及比較部，其比較上述基準溫度和冷卻水溫度，或者比較上述基準濕度和通過上述濕度計測量到的濕度，在輸出了用于啟動上述激光諧振器的指令后，上述冷卻水供給裝置在上述冷卻水溫度比上述基準溫度低時，或者在通過上述濕度計測量到的濕度比上述基準濕度高時，停止上述冷卻水的供給，當上述冷卻水溫度在上述基準溫度以上時，或者當通過上述濕度計測量到的濕度在上述基準濕度以下時，開始或繼續(xù)上述冷卻水的供給。

作為具體例子，上述基準溫度是放置有上述激光諧振器的空間內(nèi)的露點或?qū)υ撀饵c加上預定的余量后的值，上述基準濕度是放置有上述激光振蕩器的空間的結(jié)露產(chǎn)生濕度或從該結(jié)露產(chǎn)生濕度減去了預定的余量后的值。

另外，本發(fā)明具備：激光諧振器，其使激光振蕩；冷卻水供給裝置，其將用于冷卻上述激光諧振器的冷卻水提供給上述激光諧振器；水溫計，其測量被提供給上述激光諧振器的冷卻水的溫度；溫濕度調(diào)整裝置，其調(diào)整放置有上述激光諧振器的空間的溫度以及濕度中的至少一方；溫度計，其測量通過上述溫濕度調(diào)整裝置調(diào)整后的空氣的溫度；濕度計，其測量通過上述溫濕度調(diào)整裝置 調(diào)整后的空氣的濕度；控制部，其決定被提供給上述激光諧振器的冷卻水的控制目標溫度，并且根據(jù)通過上述溫度計測量到的溫度以及通過上述濕度計測量到的濕度，計算用于判定能否通過上述冷卻水供給裝置進行冷卻水的供給的基準溫度；水溫調(diào)整裝置，其根據(jù)上述控制目標溫度調(diào)整提供給上述激光諧振器的冷卻水的水溫；以及比較部，其比較上述基準溫度和上述控制目標溫度，上述冷卻水供給裝置被構(gòu)成為在輸出了用于啟動上述激光諧振器的指令后，在上述控制目標溫度比上述基準溫度低時，停止上述冷卻水的供給，在上述控制目標溫度在上述基準溫度以上時，開始或繼續(xù)上述冷卻水的供給。

作為具體例子，上述控制目標溫度被計算設(shè)定為保持在上述基準溫度以上的狀態(tài)下隨上述基準溫度的下降而逐漸下降。

作為具體例子，上述基準溫度是放置有上述激光諧振器的空間內(nèi)的露點或?qū)υ撀饵c加上了預定的余量后的值。

附圖說明

通過一邊參照附圖一邊說明以下的優(yōu)選實施方式，能夠更加明確本發(fā)明的上述或其他的目的、特征以及優(yōu)點。

圖1是表示本發(fā)明第一實施方式的激光裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖2是表示圖1的激光裝置的振蕩器啟動處理的一例的流程圖。

圖3是表示執(zhí)行圖2的處理時的冷卻水溫度的時間變化的一例的圖表。

圖4是表示本發(fā)明第二實施方式的激光裝置的概略結(jié)構(gòu)的截面圖。

圖5是表示圖4的激光裝置的振蕩器啟動處理的一例的流程圖。

圖6是表示執(zhí)行圖5的處理時的冷卻水溫度的時間變化的一例的圖表。

圖7是表示執(zhí)行圖5的處理時的冷卻水溫度的時間變化的另外一例的圖表。

具體實施方式

圖1是示意地表示本發(fā)明第一實施方式的激光裝置10的結(jié)構(gòu)的圖。激光裝置10具有使激光振蕩的激光諧振器12、向激光諧振器12提供冷卻水的冷卻水供給裝置14、測量被提供給激光諧振器12的冷卻水的溫度的水溫計16、調(diào)整放置有激光諧振器12的空間(圖示例中保管庫18的內(nèi)部空間)的溫度以及濕度中的至少一方的溫濕度調(diào)整裝置20、測量放置有激光諧振器12的空間 (保管庫18)內(nèi)的空氣溫度的溫度計22以及測量放置有激光諧振器12的空間(保管庫18)內(nèi)的空氣濕度的濕度計24。

在圖示例中，在保管庫18內(nèi)配置有包括激光諧振器12和對激光諧振器12進行電源供給的激光電源26的激光振蕩器28，另外水溫計16測量在將激光諧振器12和冷卻水供給裝置14流體連接的冷卻水流路30內(nèi)流過的冷卻水的水溫。另外，作為溫濕度調(diào)整裝置20，例如可以使用調(diào)整保管庫18內(nèi)的空氣溫度以及濕度的空調(diào)裝置(空調(diào))、將干燥空氣提供給保管庫18內(nèi)的干燥空氣供給裝置等。

激光裝置10具有進行激光振蕩器28以及冷卻水供給裝置14的動作控制的控制裝置32，控制裝置32具有：控制部34，其根據(jù)溫度計22測量到的溫度以及濕度計24測量到的濕度計算用于判定能否通過冷卻水供給裝置14提供冷卻水的基準溫度(后述)；以及比較部36，其比較基準溫度和冷卻水溫度，冷卻水供給裝置14在從控制裝置32輸出了用于啟動激光振蕩器28的指令之后，在冷卻水溫度比基準溫度低時停止冷卻水的供給，當冷卻水溫度在基準溫度以上時進行(開始或繼續(xù))冷卻水的供給。

控制部34操作冷卻水供給裝置14，能夠指令是否將冷卻水提供給激光電源26以及激光諧振器12中的至少一方。例如，當冷卻水供給裝置14具有設(shè)置在冷卻水流路30中的電磁閥時，將來自控制部34的指令發(fā)送給該電磁閥來進行電磁閥的開關(guān)動作，從而能夠?qū)す庹袷幤?8提供冷卻水或停止提供冷卻水?；蛘撸斃鋮s水供給裝置14具有具備了泵的制冷機時，將來自控制部34的指令發(fā)送給該制冷機并且啟動或停止該泵，從而能夠?qū)す庹袷幤?8提供冷卻水或停止提供冷卻水。另外，當冷卻水供給裝置14具有制冷機時，能夠循環(huán)使用冷卻水。

圖2是表示圖1的激光裝置10中的振蕩器啟動處理的一例的流程圖。圖3是表示執(zhí)行該處理時的冷卻水溫度的時間變化(實線40)的一例的圖表。首先，如果輸出了用于啟動激光振蕩器28(激光諧振器12)的指令(啟動指令等)，則啟動溫濕度調(diào)整裝置20(步驟S101)。接著在步驟S102中，比較部36比較通過水溫計16測量到的冷卻水的溫度、用于判定能否通過冷卻水供給裝置14提供冷取水的基準溫度。

例如能夠根據(jù)冷卻水的溫度測量時的保管庫(放置有激光諧振器12的空間)內(nèi)的露點來計算基準溫度，在圖2以及圖3的例子中，是考慮了測量系統(tǒng)的誤差等而將預定的余量(常數(shù))加到露點后的值。或者也可以將保管庫內(nèi)的露點本身設(shè)為基準溫度。另外，能夠根據(jù)測量系統(tǒng)的規(guī)格等以經(jīng)驗來確定該余量。例如能夠設(shè)為0.5～2℃的范圍內(nèi)的固定值(在圖示例中是1℃)。

當冷卻水溫度比基準溫度低時，冷卻水供給裝置14不進行冷卻水的供給而等待預定時間(步驟S103)。即在冷卻水溫度比基準溫度低的期間，在激光諧振器12等中有可能產(chǎn)生結(jié)露，所以沒有開始激光振蕩。另外這里的預定時間能夠設(shè)定為例如30秒～5分鐘的范圍內(nèi)的固定值，不過如果冷卻水溫度和基準溫度之間的差變小則縮短該預定時間(即以更短的周期進行步驟S102的處理)，能夠使激光更迅速地振蕩。

另一方面，當冷卻水溫度在基準溫度以上時(相當于圖3的時刻A)，考慮在激光振蕩器28中沒有發(fā)生結(jié)露，所以冷卻水供給裝置14供給冷卻水(開始)(步驟S104)，開始通過激光振蕩器28進行的激光振蕩(步驟S105)。

在步驟S101以后，溫濕度調(diào)整裝置20連續(xù)進行動作，所以如圖3所示，保管庫18內(nèi)的濕度逐漸下降，并且與此相伴，露點(點劃線42)也逐漸下降。另外，對露點加上了余量(圖3的例子中1℃)后的基準溫度(虛線44)也逐漸下降。另外，在冷卻水供給裝置14具有制冷機的情況下，冷卻水溫度向該制冷機的控制目標溫度(圖3的例子中為25℃)下降。

接著，在步驟S106中，和步驟S102同樣，比較通過水溫計16測量到的冷卻水的溫度和測量時的基準溫度。這里的基準溫度也和步驟S102相同，能夠根據(jù)冷卻水的溫度測量時的保管庫內(nèi)的露點來確定。如果冷卻水溫度小于基準溫度(圖3的時刻B)，則在激光諧振器12等中有可能產(chǎn)生結(jié)露，所以停止激光振蕩(步驟S107)，并停止通過冷卻水供給裝置14進行的冷卻水的供給(步驟S108)，等待預定時間(步驟S109)。步驟S107和S108的順序可以相反，也可以同時進行。另外，這里的預定時間例如能夠設(shè)為30秒～5分鐘的范圍內(nèi)的固定值，但是如果冷卻水溫度和基準溫度之間的差變小則縮短該預定時間，能夠更迅速地使激光振蕩。

在等待預定時間之后，當保管庫內(nèi)的露點比時刻B的露點下降(因此基 準溫度也下降)，當冷卻水溫度在基準溫度以上時(圖3的時刻C)，考慮在激光振蕩器28中沒有產(chǎn)生結(jié)露或結(jié)露消失了，所以冷卻水供給裝置14進行(開始或繼續(xù))冷卻水的供給(步驟S110)，開始或繼續(xù)通過激光振蕩器28進行的激光振蕩(步驟S111)。

在激光振蕩器的運轉(zhuǎn)過程中間歇地執(zhí)行步驟S106以后的處理。這樣，從時刻C到時刻E中重復與從時刻A到C大概同樣的處理。另外在時刻E以后進行控制，使得冷卻水的溫度成為控制目標溫度(25℃)(圖3的時刻F)。

圖3中，從時刻A到時刻B，從時刻C到時刻D以及在時刻E以后，冷卻水供給裝置14將冷卻水提供給激光振蕩器28。另一方面，從時刻B到時刻C以及從時刻D到時刻E，冷卻水供給裝置14停止對激光振蕩器28提供冷卻水。

另外，如圖2所示，在步驟S102以及步驟S106的一方或雙方中，可以代替比較冷卻水和基準溫度，而比較通過濕度計24測量到的保管庫18內(nèi)的濕度、用于判定可否通過冷卻水供給裝置14提供冷卻水的基準溫度。例如能夠根據(jù)保管庫18內(nèi)(放置了激光振蕩器12的空間)的濕度測量時的結(jié)露產(chǎn)生濕度來計算基準濕度，該基準濕度例如是考慮測量系統(tǒng)的誤差等而從結(jié)露產(chǎn)生濕度減去了預定的余量(常數(shù))后得到的值?；蛘?，也可以將保管庫內(nèi)的結(jié)露產(chǎn)生濕度(如果超過該濕度則產(chǎn)生結(jié)露的濕度)本身設(shè)為基準濕度。另外，能夠根據(jù)測量系統(tǒng)的規(guī)格等以經(jīng)驗來決定該余量，并能夠?qū)⑵湓O(shè)定為例如1～10％(相對濕度)范圍內(nèi)的固定值。

在代替基準溫度而使用基準濕度的情況下，當通過濕度計24測量到的保管庫18內(nèi)的濕度比基準濕度高時(測量濕度>基準濕度)，有可能產(chǎn)生結(jié)露，所以不進行基于冷卻水供給裝置14的冷卻水供給而等待預定時間(步驟S103或S107)。另一方面，當測量濕度在基準濕度以下時，認為在激光振蕩器28中沒有產(chǎn)生結(jié)露，所以開始或繼續(xù)通過冷卻水供給裝置提供冷卻水(步驟S105或S110)，通過基于激光振蕩器28進行的激光振蕩。

這樣，在第一實施方式中，能夠自動進行圖2所示那樣的一系列的處理，所以在預測產(chǎn)生結(jié)露的情況下，能夠自動進行以下處理：在使溫濕度調(diào)整裝置20動作的狀態(tài)下只停止冷卻水的供給，進行等待直到成為不產(chǎn)生結(jié)露的條件 為止(或者在產(chǎn)生結(jié)露的情況下進行等待直到結(jié)露消失為止)。

圖4是表示本發(fā)明第二實施方式的激光裝置10’的結(jié)構(gòu)圖。與第一實施方式的不同點在于，激光裝置10’具有調(diào)整從冷卻水供給裝置14向激光振蕩器28提供的冷卻水的溫度的水溫調(diào)整裝置38。水溫調(diào)整裝置38根據(jù)預定的冷卻水溫的控制目標溫度(后述)來調(diào)整(使得與該控制目標溫度相等或接近該目標溫度)冷卻水溫。在圖4的例子中，水溫調(diào)整裝置38被設(shè)置在冷卻水流路30中，具有將流過冷卻水流路30內(nèi)的冷卻水與保管庫18外部的空氣進行熱交換的熱交換器。另外，控制部34除了基準溫度，還決定或計算上述控制目標溫度?；蛘咚疁卣{(diào)整裝置38也可以具備求出控制目標溫度的功能。關(guān)于激光裝置10’的其他結(jié)構(gòu)要素，可以和第一實施方式的激光裝置10相同，所以關(guān)于具有相同功能的結(jié)構(gòu)要素賦予相同的參照符號并省略詳細的說明。

圖5是表示圖4的激光裝置10中的振蕩器啟動處理的一例的流程圖。圖6是表示執(zhí)行該處理時的冷卻水溫度的時間變化(實線50)的一例的圖表。首先，如果輸出用于啟動激光振蕩器28(激光諧振器12)的指令(啟動指令等)，則啟動溫濕度調(diào)整裝置20(步驟S201)。接著在步驟S202中，比較部36比較水溫調(diào)整裝置38的冷卻水溫的控制目標溫度(圖6的虛線52)和用于判定可否通過冷卻水供給裝置14提供冷卻水的基準溫度(圖6的虛線54)。這里能夠預先以經(jīng)驗決定控制目標溫度作為用于冷卻激光諧振器12的冷卻水溫度，使得激光諧振器12能夠恰當?shù)剡M行激光振蕩等動作，該控制目標溫度在圖6的例子中被設(shè)定為固定值(25℃)。

與第一實施方式一樣，例如能夠根據(jù)冷卻水的溫度測量時的保管庫內(nèi)的露點來計算基準溫度，在圖5以及圖6的例子中，基準溫度是考慮了測量系統(tǒng)的誤差等而在露點上加上了預定的余量(常數(shù))后得到的值。或者也可以將保管庫內(nèi)的露點本身設(shè)為基準溫度。另外，能夠根據(jù)測量系統(tǒng)的規(guī)格等以經(jīng)驗來決定該余量，例如能夠設(shè)定為0.5～2℃的范圍內(nèi)的固定值(圖示例中為1℃)。

當控制目標溫度比基準溫度低時(相當于圖6的時刻G～H)，不進行通過冷卻水供給裝置14進行的冷卻水供給而等待預定時間(步驟S203)。即控制目標溫度比基準溫度低的情況表示如果冷卻水溫實際下降到控制目標溫度，則在激光諧振器12等中產(chǎn)生結(jié)露的可能性會高，所以不開始激光振蕩。另外這 里的預定時間例如能夠設(shè)為30秒～5分鐘的范圍內(nèi)的固定值，但是如果冷卻水溫和基準溫度之間的差變小則縮短該預定時間(即以更短的周期來進行步驟S202的處理)，從而能夠更迅速地使激光振蕩。

在步驟S201以后，溫濕度調(diào)整裝置20連續(xù)動作，所以如圖6所示，保管庫18內(nèi)的濕度逐漸下降，伴隨此，露點也逐漸下降。另外，在對露點加上了余量后得到的基準溫度(虛線54)也逐漸下降。

在等待預定時間后，控制目標溫度成為基準溫度以上時(圖6的時刻H以后)，認為即使冷卻水溫度達到控制目標溫度，在激光振蕩器28中也不會發(fā)生結(jié)露，所以通過冷卻水供給裝置14進行(開始)冷卻水的供給(步驟S204)，開始通過激光振蕩器28進行的激光振蕩(步驟S205)。

接著，在步驟S206與步驟S202相同，比較水溫調(diào)整裝置38的冷卻水溫的控制目標溫度和用于判定可否通過冷卻水供給裝置14提供冷卻水的基準溫度。這里也能夠預先以經(jīng)驗決定控制目標溫度作為用于冷卻激光諧振器12的冷卻水溫度，使得激光諧振器12能夠恰當?shù)剡M行激光振蕩等的動作，該控制目標溫度在圖6的例子中被設(shè)定為固定值(25℃)。

另外，與步驟S202一樣，能夠根據(jù)冷卻水的溫度測量時的保管庫內(nèi)的露點來決定基準溫度。當由于某種原因基準溫度高于控制目標溫度時，預計在激光諧振器12中產(chǎn)生結(jié)露，所以停止激光振蕩(步驟S207)，停止通過冷卻水供給裝置14提供冷卻水(步驟S208)，并等待預定時間(步驟S209)。步驟S207和S208的順序可以反過來，也可以同時進行。另外，這里的預定時間例如也能夠設(shè)為30秒～5分鐘的范圍內(nèi)的固定值，但是如果冷卻水溫度和基準溫度之間的差變小則縮短該預定時間，能夠更迅速地使激光振蕩。

另一方面，當基準溫度在控制目標溫度以上時(圖6的時刻H以后)，預計在激光諧振器12中不產(chǎn)生結(jié)露，所以通過冷卻水供給裝置14進行(開始或繼續(xù))冷卻水的供給(步驟S210)，開始或繼續(xù)通過激光振蕩器28進行的激光振蕩(步驟S211)。在激光振蕩器的運轉(zhuǎn)過程中間歇地執(zhí)行步驟S206以后的處理。不過在時刻I以后，控制冷卻水的溫度使得成為控制目標溫度(25℃)。

圖6的例子中，從時刻G時刻H，冷卻水供給裝置14停止對激光振蕩器28提供冷卻水，在時刻H以后，冷卻水供給裝置14對激光振蕩器28提供冷 卻水。這樣，通過將與基準溫度的比較對象設(shè)為冷卻水的控制目標溫度，能夠預測由于冷卻水溫度的下降引起的將來的結(jié)露，并能夠更可靠地防止結(jié)露。

圖7是表示在本發(fā)明的第二實施方式中，當控制目標溫度的設(shè)定方法與圖6的情況不同時的冷卻水溫度的時間變化(實線60)的一例的圖表。在圖6的例子中，控制目標溫度是固定值，但在圖7的例子中，控制部34逐步計算控制目標溫度，并根據(jù)計算出的控制目標溫度來控制水溫調(diào)整裝置38。另外圖7的情況下，與激光裝置的啟動處理相關(guān)的流程圖與圖5的相同即可。

如圖7所示，控制目標溫度(虛線62)被計算設(shè)定為保持在基準溫度(虛線64)以上的狀態(tài)下，隨著基準溫度64的下降而逐漸下降。例如控制目標溫度62被設(shè)定為在基準溫度64以上并且成為對基準溫度加上預定的余量后得到的值以下，在圖示例中，控制目標溫度62被設(shè)定為比基準溫度64高出固定值(例如0.5～2℃，圖示例中為1℃)的溫度。但是，優(yōu)選控制目標溫度被設(shè)定為為了適當?shù)募す庹袷幎坏陀陬A先決定的下限值(這里為25℃)，因此在圖7的例子中，即使“基準溫度+1℃”小于25℃(時刻L以后)，控制目標溫度也成為25℃。

這里，控制目標溫度可以被計算/設(shè)定為與基準溫度相等，但是優(yōu)選被設(shè)定為變得比基準溫度大固定值(例如0.5～2℃)。其理由為，控制冷卻水溫度使得接近控制目標溫度，但是由于控制的誤差有時在例如數(shù)十秒左右的短暫期間變得比控制目標溫度還要低。這樣，優(yōu)選設(shè)置1℃等固定余量，使得即使冷卻水溫度變得比控制目標溫度低也不會產(chǎn)生結(jié)露。

如圖7所示，通過將控制目標溫度設(shè)定為比基準溫度大固定值的值，與圖6的例子相比，能夠擴大可以進行激光振蕩(冷卻水的供給)的時間段。在圖7的例子中，從冷卻水溫度60為初始的35℃時(時刻J)到冷卻水溫度60大致與控制目標溫度62相等時(時刻K)，進一步在冷卻水溫度60達到適于穩(wěn)定的激光振蕩的25℃時(時刻L)以后的整個過程，能夠防止產(chǎn)生結(jié)露，所以能夠在更長的時間內(nèi)來進行冷卻水的供給(激光振蕩)。

根據(jù)本發(fā)明，在預測激光振蕩器的結(jié)露，并預想產(chǎn)生結(jié)露的情況下，能夠自動進行以下處理，即停止冷卻水的供給，事先防止結(jié)露的產(chǎn)生，而且如果成為能夠穩(wěn)定地進行激光振蕩的狀態(tài)后則進行冷卻水的供給以及激光振蕩。

通過將基準溫度的比較對象設(shè)為冷卻水的控制目標溫度，能夠預測由于冷卻水溫度的下降引起的將來的結(jié)露，并能夠防止該結(jié)露。另外通過使控制目標溫度隨基準溫度逐漸下降，能夠從更早的階段開始冷卻水的供給，因此也能夠提前開始激光振蕩。